JP2012149676A - ベローズ機構 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】ベローズ機構10は、真空チャンバ408と真空チャンバに収納された収納ケーシング422との間に位置するベローズ101と、真空チャンバとベローズとを接続するフランジ102と、フランジにベローズの伸縮方向に沿って貫通した一対のスリット114同士の間に形成されてベローズに対して真空チャンバがベローズの伸縮方向に対して交差する方向へ振動するのを許容する薄肉部115と、スリットの開口端を塞いで真空チャンバの外部と内部を遮蔽するゴムシート107と、を備えている。圧力チャンバがベローズの伸縮方向へ振動するのをベローズで吸収し、圧力チャンバがベローズの伸縮方向に対して交差する方向へ振動するのを薄肉部で吸収する。
【選択図】図2
Description
303:延長板、303a:延長端部、304:磁性流体溜、400:干渉計測装置、401:干渉計本体、405:コンピュータ、408:真空チャンバ(圧力チャンバ)、409:除振器、411:干渉計システム、422:収納ケーシング(被収納体)、G:グリース、J:磁性流体、L:レーザ光、X:ベローズの伸縮方向に対して交差する方向、Y:ベローズの伸縮方向、W:測定ワーク
Claims (6)
- 圧力チャンバと前記圧力チャンバに収納された被収納体との間に位置するベローズによって、前記圧力チャンバの外部と内部との圧力差を保持するベローズ機構において、
前記圧力チャンバと前記ベローズとを接続する接続部材と、
前記接続部材に前記ベローズの伸縮方向に沿って貫通した一対の貫通部同士の間に形成されて前記ベローズに対して前記圧力チャンバが前記ベローズの伸縮方向に対して交差する方向へ振動するのを許容する薄肉部と、
前記貫通部の開口端を塞いで前記圧力チャンバの外部と内部を遮蔽する遮蔽手段と、を備えた、
ことを特徴とするベローズ機構。 - 前記薄肉部は、互いに交差する向きに複数形成されている、
ことを特徴とする請求項1に記載のベローズ機構。 - 前記圧力チャンバに固定されて前記薄肉部を越えて延長した延長端部を有し、前記延長端部で前記接続部材に作用する前記ベローズの弾力を受け止める受け止め部材を備えた、
ことを特徴とする請求項1又は2に記載のベローズ機構。 - 前記遮蔽手段が、前記接続部材に固定されて前記貫通部の開口端を密閉する弾性シートである、
ことを特徴とする請求項1又は2に記載のベローズ機構。 - 前記遮蔽手段が、前記接続部材に固定されて前記貫通部の開口端を覆って延長した延長板と、前記接続部材と前記延長板の延長端部との間に設けられてグリースを保持するグリース溜と、を有する、
ことを特徴とする請求項1又は2に記載のベローズ機構。 - 前記遮蔽手段が、前記接続部材に固定されて前記貫通部の開口端を覆って延長した延長板と、前記接続部材と前記延長板の延長端部との間に設けられて磁性流体を保持する磁性流体溜とを有する、
ことを特徴とする請求項1又は2に記載のベローズ機構。
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2011
- 2011-01-18 JP JP2011007501A patent/JP5653229B2/ja not_active Expired - Fee Related
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