JP5066581B2 - 磁気センサ及び磁気センサモジュール - Google Patents

磁気センサ及び磁気センサモジュール Download PDF

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Description

本発明は、例えば地磁気センサとして使用される磁気抵抗効果素子を用いた磁気センサに関する。
磁気抵抗効果素子を用いた磁気センサは例えば、携帯電話等の携帯機器に組み込まれる地磁気を検知する地磁気センサとして使用できる。磁気抵抗効果素子は感度軸方向からの磁場の強さに対して電気抵抗値が変動する。
地磁気センサでは、2軸または3軸に分解して磁気を検知する必要があるため、それぞれの軸の磁場の強さを検知する磁気センサは、他の軸に対しては感度を持たないようにする必要がある。また、磁場の強さを正確に検知するため、磁界強度に対してリニアな出力を持つセンサが求められる。
一方、携帯機器内には地磁気よりも強い磁場を発生する部材、例えばスピーカーなどが搭載されていることが多く、また機器の開閉や、メモリーカードの挿抜などによって機器内の磁場は変動することも多い。そのため、様々な方向から例えば携帯機器内で生じた数Oe程度の漏洩磁場がかかっても、正確に地磁気を測定できるように制御することが必要である。
下記の特許文献1に記載された発明では、複数の帯状の磁気抵抗効果膜を互いに平行に配置し、各磁気抵抗効果素子の端部間を永久磁石膜で接続して、つづら折り形状とした磁気センサが開示されている。
しかしながら特許文献1には、上記した地磁気センサに対する従来の課題についての認識がなく当然にそれを解決する手段は示されていない。
特開2005−183614号公報
そこで本発明は、上記従来の課題を解決するためのものであり、特に感度軸に対して直交する方向への磁気シールド効果を向上できるとともに、感度軸方向に対して安定した磁気感度を得ることが可能な磁気センサ及び磁気センサモジュールを提供することを目的とする。
本発明は、磁気抵抗効果素子を備えた磁気センサであって、
前記磁気抵抗効果素子は、磁化方向が固定される固定磁性層と、前記固定磁性層に非磁性層を介して積層された外部磁場を受けて磁化方向が変動するフリー磁性層とを有し、前記固定磁性層の固定磁化方向が感度軸方向である素子幅方向に向けられた素子部を備え、
前記素子部と、前記素子幅方向に直交する素子長さ方向に中間永久磁石層とが設けられており、前記素子部と前記中間永久磁石層とで素子連結体が構成され、前記素子連結体は素子幅に比べて素子長さが長く形成されており、
軟磁性体が前記素子連結体と非接触にて配置され、
前記軟磁性体の前記素子長さ方向と同方向への長さ寸法は、前記素子連結体の素子長さより長く、前記軟磁性体は、前記素子連結体の素子長さ方向の両側から前記素子連結体の長さ方向に延出する延出部を備えていることを特徴とするものである。
上記の構成により、感度軸に対して直交する方向への磁気シールド効果を向上できるとともに、感度軸方向に対して安定した磁気感度を得ることが出来る。
本発明では、前記素子連結体中の素子部、外側永久磁石層、及び前記中間永久磁石層がすべて電気的に接続されており、素子連結体が複数、素子幅方向に間隔を空けて配置され、各素子部連結体の両側に設けられた外側永久磁石層間が非磁性接続層により電気的に接続されたミアンダ形状で形成されており、
各素子連結体の素子幅方向の両側方、真上、あるいは真下のいずれかに前記軟磁性体が前記各素子部と非接触で形成されていることが好ましい。ミアンダ形状とすることで素子抵抗を大きくでき消費電力の低減を図ることができる。また各素子部ごとに軟磁性体を配置したことで、感度軸に対して直交する方向への磁気シールド効果をより適切に向上できる。
また、前記非磁性接続層が、上記軟磁性体と絶縁膜を挟んで交差する交差部を有していることが好ましい。平面的に小さくでき、配線長による寄生抵抗を低減できる。
また本発明では、前記中間永久磁性層の素子長さ方向の長さよりも外側永久磁性層の素子長さ方向の長さが長く形成されていることが好ましい。外側永久磁石層を中間永久磁石層よりも長く形成することで、中央付近より外側のバイアス磁界が弱くなることを防ぐことができる。
