JP2012158653A - チップ用保護膜形成用シート、半導体チップの製造方法および半導体装置 - Google Patents
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Landscapes
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Abstract
【解決手段】チップ用保護膜形成用シートは、剥離シートと、該剥離シート上に形成された保護膜形成層とを有し、該保護膜形成層が、バインダーポリマー成分(A)、硬化性成分(B)および無機フィラー(C)を含み、該保護膜成形層の熱伝導率が0.5〜8.0W/m・Kであることを特徴とする。
【選択図】なし
Description
〔1〕剥離シートと、該剥離シート上に形成された保護膜形成層とを有し、
該保護膜形成層が、バインダーポリマー成分(A)、硬化性成分(B)および無機フィラー(C)を含み、
該保護膜成形層の熱伝導率が0.5〜8.0W/m・Kであるチップ用保護膜形成用シート。
工程(1):保護膜形成層と剥離シートとを剥離、
工程(2):保護膜形成層を硬化、
工程(3):半導体ウエハおよび保護膜形成層をダイシング。
保護膜形成層は、バインダーポリマー成分(A)、硬化性成分(B)および無機フィラー(C)を含む。
保護膜形成層に十分な接着性および造膜性(シート加工性)を付与するためにバインダーポリマー成分(A)が用いられる。バインダーポリマー成分(A)としては、従来公知のアクリルポリマー、ポリエステル樹脂、ウレタン樹脂、アクリルウレタン樹脂、シリコーン樹脂、ゴム系ポリマー等を用いることができる。
硬化性成分(B)は、熱硬化性成分および/またはエネルギー線硬化性成分が用いられる。
無機フィラー(C)を保護膜形成層に配合することにより熱伝導率を向上させ、該保護膜形成層が貼付された半導体チップを実装した半導体装置の発熱を効率的に拡散することが可能となる。また、硬化後の保護膜における熱膨張係数を調整することが可能となり、半導体チップに対して硬化後の保護膜の熱膨張係数を最適化することで半導体装置の信頼性を向上させることができる。さらにまた、硬化後の保護膜の吸湿率を低減させることで、加熱時に保護膜としての接着性を維持し、半導体装置の信頼性を向上させることができる。
保護膜形成層には、着色剤(D)を配合することができる。着色剤を配合することで、半導体装置を機器に組み込んだ際に、周囲の装置から発生する赤外線等による半導体装置の誤作動を防止することができる。着色剤としては、有機または無機の顔料および染料が用いられる。これらの中でも電磁波や赤外線遮蔽性の点から黒色顔料が好ましい。黒色顔料としては、カーボンブラック、アニリンブラック、活性炭等が用いられるが、これらに限定されることはない。半導体装置の信頼性を高める観点からは、カーボンブラックが特に好ましい。
保護膜形成層は、上記バインダーポリマー成分(A)、硬化性成分(B)、無機フィラー(C)、着色剤(D)に加えて下記成分を含むことができる。
硬化促進剤(E)は、保護膜形成層の硬化速度を調整するために用いられる。硬化促進剤(E)は、特に、硬化性成分(B)において、エポキシ樹脂と熱硬化剤とを併用する場合に好ましく用いられる。
カップリング剤(F)は、保護膜形成層のチップに対する接着性、密着性を向上させるために用いてもよい。また、カップリング剤(F)を使用することで、保護膜形成層を硬化して得られる保護膜の耐熱性を損なうことなく、その耐水性を向上することができる。
保護膜形成層が、前述した硬化性成分(B)としてエネルギー線硬化性成分を含有する場合には、その使用に際して、紫外線等のエネルギー線を照射して、エネルギー線硬化性成分を硬化させる。この際、該組成物中に光重合開始剤(G)を含有させることで、重合硬化時間ならびに光線照射量を少なくすることができる。
保護膜形成層の初期接着力および凝集力を調節するために、架橋剤を添加することもできる。架橋剤(H)としては有機多価イソシアネート化合物、有機多価イミン化合物などが挙げられる。
保護膜形成層には、上記の他に、必要に応じて各種添加剤が配合されてもよい。各種添加剤としては、レベリング剤、可塑剤、帯電防止剤、酸化防止剤などが挙げられる。
保護膜形成層は、上記各成分を適宜の割合で、適当な溶媒中で混合してなる保護膜形成層用組成物を、剥離シート上に塗布乾燥して得られる。また、剥離シートとは別の工程フィルム上に保護膜形成層用組成物を塗布、乾燥して成膜し、これを剥離シート上に転写してもよい。
次に本発明に係るチップ用保護膜形成用シートの利用方法について、該シートを半導体チップの製造に適用した場合を例にとって説明する。
工程(1):保護膜形成層と剥離シートとを剥離、
工程(2):保護膜形成層を硬化、
工程(3):半導体ウエハおよび保護膜形成層をダイシング。
工程(4):保護膜形成層または保護膜にレーザー印字。
裏面に保護膜を有する半導体チップ25個を冷熱衝撃装置(ESPEC(株)製、TSE−11A)内に設置し、(i)−40℃(保持時間:10分)→(ii)125℃(保持時間:10分)を1サイクル((i)→(ii))として、1000回繰り返した。
