JP2012127788A - 磁気センサ - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 磁性層と非磁性層とが積層されて成る磁気抵抗効果を発揮する複数の磁気抵抗効果素子S1〜S3と、各磁気抵抗効果素子と絶縁層4を介して非接触の位置に設けられた軟磁性体3とを有し、平面視にて前記軟磁性体3のX1−X2の両側に夫々、固定磁性層の固定磁化方向P1が、X1−X2方向に向けられた磁気抵抗効果素子S1〜S3が配置されており、磁気抵抗効果素子S1,S3と磁気抵抗効果素子S2とで固定磁化方向P1が互いに逆方向にされている。
【選択図】図1
Description
磁性層と非磁性層とが積層されて成る磁気抵抗効果を発揮する複数の磁気抵抗効果素子と、各磁気抵抗効果素子と絶縁層を介して非接触の位置に設けられた軟磁性体とを有し、
平面視にて前記軟磁性体の第1の水平方向の両側に夫々、固定磁性層の固定磁化方向が、前記第1の水平方向に向けられた前記磁気抵抗効果素子が配置されており、前記軟磁性体の両側に配置された前記磁気抵抗効果素子同士、あるいは、前記軟磁性体の同じ側面側に配置された前記磁気抵抗効果素子同士で、前記固定磁化方向が互いに逆方向にされていることを特徴とするものである。
前記第2の磁気抵抗効果素子と前記第3の磁気抵抗効果素子とにより、前記第1の水平方向からの水平磁界を検知可能な第1のブリッジ回路が構成され、
前記第1の磁気抵抗効果素子と前記第3の磁気抵抗効果素子とにより、前記軟磁性体の膜厚方向からの垂直磁界を検知可能な第2のブリッジ回路が構成されることが好ましい。このように本発明では、1チップで、前記第1の水平方向からの水平磁界を検知可能な第1のブリッジ回路と、垂直磁界を検知可能な第2のブリッジ回路とを構成できる。
第1の軟磁性体の前記第1の水平方向における両側に配置された各磁気抵抗効果素子の固定磁性層が互いに逆方向に固定磁化されて、前記第1の水平方向からの水平磁界を検知可能なブリッジ回路が構成され、
前記第1の軟磁性体とは別の第2の軟磁性体が設けられ、平面視にて前記第2の軟磁性体の第1の水平方向に対して直交する第2の水平方向の両側に前記固定磁性層の固定磁化方向が、前記第2の水平方向に向けられた前記磁気抵抗効果素子が配置されており、前記第2の軟磁性体における前記第2の水平方向の両側に配置された各磁気抵抗効果素子の固定磁性層が互いに逆方向に固定磁化されて、前記第2の水平方向からの水平磁界を検知可能なブリッジ回路が構成され、
前記第1の軟磁性体及び前記第2の軟磁性体とは別の第3の軟磁性体が設けられ、平面視にて前記第3の軟磁性体の両側に前記固定磁性層が同じ方向に固定磁化された各磁気抵抗効果素子が配置されて、前記第3の軟磁性体の膜厚方向からの垂直磁界を検知可能なブリッジ回路が構成されている形態にも出来る。
前記固定磁性層は、第1磁性層と前記非磁性材料層に接する第2磁性層とが非磁性中間層を介して積層され、前記第1磁性層と前記第2磁性層とが反平行に磁化固定されたセルフピン止め型であることが好ましい。セルフピン止め型の磁気抵抗効果素子では、反強磁性層を用いず、よって磁場中熱処理を施すことなく固定磁性層を構成する第1磁性層と第2磁性層とを反平行に磁化固定できる。したがって、同じチップ内に固定磁化方向が異なる各磁気抵抗効果素子を適切に形成することが可能になる。
H3 垂直磁界
P1 固定磁化方向(感度軸方向)
S、S1〜S15 磁気抵抗効果素子
1 磁気センサ
2 基板
3、18〜20 軟磁性体
4 絶縁層
10 素子部
11、12 ブリッジ回路