また本発明では、前記中間永久磁性層および、外側永久磁性層の幅が前記素子幅より広く形成されていることが好ましい。これにより永久磁性層パターンの角部近傍でバイアス磁界が極端に強くなっている部分を素子部に直接影響を及ぼさないようにできる。
また本発明では、前記中間永久磁石層が、前記素子部の膜厚方向に形成された凹部に設けられていることが好ましい。
また本発明では、前記外側永久磁性層が、前記素子部の膜厚方向に形成された凹部を介して電気的に接続されていることが好ましい。
また本発明では、前記中間永久磁石層の上面及び前記外側永久磁石層の上面には永久磁石層より抵抗値が小さい非磁性低抵抗層が重ねて形成されていることが好ましい。これにより素子抵抗以外の寄生抵抗分を小さくできる。
なお、本発明では、各中間永久磁石層、外側永久磁石層は素子部対して絶縁膜を介して形成されても、直接電気的に接合する形で形成されてもよいが、作成プロセスの簡便性、バイアス磁界印加特性から直接素子部に対して電気的に接合する形で形成することが好ましい。
本発明における磁気センサモジュールは、上記のいずれかに記載の磁気センサを複数有し、少なくとも前記複数の磁気センサのうち一組の磁気抵抗効果素子の感度軸が直交するように各磁気抵抗効果素子が配置されていることを特徴とするものである。例えば、本発明の磁気センサモジュールは地磁気センサとして使用できる。
本発明の磁気センサによれば、感度軸と直交する方向への磁気シールド効果を向上できるとともに、感度軸方向からの磁場に対して安定した磁気感度を得ることが可能である。
図1(a)は第1実施形態における磁気センサの特に磁気抵抗効果素子の部分を示す平面図、図1(b)は、図1(a)のA−A線に沿って高さ方向(図示Z方向)に切断し矢印方向から見た部分断面図、図2は第2実施形態における磁気センサの特に磁気抵抗効果素子の部分を示す平面図、図3は、図2に示すD−D線に沿って高さ方向(図示Z方向)に切断し矢印方向から見た部分拡大断面図、図4は好ましい磁気抵抗効果素子の形態の特に素子部の部分を示す部分拡大平面図、図5は、磁気抵抗効果素子の固定磁性層の固定磁化方向及びフリー磁性層の磁化方向と、電気抵抗値との関係を説明するための図、図6は、磁気抵抗効果素子を膜厚方向から切断した際の切断面を示す断面図、図7は、本実施形態の磁気センサの回路図、である。
本実施形態における磁気抵抗効果素子を備えた磁気センサ1を用いた磁気センサモジュールは例えば携帯電話等の携帯機器に搭載される地磁気センサとして使用される。
前記地磁気センサ1は、図7に示すように、磁気抵抗効果素子2,3と固定抵抗素子4,5とがブリッジ接続されてなるセンサ部6と、前記センサ部6と電気接続された入力端子7、グランド端子8、差動増幅器9及び外部出力端子10等を備えた集積回路(IC)11とで構成される。
図1に示すように、素子部12と中間永久磁石層60とで図示X方向に帯状に延びる素子連結体61が構成される。図1に示すように素子連結体61の素子長さL1は、素子幅W1に比べて長く形成されている。素子連結体61の図示X方向の両側には外側永久磁石層65が設けられる。
前記素子連結体61は、素子幅方向(Y方向)に間隔を空けて複数本並設され、各素子連結体61の両端部に設けられた外側永久磁石層65間が電極層62にて接続されてミアンダ形状の磁気抵抗効果素子2,3が構成されている。
ミアンダ形状に形成された両端にある素子連結体61の一方には入力端子7、グランド端子8、出力取出し部14(図7参照)に接続される電極層62が接続されている。前記電極層62は永久磁石層60,65よりも低抵抗であり、Al、Ta、Au等の非磁性導電材料で形成される。
前記磁気抵抗効果素子2,3を構成する各素子部12は、全て図6に示す同じ積層構造で構成される。なお図6は、素子幅W1と平行な方向から膜厚方向に切断した切断面を示している。
前記素子部12は、例えば下から反強磁性層33、固定磁性層34、非磁性層35、およびフリー磁性層36の順に積層されて成膜され、フリー磁性層36の表面が保護層37で覆われている。前記素子部12は例えばスパッタにて形成される。
