JP2012150015A - X線画像処理装置並びにそれを用いたx線検査装置およびx線検査方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】検査対象品の検査要部101を通る垂直線回りの角度Rと、前記垂直線と直交する線分回りの角度θとを組み合わせて、当該検査要部をX線が斜めに透過する方向を含む複数の透過方向ψ(R,θ)をX線CTでの撮像よりも少ない数だけ設定する。設定された透過方向ψ(R,θ)に基づいて、当該透過方向ψ(R,θ)毎にX線撮像を実行する。撮像された複数のX線画像を所定の条件で重ね合わせて合成画像を生成する。
【選択図】図2
Description
[第1実施形態]
図1および図2を参照して、第1実施形態に係るX線検査装置Aは、リフロー処理後のBGA(検査対象品としての電子部品の一例)100とプリント基板Wの接合を検査するものとして具体化されている。まず、第1実施形態に係る検査要部の一例として、BGA100について説明する。
[第2実施形態]
次に、図9以下に示す別の実施形態(第2実施形態)について説明する。
CI 合成画像
d 接合幅
D ランド幅
Fs シフト量
GI、GIa、GIb X線画像
H フィレット高さ
Hs 基準高さ
O 中心
Pf 基準座標
R 方位
V 垂直線
W プリント基板
θ 傾斜角度
ψ 透過方向
20 X線放射装置
21 X線カメラ
30 制御ユニット
33 撮像制御部
34 画像処理部
35 良否判定処理部
100 BGA(検査対象品の一例)
101 半田部(検査対象品の一例)
104 接合面(検査対象品の一例)
110 電子部品(検査対象品の一例)
111 リード(検査要部の一例)
112 フィレット
140a、140b 影
150 重複部
200 X線放射装置
331 透過方向設定部
341 画像合成処理部
Claims (9)
- 検査対象品の検査要部にX線を照射するX線源と、
前記X線が透過した前記検査要部のX線画像を撮影するX線カメラと、
前記X線源と前記X線カメラとによる前記検査要部のX線撮像を制御する制御ユニットと
を備えているX線画像処理装置において、
前記制御ユニットは、
前記検査要部をX線が斜めに透過する方向を含む複数の透過方向をX線CTでの撮像よりも少ない数だけ設定する透過方向設定部と、
設定された前記透過方向に基づいて、当該透過方向毎に前記X線撮像を前記X線源と前記X線カメラとに実行させる撮像制御部と、
撮像された複数のX線画像を所定の条件で重ね合わせて合成画像を生成する画像合成処理部と
を備えていることを特徴とするX線画像処理装置。 - 請求項1記載のX線画像処理装置において、
前記透過方向設定部は、前記検査要部の検査要部を通る垂直線回りの角度と、前記垂直線と直交する線分回りの角度とを組み合わせた前記透過方向を設定するものである
ことを特徴とするX線画像処理装置。 - 請求項2記載のX線画像処理装置において、
前記透過方向設定部は、前記垂直線に関して透過方向が対称となる組を含んでいる
ことを特徴とするX線画像処理装置。 - 請求項3記載のX線画像処理装置において、
前記画像合成処理部は、前記撮像制御部の制御によって前記X線カメラが撮像した何れかのX線画像を、共通の基準座標を原点として、当該検査要部の高さに応じたシフト量だけ所定の方向にシフトした合成画像を生成するものある
ことを特徴とするX線画像処理装置。 - 請求項1から3の何れか1項に記載のX線画像処理装置において、
前記画像合成処理部は、共通の座標面上で中心を揃えて各X線画像を重複させるとともに、重複された各X線画像の輝度値を同一の座標毎に比較し、最も輝度値の高いものを選択して合成画像を二値化するものである
ことを特徴とするX線画像処理装置。 - 請求項1から5の何れか1項に記載のX線画像処理装置と、
前記画像合成処理部が生成した合成画像に基づいて、前記検査要部の良否を判定する良否判定処理部と
を備えていることを特徴とするX線検査装置。 - 請求項6記載のX線検査装置において、
前記良否判定処理部は、前記合成画像において、前記X線画像の重複部の面積に基づいて当該検査要部の良否を判定するものである
ことを特徴とするX線検査装置。 - 請求項4記載のX線画像処理装置と、
前記画像合成処理部が生成した合成画像に基づいて、前記検査要部の良否を判定する良否判定処理部と
を備え、
前記画像合成処理部は、透過方向が対称となる組の各X線画像のうち、前記検査要部の断面に相当するエリアが重複するように、各X線画像の何れかを所定方向にシフトさせるものであり、
前記良否判定処理部は、前記エリアと連続して重複する各X線画像の重複部の面積に基づいて当該検査要部の良否を判定するものである
ことを特徴とするX線検査装置。 - 検査対象品の検査要部にX線を照射して撮像した後、前記検査要部のX線画像に基づいて、前記検査要部の良否を判定するX線検査方法において、
前記検査要部をX線が斜めに透過する方向を含む複数の透過方向をX線CTでの撮像よりも少ない数だけ設定する透過方向設定ステップと、