その後、冷熱衝撃装置から取り出した保護膜を有する半導体チップについて、チップと保護膜との接合部での浮き・剥がれの有無およびクラックの発生の有無を、走査型超音波探傷装置(日立建機ファインテック(株)製、Hye−Focus)および断面観察により評価した。
チップ/保護膜の接合部に、0.5mm以上の幅の剥離が観察された場合を剥離している(接合部の浮き・剥がれ、およびクラック発生が有る。)と判断して、剥離している個数が2個以下の場合を「良好」と評価した。
(硬化前)
保護膜形成層(厚さ:40μm)を積層して、保護膜形成層の積層体(厚さ:2mm)を得た。該積層体を直径5cmの円盤状に加工し、熱伝導率測定装置(EKO社製、HC−110)を用いて、熱伝導率を測定した。熱伝導率が0.5〜8.0W/m・Kの場合を「良好」とした。
(硬化後)
保護膜形成層(厚さ:40μm)を積層して、保護膜形成層の積層体(厚さ:2mm)を得た。該積層体を直径5cmの円盤状に加工し、加熱(130℃、2時間)して硬化させた後、熱伝導率測定装置(EKO社製、HC−110)を用いて、熱伝導率を測定した。熱伝導率が0.5〜8.0W/m・Kの場合を「良好」とした。
保護膜形成層を構成する各成分を下記に示す。
(A)バインダーポリマー成分:メタクリル酸メチル85重量部とアクリル酸2−ヒドロキシエチル15重量部との共重合体(重量平均分子量:40万、ガラス転移温度:6℃)
(B)硬化性成分:
(B1)ビスフェノールA型エポキシ樹脂(エポキシ当量180〜200g/eq)
(B2)ジシクロペンタジエン型エポキシ樹脂(大日本インキ化学工業(株)製、エピクロンHP−7200HH)
(B3)ジシアンジアミド(旭電化製、アデカハードナー3636AS)
(C)無機フィラー:
(C1)球状酸化亜鉛フィラー(堺化学(株)製、LPZINC−2、平均粒子径:2μm、比重:5.6g/cm3)
(C2)球状酸化マグネシウムフィラー(堺化学(株)製、SMO−2、平均粒子径:2μm、比重:3.7g/cm3)
(C3)球状酸化亜鉛フィラー(堺化学(株)製、LPZINC−5、平均粒子径:5μm、比重:5.6g/cm3)、CV値:
(C4)針状酸化亜鉛フィラー(堺化学(株)製、NZ small、平均軸長:0.1μm、比重:5.6g/cm3)
(C5)針状酸化亜鉛フィラー(堺化学(株)製、NZ large、平均軸長:1.0μm、比重:5.6g/cm3)
(C6)溶融シリカフィラー(平均粒子径:3μm、比重:2.2g/cm3)
(D)着色剤:黒色顔料(カーボンブラック、三菱化学社製、#MA650、平均粒子径:28nm)
(E)硬化促進剤::イミダゾール(四国化成工業社製、キュアゾール2PHZ)
(F)カップリング剤::A−1110(日本ユニカー社製)
上記各成分を表1に記載の量で配合し、保護膜形成層用組成物を得た。また、剥離シートとして、片面に剥離処理を行ったポリエチレンテレフタレートフィルム(リンテック株式会社製、SP−PET3811、厚さ38μm、融点200℃以上)を用意した。
Claims (8)
- 剥離シートと、該剥離シート上に形成された保護膜形成層とを有し、
該保護膜形成層が、バインダーポリマー成分(A)、硬化性成分(B)および無機フィラー(C)を含み、
該保護膜成形層の熱伝導率が0.5〜8.0W/m・Kであるチップ用保護膜形成用シート。 - 無機フィラー(C)が金属酸化物である請求項1に記載のチップ用保護膜形成用シート。
- 該保護膜形成層を構成する全固形分100重量部あたり無機フィラー(C)を30〜90重量部含有する請求項1または2に記載のチップ用保護膜形成用シート。
- 無機フィラー(C)が、球状、針状、板状及び不定型からなる群より選ばれる少なくとも1つの形状を有する請求項1〜3のいずれかに記載のチップ用保護膜形成用シート。
- 該保護膜形成層が、さらに着色剤(D)を含有する請求項1〜4のいずれかに記載のチップ用保護膜形成用シート。
- 表面に回路が形成された半導体ウエハの裏面に、請求項1〜5のいずれかに記載のチップ用保護膜形成用シートの保護膜形成層を貼付し、裏面に保護膜を有する半導体チップを得ることを特徴とする半導体チップの製造方法。
- 以下の工程(1)〜(3)をさらに含み、工程(1)〜(3)を任意の順で行うことを特徴とする請求項6に記載の半導体チップの製造方法:
工程(1):保護膜形成層と剥離シートとを剥離、
工程(2):保護膜形成層を硬化、
工程(3):半導体ウエハおよび保護膜形成層をダイシング。 - 請求項6または7により得られた、熱伝導率が0.5〜8.0W/m・Kの保護膜を裏面に有する半導体チップを含む半導体装置。
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Cited By (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2014030699A1 (ja) * | 2012-08-23 | 2014-02-27 | リンテック株式会社 | 保護膜形成層付ダイシングシートおよびチップの製造方法 |
WO2014087948A1 (ja) * | 2012-12-03 | 2014-06-12 | リンテック株式会社 | 保護膜形成用フィルム |