反強磁性層33は、Ir−Mn合金(イリジウム−マンガン合金)などの反強磁性材料で形成されている。固定磁性層34はCo−Fe合金(コバルト−鉄合金)などの軟磁性材料で形成されている。非磁性層35はCu(銅)などである。フリー磁性層36は、Ni−Fe合金(ニッケル−鉄合金)などの軟磁性材料で形成されている。保護層37はTa(タンタル)などである。上記構成では非磁性層35がCu等の非磁性導電材料で形成された巨大磁気抵抗効果素子(GMR素子)であるが、Al23等の絶縁材料で形成されたトンネル型磁気抵抗効果素子(TMR素子)であってもよい。また図6に示す素子部12の積層構成は一例であって他の積層構成であってもよい。例えば、下からフリー磁性層36、非磁性層35、固定磁性層34、反強磁性層33及び保護層37の順に積層されてもよい。
素子部12では、反強磁性層33と固定磁性層34との反強磁性結合により、固定磁性層34の磁化方向が固定されている。図1及び図6に示すように、前記固定磁性層34の固定磁化方向(P方向)は、素子幅方向(Y方向)に向いている。すなわち固定磁性層34の固定磁化方向(P方向)は、素子連結体61の長手方向に対して直交している。
一方、前記フリー磁性層36の磁化方向(F方向)は、外部磁場により変動する。なお、永久磁石層60,65から素子部12には図示X方向からバイアス磁界が作用している。よって素子部12を構成するフリー磁性層36の磁化は無磁場状態では図示X方向に向けられている。
図5に示すように、固定磁性層34の固定磁化方向(P方向)と同一方向から外部磁場Y1が作用して前記フリー磁性層36の磁化方向(F方向)が前記外部磁場Y1方向に向くと、前記固定磁性層34の固定磁化方向(P方向)とフリー磁性層36の磁化方向(F方向)とが平行に近づき電気抵抗値が低下する。
一方、図5に示すように、固定磁性層34の固定磁化方向(P方向)と反対方向から外部磁場Y2が作用して前記フリー磁性層36の磁化方向(F方向)が前記外部磁場Y2方向に向くと、前記固定磁性層34の固定磁化方向(P方向)とフリー磁性層36の磁化方向(F方向)とが反平行に近づき電気抵抗値が増大する。
図1(b)に示すように前記磁気抵抗効果素子2,3は基板16上に形成される。前記磁気抵抗効果素子2,3上はAl23やSiO2等の絶縁層17に覆われる。また前記磁気抵抗効果素子2,3を構成する素子連結体61間も前記絶縁層17で埋められる。前記絶縁層17は例えばスパッタにて形成される。
図1(b)のように前記絶縁層17の上面は、例えばCMP技術を用いて平坦面に形成されている。ただし、前記絶縁層17の上面は、前記素子連結体61と前記基板16間の段差に倣って、凹凸面で形成されていてもよい。
図1に示すように、磁気抵抗効果素子2,3を構成する各素子連結体61の間、及び最も外側に位置する素子連結体61の外側に軟磁性体18が設けられている。前記軟磁性体18は例えばスパッタやメッキにて薄膜形成される。前記軟磁性体18は、NiFe、CoFe、CoFeSiBやCoZrNb等で形成される。前記軟磁性体18の長さ寸法L2は前記素子連結体61の素子長さL1よりも長く、図1(a)に示すように、軟磁性体18は、前記素子連結体61の長手方向(X方向)の両側から前記長手方向に延出する延出部18aを備える。
図1(b)に示すように、前記軟磁性体18は、前記素子部12間にある絶縁層17上に形成される。また図示しないが前記軟磁性体18上及び前記軟磁性体18間は絶縁性の保護層にて覆われている。
各寸法について説明する。
前記磁気抵抗効果素子2,3を構成する素子部12の素子幅W1は、2〜10μmの範囲内である(図1(a)参照)。また前記素子部12の素子長さL5は、1〜10μmの範囲内である(図1(a)参照)。また、前記素子部12の膜厚T2は、200〜400Åの範囲内である(図1(b)参照)。前記素子部12のアスペクト比(素子長さL5/素子幅W1)は、0.1〜4である。
前記中間永久磁石層60の長さ寸法L3は、0.5〜5μmの範囲内である(図1(a)参照)。また前記中間永久磁石層13の幅寸法W3は、3〜12μmの範囲内である(図1(a)参照)。W3はW1より広いことが好ましい。前記中間永久磁石層13の膜厚は、150〜1000Åの範囲内である。
前記外側永久磁石層65の長さ寸法L4は、5〜10μmの範囲内である(図1(a)参照)。また、前記外側永久磁石層15の膜厚は、前記中間永久磁石層13の膜厚と等しいことが好ましい。
各素子連結体61間の素子幅方向への間隔T5は、2〜10μmの範囲内である(図1(a)参照)。
また前記素子連結体61の長さ寸法L1は、50〜200μmの範囲内である。