15、16、17 チップ
61 固定磁性層
61a、61b 磁性層
61c 非磁性中間層
63 フリー磁性層
Claims (5)
- 磁性層と非磁性層とが積層されて成る磁気抵抗効果を発揮する複数の磁気抵抗効果素子と、各磁気抵抗効果素子と絶縁層を介して非接触の位置に設けられた軟磁性体とを有し、
平面視にて前記軟磁性体の第1の水平方向の両側に夫々、固定磁性層の固定磁化方向が、前記第1の水平方向に向けられた前記磁気抵抗効果素子が配置されており、前記軟磁性体の両側に配置された前記磁気抵抗効果素子同士、あるいは、前記軟磁性体の同じ側面側に配置された前記磁気抵抗効果素子同士で、前記固定磁化方向が互いに逆方向にされていることを特徴とする磁気センサ。 - 前記軟磁性体の同じ側面側に配置され、且つ前記固定磁化方向が互いに逆方向の第1の磁気抵抗効果素子及び第2の磁気抵抗効果素子と、前記第1の磁気抵抗効果素子及び前記第2の磁気抵抗効果素子と反対側の前記軟磁性体の側面側に配置され、前記第1の磁気抵抗効果素子と同じ固定磁化方向を備える第3の磁気抵抗効果素子とを有し、
前記第2の磁気抵抗効果素子と前記第3の磁気抵抗効果素子とにより、前記第1の水平方向からの水平磁界を検知可能な第1のブリッジ回路が構成され、
前記第1の磁気抵抗効果素子と前記第3の磁気抵抗効果素子とにより、前記軟磁性体の膜厚方向からの垂直磁界を検知可能な第2のブリッジ回路が構成される請求項1記載の磁気センサ。 - 前記軟磁性体、前記第1の磁気抵抗効果素子、前記第2の磁気抵抗効果素子及び前記第3の磁気抵抗効果素子を有するチップを2つ用意し、一方の前記チップを90度回転させて各磁気抵抗効果素子の固定磁化方向を前記第1の水平方向に直交する第2の水平方向に向けて、前記第1の水平方向からの水平磁界を検知可能な前記第1のブリッジ回路と、垂直磁界を検知可能な前記第2のブリッジ回路とともに、前記第2の水平方向からの水平磁界を検知可能な第3のブリッジ回路を構成する請求項2記載の磁気センサ。
- 1チップ内に、
第1の軟磁性体の前記第1の水平方向における両側に配置された各磁気抵抗効果素子の固定磁性層が互いに逆方向に固定磁化されて、前記第1の水平方向からの水平磁界を検知可能なブリッジ回路が構成され、
前記第1の軟磁性体とは別の第2の軟磁性体が設けられ、平面視にて前記第2の軟磁性体の第1の水平方向に対して直交する第2の水平方向の両側に前記固定磁性層の固定磁化方向が、前記第2の水平方向に向けられた前記磁気抵抗効果素子が配置されており、前記第2の軟磁性体における前記第2の水平方向の両側に配置された各磁気抵抗効果素子の固定磁性層が互いに逆方向に固定磁化されて、前記第2の水平方向からの水平磁界を検知可能なブリッジ回路が構成され、
前記第1の軟磁性体及び前記第2の軟磁性体とは別の第3の軟磁性体が設けられ、平面視にて前記第3の軟磁性体の両側に前記固定磁性層が同じ方向に固定磁化された各磁気抵抗効果素子が配置されて、前記第3の軟磁性体の膜厚方向からの垂直磁界を検知可能なブリッジ回路が構成されている請求項1記載の磁気センサ。 - 前記磁気抵抗効果素子は、前記固定磁性層とフリー磁性層とが非磁性材料層を介して積層された積層構造を備え、
前記固定磁性層は、第1磁性層と前記非磁性材料層に接する第2磁性層とが非磁性中間層を介して積層され、前記第1磁性層と前記第2磁性層とが反平行に磁化固定されたセルフピン止め型である請求項1ないし4のいずれか1項に記載の磁気センサ。
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