WO2014087947A1 (ja) * | 2012-12-03 | 2014-06-12 | リンテック株式会社 | 保護膜形成用フィルム |
WO2014157520A1 (ja) | 2013-03-28 | 2014-10-02 | リンテック株式会社 | 保護膜形成用複合シート、保護膜付きチップ、及び保護膜付きチップの製造方法 |
WO2015178491A1 (ja) * | 2014-05-22 | 2015-11-26 | 株式会社デンソー | 光硬化性接着剤 |
JP2017039804A (ja) * | 2015-08-17 | 2017-02-23 | 積水化学工業株式会社 | 硬化体及び半導体装置 |
WO2019189219A1 (ja) * | 2018-03-30 | 2019-10-03 | 太陽インキ製造株式会社 | 硬化性樹脂組成物、ドライフィルム、硬化物およびプリント配線板 |
WO2023136059A1 (ja) * | 2022-01-12 | 2023-07-20 | 株式会社レゾナック | 個片化体形成用積層フィルム及びその製造方法、並びに半導体装置の製造方法 |
Citations (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2002280329A (ja) * | 2001-03-21 | 2002-09-27 | Lintec Corp | チップ用保護膜形成用シートおよび半導体チップの製造方法 |
JP2007158026A (ja) * | 2005-12-05 | 2007-06-21 | Furukawa Electric Co Ltd:The | チップ用保護膜形成用シート |
WO2007119507A1 (ja) * | 2006-03-28 | 2007-10-25 | Lintec Corporation | チップ用保護膜形成用シート |
JP2008072108A (ja) * | 2007-09-03 | 2008-03-27 | Lintec Corp | チップ用保護膜形成用シート |
JP2010056328A (ja) * | 2008-08-28 | 2010-03-11 | Furukawa Electric Co Ltd:The | チップ保護用フィルム |
JP2010077389A (ja) * | 2008-08-27 | 2010-04-08 | Hitachi Chem Co Ltd | 感光性接着剤組成物、フィルム状接着剤、接着シート、接着剤パターン、接着剤層付半導体ウェハ、半導体装置、及び半導体装置の製造方法 |
JP2010135621A (ja) * | 2008-12-05 | 2010-06-17 | Lintec Corp | チップ用保護膜形成用シートおよび保護膜付半導体チップ |
JP2010185013A (ja) * | 2009-02-12 | 2010-08-26 | Shin-Etsu Chemical Co Ltd | 接着剤組成物およびそれを用いた半導体ウエハ用保護シート |
JP2012033638A (ja) * | 2010-07-29 | 2012-02-16 | Nitto Denko Corp | フリップチップ型半導体裏面用フィルム及びその用途 |
-
2011
- 2011-01-31 JP JP2011018180A patent/JP5893250B2/ja active Active
Patent Citations (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2002280329A (ja) * | 2001-03-21 | 2002-09-27 | Lintec Corp | チップ用保護膜形成用シートおよび半導体チップの製造方法 |
JP2007158026A (ja) * | 2005-12-05 | 2007-06-21 | Furukawa Electric Co Ltd:The | チップ用保護膜形成用シート |
WO2007119507A1 (ja) * | 2006-03-28 | 2007-10-25 | Lintec Corporation | チップ用保護膜形成用シート |
JP2008072108A (ja) * | 2007-09-03 | 2008-03-27 | Lintec Corp | チップ用保護膜形成用シート |
JP2010077389A (ja) * | 2008-08-27 | 2010-04-08 | Hitachi Chem Co Ltd | 感光性接着剤組成物、フィルム状接着剤、接着シート、接着剤パターン、接着剤層付半導体ウェハ、半導体装置、及び半導体装置の製造方法 |
JP2010056328A (ja) * | 2008-08-28 | 2010-03-11 | Furukawa Electric Co Ltd:The | チップ保護用フィルム |
JP2010135621A (ja) * | 2008-12-05 | 2010-06-17 | Lintec Corp | チップ用保護膜形成用シートおよび保護膜付半導体チップ |