また前記軟磁性体18の幅寸法W2は、この実施形態では、地磁気センサとして使用する場合、1〜6μmの範囲内である(図1(a)参照)。また前記軟磁性体18の長さ寸法L2は、80〜200μmの範囲内である(図1(a)参照)。また、前記軟磁性体18の膜厚T3は、0.2〜1μmの範囲内である(図1(b)参照)。前記軟磁性体18の延出部18aの長さ寸法T8は、10μm以上である(図1(a)参照)。
図1の実施形態における各軟磁性体18間の距離(Y方向への距離)T1は、軟磁性体18の幅寸法W2以上で2〜8μmである(図1(b)参照)。また、前記素子部12と隣接した位置にある軟磁性体18とのY方向への距離T4は、0<T4<3μmである(図1(b)参照)。また、前記軟磁性体18と素子部12間の高さ方向(Z方向)への距離T5は、0.1〜1μmである(図1(b)参照)。
図1に示す磁気センサ1は、図示Y方向(素子幅方向)と平行な方向からの地磁気を検知するためのものである。よって図示Y方向が感度軸方向であり、図示Y方向に直交するX方向(素子長さ方向)が素子連結体61の長手方向である。固定磁性層34の固定磁化方向(P方向)は感度軸方向である図示Y方向に向けられている。
本実施形態では、前記素子部12と非接触の軟磁性体18を設けている。前記軟磁性体18は、素子連結体61と同様に、素子長さ方向(図示X方向)に細長い形状である。なお軟磁性体18の透磁率は素子部12の透磁率よりも大きい。
さらに本実施形態における前記軟磁性体18は、前記磁気抵抗効果素子2,3を構成する各素子連結体61の素子長さ方向(X方向)の両側から前記素子長さ方向に延出する延出部18aを備える。
さらに本実施形態では、素子部12と中間永久磁石層60とで素子連結体61を構成している。
ここで、図1(a)に示す中間永久磁石層60及び外側永久磁石層65が無く、中間永久磁石層60及び外側永久磁石層の部分も素子部12で形成された構造を比較例1とする。ただし比較例1は軟磁性体18を有している。
また図1(a)に示す構造から軟磁性体18を除去した構造を比較例2とする。ただし比較例2は、永久磁石層60,65を有している。
図9(a)は、上記した比較例1の構造における感度軸方向からの磁場(以下、感度磁場という)の強度Hと磁気抵抗効果素子の単位磁場当たりの抵抗変化率(MR比)との関係を示すグラフ、図9(b)は、上記した比較例1の構造における感度軸方向に対して直交方向からの磁場(以下、直交磁場と言う)の強度Hと磁気抵抗効果素子の単位磁場当たりの抵抗変化率(MR比)との関係を示すグラフである。
ここで、微小な磁場(例えば地磁気など)を携帯機器(例えば携帯電話など)で感知する場合、実際には検知する磁場よりも携帯機器内部で発生する外乱磁場の方が大きく、値も一定では無い為、感度方向の抵抗変化は「実際に検知する磁場+携帯機器内で発生する磁場」分の広範囲な直線性及び、感度直交方向からの磁場が加わったときにその線形性が崩れないことが要求される。また、感度直交方向の抵抗変化は「実際に検知する磁場+携帯機器内で発生する磁場」の範囲内では抵抗変化が発生しないことが要求される。以降、「実際に検知する磁場+携帯機器内で発生する磁場」の磁場領域を“感度領域”と定義する。
比較例1は軟磁性体18を有するので直交磁場に対する磁気シールド効果が発揮される。このため、直交磁場を作用させない状態、直交磁場を第1方向から作用させた状態、及び直交磁場を第1方向とは逆方向の第2方向から作用させた状態の夫々において、感度磁場の強度Hを変化させても、図9(a)のように感度領域での感度ばらつきは小さいように見える。
しかしながら図9(b)に示すように、感度領域での磁場範囲は、同範囲の直交磁場が作用したときに直交磁場に対して感度変化が大きくなる低磁場である。よって、低磁場内で一定でなく直交磁場が変動作用すると、感度磁場に対する感度ばらつきは大きくなってしまう。
なお比較例1の構造では磁気感度にヒステリシスを持つがヒステリシスについては後記する。
図10(a)は、上記した比較例2の構造における感度軸方向からの磁場(以下、感度磁場という)の強度Hと磁気抵抗効果素子の単位磁場当たりの抵抗変化率(MR比)との関係を示すグラフ、図10(b)は、上記した比較例2の構造における感度軸方向に対して直交方向からの磁場(以下、直交磁場と言う)の強度Hと磁気抵抗効果素子の単位磁場当たりの抵抗変化率(MR比)との関係を示すグラフである。
