JP2012146683A - 極端紫外光源装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】この極端紫外光源装置は、ターゲットにレーザビームを照射することにより極端紫外光を発生するレーザ生成プラズマ型極端紫外光源装置であって、極端紫外光の生成が行われるチャンバと、チャンバ内の所定の位置に液体又は固体の金属ターゲットを供給するターゲット供給手段と、互いに異なる遅延を伴う複数のパルスレーザビームを合成して強度が略均一の単一パルスレーザビーム又はパルス列レーザビームを生成し、ターゲット供給手段によって供給されるターゲットに該レーザビームを照射することによりプラズマを生成するレーザビーム生成部と、プラズマから放射される極端紫外光を集光して出射するコレクタミラーとを具備する。
【選択図】図1
Description
図1は、本発明の第1の実施形態に係るEUV光源装置の構成を示す概略図である。本実施形態に係るEUV光源装置は、レーザビームをターゲット物質に照射して励起させることによりEUV光を生成するレーザ励起プラズマ(LPP)方式を採用している。
さらに、上記の実施形態及び変形例の内の2つ以上を組み合わせることによって、ほぼ一定の強度を有する単一パルス又はパルス列を実現するようにしても良い。
Claims (9)
- ターゲットにレーザビームを照射することにより極端紫外光を発生するレーザ生成プラズマ型極端紫外光源装置であって、
極端紫外光の生成が行われるチャンバと、
前記チャンバ内の所定の位置に液体又は固体の金属ターゲットを供給するターゲット供給手段と、
互いに異なる遅延を伴う複数のパルスレーザビームを合成して強度が略均一の単一パルスレーザビーム又はパルス列レーザビームを生成し、前記ターゲット供給手段によって供給されるターゲットに該レーザビームを照射することによりプラズマを生成するレーザビーム生成部と、
前記プラズマから放射される極端紫外光を集光して出射するコレクタミラーと、
を具備する極端紫外線光源装置。 - 前記レーザビーム生成部が、互いに異なる遅延を伴う複数のパルスレーザビームをそれぞれ生成する複数系列の発振増幅型レーザ装置を含み、前記複数系列の発振増幅型レーザ装置の各々が、パルスレーザビームを出力する発振段レーザ装置と、前記発振段レーザ装置から出力されるパルスレーザビームを増幅する少なくとも1段の増幅器を含む増幅段装置とを有する、請求項1記載の極端紫外線光源装置。
- 前記レーザビーム生成部が、パルスレーザビームを出力する発振段レーザ装置と、前記発振段レーザ装置から出力されるパルスレーザビームを複数の光路に分岐させるビーム分岐手段と、分岐された複数のパルスレーザビームをそれぞれ増幅する複数の増幅段装置とを含む、請求項1記載の極端紫外線光源装置。
- 前記レーザビーム生成部が、前記複数系列の発振増幅型レーザ装置又は前記複数の増幅段装置からそれぞれ出力される複数のパルスレーザビームを合成するビーム合成手段をさらに含む、請求項2又は3記載の極端紫外線光源装置。
- 前記複数系列の発振増幅型レーザ装置又は前記複数の増幅段装置からそれぞれ出力される複数のパルスレーザビームが、プラズマ発生位置において合成される、請求項2又は3記載の極端紫外線光源装置。
- 前記レーザビーム生成部が、互いに異なる遅延を伴う複数のパルスレーザビームをそれぞれ出力する複数の発振段レーザ装置と、前記複数の発振段レーザ装置からそれぞれ出力される複数のパルスレーザビームを合成するビーム合成手段と、前記ビーム合成手段から出力される単一パルスレーザビーム又はパルス列レーザビームを増幅する少なくとも1段の増幅器を含む増幅段装置とを含む、請求項1記載の極端紫外線光源装置。
- 前記レーザビーム生成部が、パルスレーザビームを出力する発振段レーザ装置と、前記発振段レーザ装置から出力されるパルスレーザビームを複数の光路に分岐させるビーム分岐手段と、それぞれの光路に応じて互いに異なる遅延を伴う複数のパルスレーザビームを合成するビーム合成手段と、前記ビーム合成手段から出力される単一パルスレーザビーム又はパルス列レーザビームを増幅する少なくとも1段の増幅器を含む増幅段装置とを含む、請求項1記載の極端紫外線光源装置。
- ターゲットにレーザビームを照射することにより極端紫外光を発生するレーザ生成プラズマ型極端紫外光源装置であって、
極端紫外光の生成が行われるチャンバと、
前記チャンバ内の所定の位置に液体又は固体のターゲットを供給するターゲット供給手段と、
時間と共に強度が増加するパルスレーザビームを時間と共に減少する増幅率で増幅して強度が略均一の単一パルスレーザビーム又はパルス列レーザビームを生成し、前記ターゲット供給手段によって供給されるターゲットに該レーザビームを照射することによりプラズマを生成するレーザビーム生成部と、
前記プラズマから放射される極端紫外光を集光して出射するコレクタミラーと、
を具備する極端紫外線光源装置。 - 前記レーザビーム生成部が、時間と共に強度が増加するパルスレーザビームを出力する発振段レーザ装置と、前記発振段レーザ装置から出力されるパルスレーザビームを時間と共に減少する増幅率で増幅する少なくとも1段の増幅器を含む増幅段装置とを含む、請求項8記載の極端紫外線光源装置。
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