JP2010185013A (ja) * | 2009-02-12 | 2010-08-26 | Shin-Etsu Chemical Co Ltd | 接着剤組成物およびそれを用いた半導体ウエハ用保護シート |
JP2012033638A (ja) * | 2010-07-29 | 2012-02-16 | Nitto Denko Corp | フリップチップ型半導体裏面用フィルム及びその用途 |
Cited By (21)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2014030699A1 (ja) * | 2012-08-23 | 2014-02-27 | リンテック株式会社 | 保護膜形成層付ダイシングシートおよびチップの製造方法 |
US9754811B2 (en) | 2012-08-23 | 2017-09-05 | Lintec Corporation | Dicing sheet with protective film forming layer and method for producing chip |
CN104838491A (zh) * | 2012-12-03 | 2015-08-12 | 琳得科株式会社 | 保护膜形成用膜 |
JPWO2014087947A1 (ja) * | 2012-12-03 | 2017-01-05 | リンテック株式会社 | 保護膜形成用フィルム |
KR20150092132A (ko) * | 2012-12-03 | 2015-08-12 | 린텍 가부시키가이샤 | 보호막 형성용 필름 |
WO2014087947A1 (ja) * | 2012-12-03 | 2014-06-12 | リンテック株式会社 | 保護膜形成用フィルム |
CN104838490A (zh) * | 2012-12-03 | 2015-08-12 | 琳得科株式会社 | 保护膜形成用膜 |
KR102108776B1 (ko) * | 2012-12-03 | 2020-05-11 | 린텍 가부시키가이샤 | 보호막 형성용 필름 |
CN104838490B (zh) * | 2012-12-03 | 2018-09-25 | 琳得科株式会社 | 保护膜形成用膜 |
WO2014087948A1 (ja) * | 2012-12-03 | 2014-06-12 | リンテック株式会社 | 保護膜形成用フィルム |
EP2979864A4 (en) * | 2013-03-28 | 2016-11-02 | Lintec Corp | PROTECTIVE FILM-COMPOSITE FILM, CHIP WITH PROTECTIVE FILM AND METHOD FOR PRODUCING A CHIP WITH PROTECTIVE FILM |
WO2014157520A1 (ja) | 2013-03-28 | 2014-10-02 | リンテック株式会社 | 保護膜形成用複合シート、保護膜付きチップ、及び保護膜付きチップの製造方法 |
CN105339168A (zh) * | 2013-03-28 | 2016-02-17 | 琳得科株式会社 | 保护膜形成用复合片、带有保护膜的芯片、以及带有保护膜的芯片的制造方法 |
JPWO2014157520A1 (ja) * | 2013-03-28 | 2017-02-16 | リンテック株式会社 | 保護膜形成用複合シート、保護膜付きチップ、及び保護膜付きチップの製造方法 |
TWI634185B (zh) * | 2013-03-28 | 2018-09-01 | 琳得科股份有限公司 | 保護膜形成用複合片、附保護膜之晶片、及附保護膜之晶片的製造方法 |
KR20150135313A (ko) | 2013-03-28 | 2015-12-02 | 린텍 가부시키가이샤 | 보호막 형성용 복합 시트, 보호막이 있는 칩 및 보호막이 있는 칩의 제조 방법 |
JP2015221853A (ja) * | 2014-05-22 | 2015-12-10 | 株式会社デンソー | 光硬化性接着剤 |
WO2015178491A1 (ja) * | 2014-05-22 | 2015-11-26 | 株式会社デンソー | 光硬化性接着剤 |
JP2017039804A (ja) * | 2015-08-17 | 2017-02-23 | 積水化学工業株式会社 | 硬化体及び半導体装置 |
WO2019189219A1 (ja) * | 2018-03-30 | 2019-10-03 | 太陽インキ製造株式会社 | 硬化性樹脂組成物、ドライフィルム、硬化物およびプリント配線板 |
WO2023136059A1 (ja) * | 2022-01-12 | 2023-07-20 | 株式会社レゾナック | 個片化体形成用積層フィルム及びその製造方法、並びに半導体装置の製造方法 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP5893250B2 (ja) | 2016-03-23 |
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