比較例2は、比較例1と違って、軟磁性体18を有さないので直交磁場に対して磁気シールド効果が無い。すなわち直交磁場は、シールドされず、そのまま素子部に作用する。一方、比較例2では素子部12が永久磁石層60,65と交互に設けられるため、永久磁石層60,65により素子部12の単磁区化が促進されている。しかしながら、比較例2の構造では永久磁石層60,65から素子部12に作用するバイアス磁界の方向と、直交磁場の方向とが同方向であると、素子部12に作用するバイアス磁界が見かけ上大きくなり、一方、素子部12に作用するバイアス磁界の方向と、直交磁場の方向とが逆方向であると、素子部12に作用するバイアス磁界が見かけ上小さくなる。このため、直交磁場が作用していない状態、直交磁場がバイアス磁界と同方向に作用する状態、及び、直交磁場がバイアス磁界と逆方向に作用する状態の夫々について感度磁場の強度Hを変化させたときのMR比を調べると、図10(a)に示すように、感度領域での感度ばらつきが非常に大きくなる。
その一方で、直交磁場の強度Hを変化させたときのMR比を測定すると、感度変化する略V字の波形部分は、永久磁石層60,65によるバイアス磁界の影響で感度領域と同磁場範囲内からややシフトする。よって、直交磁場が一定でなく感度領域と同等の低磁場範囲で直交磁場成分が変動作用しても、感度磁場に対する感度のばらつきは図10(a)の状態から比較例1ほど大きく変化しないが、直交磁場をシールドできないため、感度変化する波形部分は図9(b)に比べて大きく変化し、このため、感度磁場に対する感度のばらつきを次に説明する実施形態ほど小さくはできない。
図11(a)は、本実施形態の構造における感度軸方向からの磁場(以下、感度磁場という)の強度Hと磁気抵抗効果素子の単位磁場当たりの抵抗変化率(MR比)との関係を示すグラフ、図10(b)は、本実施形態の構造における感度軸方向に対して直交方向からの磁場(以下、直交磁場と言う)の強度Hと磁気抵抗効果素子の単位磁場当たりの抵抗変化率(MR比)との関係を示すグラフである。
本実施形態では軟磁性体18により直交磁場に対して磁気シールド効果がある。また本実施形態における前記軟磁性体18は、各素子連結体61の素子長さ方向(X方向)の両側から前記素子長さ方向に延出する延出部18aを備えるため、直交磁場は、より効果的に、軟磁性体18を通過しやすい。また永久磁石層60,65により素子部12の単磁区化が促進される。したがって、直交磁場が作用していない状態、直交磁場がバイアス磁界と同方向に作用する状態、及び、直交磁場がバイアス磁界と逆方向に作用する状態の夫々について感度磁場の強度Hを変化させたときのMR比を調べると、図11(a)に示すように、感度領域での感度ばらつきが非常に小さくなる。
また図11(b)に示すように、直交磁場に対しては、永久磁石層60,65によるバイアス磁界の影響で感度変化する略V字の波形部分を感度領域と同磁場範囲内からシフトさせることが出来るとともに、波形部分を、軟磁性体18による磁気シールド効果により小さくできる。よって、感度領域と同磁場範囲内での直交磁場(外乱磁場)が一定でなく変動作用しても、感度磁場に対する感度のばらつきを小さくできる。
以上により永久磁石層60,65及び軟磁性体18を有する本実施形態では、直交磁場に対する磁気シールド効果を向上できるとともに、感度磁場に対する感度ばらつきを小さくでき安定した磁気感度を得ることが出来る。
ところで本実施形態のように、素子部12と永久磁石層60,65とを交互に配列した構成では、素子部12に永久磁石層60,65からのバイアス磁界が作用し、素子部12のフリー磁性層36の単磁区化が促進される。したがって図9の比較例1のように永久磁石層60,65を設けない形態に比べて磁気感度のヒステリシスの発生を小さくできる。