設定された前記透過方向に基づいて、当該透過方向毎に前記X線撮像を実行するX線画像撮像ステップと、
撮像された複数のX線画像を所定の条件で重ね合わせて合成画像を生成する合成画像生成ステップと、
前記合成画像に基づいて前記検査要部の検査要素を評価することにより、当該検査要部の良否を判定する良否判定ステップと
を備えていることを特徴とするX線検査方法。
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---|---|---|---|---|
JP2014196965A (ja) * | 2013-03-29 | 2014-10-16 | 日本電気株式会社 | 非破壊検査の判定装置、判定方法及びプログラム |
Citations (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0688790A (ja) * | 1992-09-07 | 1994-03-29 | Toshiba Corp | ラミノグラフィー装置 |
JPH0855887A (ja) * | 1994-08-10 | 1996-02-27 | Toshiba Corp | ラミノグラフ |
JP2005127989A (ja) * | 2003-10-03 | 2005-05-19 | Olympus Corp | 傷検出装置および傷検出プログラム |
WO2005083403A1 (ja) * | 2004-02-27 | 2005-09-09 | Kabushiki Kaisha Toshiba | X線断層撮影装置および立体透視画像構成装置 |
JP2006226875A (ja) * | 2005-02-18 | 2006-08-31 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | X線検査方法 |
WO2007083403A1 (ja) * | 2006-01-20 | 2007-07-26 | Shimadzu Corporation | 四重極型質量分析装置 |
JP2008268026A (ja) * | 2007-04-20 | 2008-11-06 | Toshiba It & Control Systems Corp | 被検体の断層撮影装置及び層構造抽出方法 |
JP2009036660A (ja) * | 2007-08-02 | 2009-02-19 | Toshiba It & Control Systems Corp | 断層撮影装置 |
-
2011
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Patent Citations (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0688790A (ja) * | 1992-09-07 | 1994-03-29 | Toshiba Corp | ラミノグラフィー装置 |
JPH0855887A (ja) * | 1994-08-10 | 1996-02-27 | Toshiba Corp | ラミノグラフ |
JP2005127989A (ja) * | 2003-10-03 | 2005-05-19 | Olympus Corp | 傷検出装置および傷検出プログラム |
WO2005083403A1 (ja) * | 2004-02-27 | 2005-09-09 | Kabushiki Kaisha Toshiba | X線断層撮影装置および立体透視画像構成装置 |
JP2006226875A (ja) * | 2005-02-18 | 2006-08-31 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | X線検査方法 |
WO2007083403A1 (ja) * | 2006-01-20 | 2007-07-26 | Shimadzu Corporation | 四重極型質量分析装置 |
JP2008268026A (ja) * | 2007-04-20 | 2008-11-06 | Toshiba It & Control Systems Corp | 被検体の断層撮影装置及び層構造抽出方法 |
JP2009036660A (ja) * | 2007-08-02 | 2009-02-19 | Toshiba It & Control Systems Corp | 断層撮影装置 |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2014196965A (ja) * | 2013-03-29 | 2014-10-16 | 日本電気株式会社 | 非破壊検査の判定装置、判定方法及びプログラム |
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