JP2012140620A5 - - Google Patents

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第３重合単位は塩基可溶性官能基を有する極性Ｃ１０−３０ 塩基可溶性モノマーから形成されうる。塩基可溶性官能基は、ヘキサフルオロイソプロパノール基および場合によってはヒドロキシのような第２の極性基を有する環式アルキル基もしくは多環式アルキル基のオレフィンエステル、または塩基可溶性官能基としてヘキサフルオロイソプロパノール基もしくはフェノール性ヒドロキシ基を有する芳香族基のオレフィンエステルもしくはビニル芳香族であることができる。

Claims (2)

  1. 第２重合単位が下記：
    Figure 2012140620
     （式中、Ｒ９はＨ、Ｆ、Ｃ１−６アルキルもしくはＣ１−６フルオロアルキルである）の酸感受性モノマー、または、前記の少なくとも１種を含む組み合わせから形成され、並びに
    第３重合単位が下記：
    Figure 2012140620
     （式中、Ｒ１０はＨ、Ｆ、Ｃ１−６アルキルもしくはＣ１−６フルオロアルキルである）
    から選択される極性モノマー、または、前記の少なくとも１種を含む組み合わせから形成される請求項７に記載のコポリマー。
  2. 請求項７に記載のコポリマーを含むフォトレジスト組成物。
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