しかしながら、永久磁石層60,65間に挟まれた部分の素子部12のアスペクト比(素子長さL5/素子幅W1)(図4参照)が大きくなると、永久磁石層60,65からのバイアス磁界を素子部12の全体に適切に供給できず、素子部12のフリー磁性層36の単磁区化を適切に促進できない。このため比較例1よりヒステリシスは小さくなるものの、例えば、図12のように、直交磁場に対して感度変化する波形部分にヒステリシスが生じやすくなる。よって直交磁場に対して感度変化領域が広がりやすくなり、図12に示すように感度領域と同磁場範囲の直交磁場範囲内にヒステリシスの一部が入り込みやすくなる。よって外乱磁場耐性(磁気シールド効果)が低下しやすくなる。また感度磁場に対してもヒステリシスは生じやすくなり、感度磁場に対する磁場応答性が低下する。したがって、素子部12の全体に適切にバイアス磁界を供給するために素子部12のアスペクト比は小さいことが好ましく、3以下が好適であり、1より小さいことがより好ましい。これにより素子部12に適切にバイアス磁界を供給するための永久磁性層膜厚も薄くすることができる。
図2は図1の変形例である。図2に示す実施形態では、磁気抵抗効果素子2,3は、素子連結体61の端部間を接続する電極層62が、Y方向に直線状(帯状)で形成され、前記電極層62が、絶縁層を介し前記軟磁性体18の下側を通っている。すなわち、電極層62と軟磁性体18とが高さ方向(図示Z方向)にて交差している。素子連結体61を接続する部分の電極層62は軟磁性体18と電気的に絶縁されていれば、下部での形成に限定されず、上部に形成されてもよい。
図1では、電極層62が平面的に軟磁性体18を迂回するように形成されていたが、図2では、電極層62と軟磁性体18とを高さ方向(図示Z方向)にて交差させているため、磁気抵抗効果素子2,3の図示X方向への長さ寸法を小さくでき、電極層62の配線抵抗も低減できる。また電極層62と軟磁性体18間の絶縁性(図1(b)に示す絶縁層17が介在している)が低く、仮にショートしたとしても、センサ特性にさほどの影響は無い。また電極層62を非磁性の良導体で形成することで、電極層62を永久磁石層で形成する形態に比べて寄生抵抗を低減できるし、永久磁石層で形成するとバイアス磁界の影響が軟磁性体18に影響しシールド効果が低下するが、本実施形態では、そのような問題も生じない。
永久磁石層の好ましい形状について説明する。図3の断面図に示すように、各素子部12を構成する反強磁性層33、固定磁性層34及び非磁性層35は永久磁石層60,65の形成位置で分断されておらず一体化している。すなわち、永久磁石層60,65の形成位置では、素子部12を構成する保護層37及びフリー磁性層36がイオンミリング等で削られて凹部63が形成される。よって凹部63の底面63aには非磁性層35が露出している。なお非磁性層35の一部まで削られて凹部63が形成されてもよい。そして、この凹部63内に永久磁石層60,65が設けられている。図3の構成により固定磁性層34が分断されないため、固定磁性層34の磁化を図示Y方向に安定化でき、一軸異方性を向上させることができる。また固定磁性層34及び反強磁性層33まで分断して各素子部12間に永久磁石層60,65を設けた構成では、永久磁石層60,65と素子部12との電気的コンタクトは各側面となるため寄生抵抗が大きくなりやすいが、本実施形態のように永久磁石層60,65と素子部12との電気的コンタクトが平面接触となることで寄生抵抗を低減させることが出来る。
また図13に示すように中間永久磁石層60の上面には、中間永久磁石層60よりも抵抗値が小さい低抵抗層64が重ねて形成されている。低抵抗層64はAu、Al、Cu等の非磁性の良導体で形成されることが好適である。低抵抗層64は、中間永久磁石層60と同様にスパッタあるいはメッキ等で形成される。図13に示すように中間永久磁石層60上に低抵抗層64を重ねて形成することで、より効果的に、寄生抵抗を低減できる。なお外側永久磁石層65上には上記したように低抵抗層としての電極層62が重ねられて形成されており、磁気抵抗変化に寄与しない寄生抵抗成分を効果的に低減できる構成となっている。
図2、図3において素子部12と中間永久磁石層60が素子幅と直交方向に直列に接続されその外側に外側永久磁石層65が形成される場合、素子中央において永久磁性層のバイアス磁界が積算されるため、外側のバイアス磁界が中央付近と比較すると弱くなる。そのため、外側永久磁石層65の素子直交方向長さを中間永久磁石層60長さより長くすることが好ましい。また、形成プロセスを分けることで、外側永久磁石層65の膜厚を中間永久磁石層60の膜厚より厚くすることでも同様の効果を得ることが出来る。
さらに中間永久磁石層60および外側永久磁石層65形成角部近傍では磁界が極端に強くなるため、素子幅W1よりも永久磁石層幅を広くすることで、磁界強度の最も強い部分を素子部に直接影響しないようにでき、パターン形成の合わせ精度のマージンも上げることが出来る。
磁気抵抗効果素子2,3を構成する素子部12は一つだけでもよいが、複数設けてミアンダ形状にすることで、素子抵抗を大きくでき消費電力の低減を図ることができ好適である。
また、磁気抵抗効果素子2,3及び固定抵抗素子4,5は一つずつでもよいが、図7のようにブリッジ回路を構成し、出力取出し部14から得られた出力を差動増幅器9にて差動出力とすることで、出力値を大きくでき高精度な磁場検知を行うことが出来る。
また、図1,図2では、軟磁性体18は、素子連結体61の両側方に設けられていたが、軟磁性体18は、素子連結体61の真上、あるいは真下に絶縁層を介して設けられる構造でもよい。
固定磁性層34の固定磁化方向(P方向)を、同チップ内で変えたり、あるいは、同じ固定磁化方向(P方向)を備えるチップを2つ用いてフルブリッジの構成とすることも可能である。
本実施形態における磁気センサ1は例えば、図8に示す地磁気センサ(磁気センサモジュール)として使用される。X軸磁場検知部50、Y軸磁場検知部51、Z軸磁場検知部52では、いずれも図7に示すブリッジ回路のセンサ部が設けられている。X軸磁場検知部50では磁気抵抗効果素子2,3の素子部12の固定磁性層34の固定磁化方向(P方向)が感度軸であるX方向を向いており、また、Y軸磁場検知部51では磁気抵抗効果素子2,3の素子部12の固定磁性層34の固定磁化方向(P方向)が感度軸であるY方向を向いており、さらに、Z軸磁場検知部52では磁気抵抗効果素子2,3の素子部12の固定磁性層34の固定磁化方向(P方向)が感度軸であるZ方向を向いている。
X軸磁場検知部50、Y軸磁場検知部51、Z軸磁場検知部52、及び集積回路(ASIC)54はいずれも基台53上に設けられる。X軸磁場検知部50、及びY軸磁場検知部51の磁気抵抗効果素子2,3の形成面はいずれもX−Y平面であるが、Z軸磁場検知部52の磁気抵抗効果素子2,3の形成面はX−Z平面であり、Z軸磁場検知部52の磁気抵抗効果素子2,3の形成面は、X軸磁場検知部50、及びY軸磁場検知部51の磁気抵抗効果素子2,3の形成面に対して直交した関係にある。
本実施形態では感度軸方向と直交する方向に対して磁気シールド効果があり、また感度軸方向に対しては適切な感度を備える。したがって、X軸磁場検知部50、Y軸磁場検知部51、及びZ軸磁場検知部52のうち2以上の検知部を基台53上に設けても、各検知部において、感度軸方向と直交方向からの磁場を適切に磁気シールドできるとともに、各検知部の感度軸方向からの地磁気を適切に検知できる。
図8の構成以外に、図8に示す地磁気センサと加速度センサ等を組み合わせたモジュールとすることもできる。
(a)は第1実施形態における磁気センサの特に磁気抵抗効果素子の部分を示す平面図、(b)は、図1(a)のA−A線に沿って高さ方向(図示Z方向)に切断し矢印方向から見た部分断面図、 第2実施形態における磁気センサの特に磁気抵抗効果素子の部分を示す平面図、 図2に示すD−D線に沿って高さ方向(図示Z方向)に切断し矢印方向から見た部分拡大断面図、 好ましい磁気抵抗効果素子の形態の特に素子部の部分を示す部分拡大平面図、 磁気抵抗効果素子の固定磁性層の固定磁化方向及びフリー磁性層の磁化方向と、電気抵抗値との関係を説明するための図、 磁気抵抗効果素子を膜厚方向から切断した際の切断面を示す断面図、 本実施形態の磁気センサの回路図、 本実施形態における地磁気センサモジュールの部分斜視図、 (a)は、比較例1(図1(a)に示す永久磁石層60、65が形成されておらず永久磁石層60、65の部分も素子部12で形成された構造。ただし軟磁性体18は設けられている)の構造における感度軸方向からの磁場の強度Hと磁気抵抗効果素子の単位磁場当たりの抵抗変化率(MR比)との関係を示すグラフ、(b)は、上記した比較例1の構造における感度軸方向に対して直交方向からの磁場の強度Hと磁気抵抗効果素子の単位磁場当たりの抵抗変化率(MR比)との関係を示すグラフ、 (a)は、比較例2(図1(a)に示す軟磁性体18が設けられていない構造。ただし永久磁石層60、65は設けられている)の構造における感度軸方向からの磁場の強度Hと磁気抵抗効果素子の単位磁場当たりの抵抗変化率(MR比)との関係を示すグラフ、(b)は、上記した比較例2の構造における感度軸方向に対して直交方向からの磁場の強度Hと磁気抵抗効果素子の単位磁場当たりの抵抗変化率(MR比)との関係を示すグラフ、 (a)は、本実施形態(永久磁石層60、65及び軟磁性体18の双方が設けられている)の構造における感度軸方向からの磁場の強度Hと磁気抵抗効果素子の単位磁場当たりの抵抗変化率(MR比)との関係を示すグラフ、(b)は、上記した本実施形態の構造における感度軸方向に対して直交方向からの磁場の強度Hと磁気抵抗効果素子の単位磁場当たりの抵抗変化率(MR比)との関係を示すグラフ、 素子部のアスペクト比によりヒステリシスが生じることを説明するための直交磁場の強度Hと磁気抵抗効果素子の単位磁場当たりの抵抗変化率(MR比)との関係を示すグラフ、
符号の説明
1 磁気センサ
2、3 磁気抵抗効果素子
4、5 固定抵抗素子
6 ブリッジ回路
7 入力端子
8 グランド端子
9 差動増幅器
10 外部出力端子
11 集積回路
12 素子部
14 出力取出し部
16 基板
17 絶縁層
18 軟磁性体
33 反強磁性層
34 固定磁性層
36 フリー磁性層
37 保護層
50 X軸磁場検知部
51 Y軸磁場検知部
52 Z軸磁場検知部
60 中間永久磁石層
65 外側永久磁石層
61 素子連結体
62 電極層
63 凹部
64 低抵抗層
L1 素子長さ
L2 (軟磁性体の)長さ寸法
W1 素子幅
W2 (軟磁性体の)幅寸法

Claims (9)

  1. 磁気抵抗効果素子を備えた磁気センサであって、
    前記磁気抵抗効果素子は、磁化方向が固定される固定磁性層と、前記固定磁性層に非磁性層を介して積層された外部磁場を受けて磁化方向が変動するフリー磁性層とを有し、前記固定磁性層の固定磁化方向が感度軸方向である素子幅方向に向けられた素子部を備え、
    前記素子部と、前記素子幅方向に直交する素子長さ方向に中間永久磁石層とが設けられており、前記素子部と前記中間永久磁石層とで素子連結体が構成され、前記素子連結体は素子幅に比べて素子長さが長く形成されており、
    軟磁性体が前記素子連結体と非接触にて配置され、
    前記軟磁性体の前記素子長さ方向と同方向への長さ寸法は、前記素子連結体の素子長さより長く、前記軟磁性体は、前記素子連結体の素子長さ方向の両側から前記素子連結体の素子長さ方向に延出する延出部を備えていることを特徴とする磁気センサ。
  2. 前記素子連結体中の素子部、外側永久磁石層、及び前記中間永久磁石層がすべて電気的に接続されており、素子連結体が複数、素子幅方向に間隔を空けて配置され、各素子部連結体の両側に設けられた外側永久磁石層間が非磁性接続層により電気的に接続されたミアンダ形状で形成されており、
    各素子連結体の素子幅方向の両側方、真上、あるいは真下のいずれかに前記軟磁性体が前記各素子部と非接触で形成されている請求項1に記載の磁気センサ。
  3. 前記非磁性接続層が、上記軟磁性体と絶縁膜を挟んで交差する交差部を有している請求項1記載の磁気センサ。
  4. 前記中間永久磁性層の素子長さ方向の長さよりも外側永久磁性層の素子長さ方向の長さが長く形成されている請求項1記載の磁気センサ。
  5. 前記中間永久磁性層および、外側永久磁性層の幅が前記素子幅より広く形成されている請求項1記載の磁気センサ。
  6. 前記中間永久磁石層が、前記素子部の膜厚方向に形成された凹部に設けられている請求項1記載の磁気センサ。
  7. 前記外側永久磁性層が、前記素子部の膜厚方向に形成された凹部を介して電気的に接続されている請求項1記載の磁気センサ。
  8. 前記中間永久磁石層の上面及び前記外側永久磁石層の上面には永久磁石層より抵抗値が小さい非磁性低抵抗層が重ねて形成されている請求項1記載の磁気センサ。
  9. 請求項1ないし8のいずれかに記載の磁気センサを複数有し、少なくとも前記複数の磁気センサのうち一組の磁気抵抗効果素子の感度軸が直交するように各磁気抵抗効果素子が配置されていることを特徴とする磁気センサモジュール。
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