JP5066581B2 - 磁気センサ及び磁気センサモジュール - Google Patents
磁気センサ及び磁気センサモジュール Download PDFInfo
- Publication number
- JP5066581B2 JP5066581B2 JP2009547997A JP2009547997A JP5066581B2 JP 5066581 B2 JP5066581 B2 JP 5066581B2 JP 2009547997 A JP2009547997 A JP 2009547997A JP 2009547997 A JP2009547997 A JP 2009547997A JP 5066581 B2 JP5066581 B2 JP 5066581B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- layer
- magnetic
- magnetic field
- permanent magnet
- magnetic sensor
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
Images
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01R—MEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
- G01R33/00—Arrangements or instruments for measuring magnetic variables
- G01R33/02—Measuring direction or magnitude of magnetic fields or magnetic flux
- G01R33/06—Measuring direction or magnitude of magnetic fields or magnetic flux using galvano-magnetic devices
- G01R33/09—Magnetoresistive devices
- G01R33/093—Magnetoresistive devices using multilayer structures, e.g. giant magnetoresistance sensors
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B82—NANOTECHNOLOGY
- B82Y—SPECIFIC USES OR APPLICATIONS OF NANOSTRUCTURES; MEASUREMENT OR ANALYSIS OF NANOSTRUCTURES; MANUFACTURE OR TREATMENT OF NANOSTRUCTURES
- B82Y25/00—Nanomagnetism, e.g. magnetoimpedance, anisotropic magnetoresistance, giant magnetoresistance or tunneling magnetoresistance
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10N—ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10N50/00—Galvanomagnetic devices
- H10N50/10—Magnetoresistive devices
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Nanotechnology (AREA)
- Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Crystallography & Structural Chemistry (AREA)
- Measuring Magnetic Variables (AREA)
- Hall/Mr Elements (AREA)
Description
前記磁気抵抗効果素子は、磁化方向が固定される固定磁性層と、前記固定磁性層に非磁性層を介して積層された外部磁場を受けて磁化方向が変動するフリー磁性層とを有し、前記固定磁性層の固定磁化方向が感度軸方向である素子幅方向に向けられた素子部を備え、
前記素子部と、前記素子幅方向に直交する素子長さ方向に中間永久磁石層とが設けられており、前記素子部と前記中間永久磁石層とで素子連結体が構成され、前記素子連結体は素子幅に比べて素子長さが長く形成されており、
軟磁性体が前記素子連結体と非接触にて配置され、
前記軟磁性体の前記素子長さ方向と同方向への長さ寸法は、前記素子連結体の素子長さより長く、前記軟磁性体は、前記素子連結体の素子長さ方向の両側から前記素子連結体の長さ方向に延出する延出部を備えていることを特徴とするものである。
各素子連結体の素子幅方向の両側方、真上、あるいは真下のいずれかに前記軟磁性体が前記各素子部と非接触で形成されていることが好ましい。ミアンダ形状とすることで素子抵抗を大きくでき消費電力の低減を図ることができる。また各素子部ごとに軟磁性体を配置したことで、感度軸に対して直交する方向への磁気シールド効果をより適切に向上できる。
前記磁気抵抗効果素子2,3を構成する素子部12の素子幅W1は、2〜10μmの範囲内である(図1(a)参照)。また前記素子部12の素子長さL5は、1〜10μmの範囲内である(図1(a)参照)。また、前記素子部12の膜厚T2は、200〜400Åの範囲内である(図1(b)参照)。前記素子部12のアスペクト比(素子長さL5/素子幅W1)は、0.1〜4である。
また前記軟磁性体18の幅寸法W2は、この実施形態では、地磁気センサとして使用する場合、1〜6μmの範囲内である(図1(a)参照)。また前記軟磁性体18の長さ寸法L2は、80〜200μmの範囲内である(図1(a)参照)。また、前記軟磁性体18の膜厚T3は、0.2〜1μmの範囲内である(図1(b)参照)。前記軟磁性体18の延出部18aの長さ寸法T8は、10μm以上である(図1(a)参照)。
2、3 磁気抵抗効果素子
4、5 固定抵抗素子
6 ブリッジ回路
7 入力端子
8 グランド端子
9 差動増幅器
10 外部出力端子
11 集積回路
12 素子部
14 出力取出し部
16 基板
17 絶縁層
18 軟磁性体
33 反強磁性層
34 固定磁性層
36 フリー磁性層
37 保護層
50 X軸磁場検知部
51 Y軸磁場検知部
52 Z軸磁場検知部
60 中間永久磁石層
65 外側永久磁石層
61 素子連結体
62 電極層
63 凹部
64 低抵抗層
L1 素子長さ
L2 (軟磁性体の)長さ寸法
W1 素子幅
W2 (軟磁性体の)幅寸法
Claims (9)
- 磁気抵抗効果素子を備えた磁気センサであって、
前記磁気抵抗効果素子は、磁化方向が固定される固定磁性層と、前記固定磁性層に非磁性層を介して積層された外部磁場を受けて磁化方向が変動するフリー磁性層とを有し、前記固定磁性層の固定磁化方向が感度軸方向である素子幅方向に向けられた素子部を備え、
前記素子部と、前記素子幅方向に直交する素子長さ方向に中間永久磁石層とが設けられており、前記素子部と前記中間永久磁石層とで素子連結体が構成され、前記素子連結体は素子幅に比べて素子長さが長く形成されており、
軟磁性体が前記素子連結体と非接触にて配置され、
前記軟磁性体の前記素子長さ方向と同方向への長さ寸法は、前記素子連結体の素子長さより長く、前記軟磁性体は、前記素子連結体の素子長さ方向の両側から前記素子連結体の素子長さ方向に延出する延出部を備えていることを特徴とする磁気センサ。 - 前記素子連結体中の素子部、外側永久磁石層、及び前記中間永久磁石層がすべて電気的に接続されており、素子連結体が複数、素子幅方向に間隔を空けて配置され、各素子部連結体の両側に設けられた外側永久磁石層間が非磁性接続層により電気的に接続されたミアンダ形状で形成されており、
各素子連結体の素子幅方向の両側方、真上、あるいは真下のいずれかに前記軟磁性体が前記各素子部と非接触で形成されている請求項1に記載の磁気センサ。 - 前記非磁性接続層が、上記軟磁性体と絶縁膜を挟んで交差する交差部を有している請求項1記載の磁気センサ。
- 前記中間永久磁性層の素子長さ方向の長さよりも外側永久磁性層の素子長さ方向の長さが長く形成されている請求項1記載の磁気センサ。
- 前記中間永久磁性層および、外側永久磁性層の幅が前記素子幅より広く形成されている請求項1記載の磁気センサ。
- 前記中間永久磁石層が、前記素子部の膜厚方向に形成された凹部に設けられている請求項1記載の磁気センサ。
- 前記外側永久磁性層が、前記素子部の膜厚方向に形成された凹部を介して電気的に接続されている請求項1記載の磁気センサ。
- 前記中間永久磁石層の上面及び前記外側永久磁石層の上面には永久磁石層より抵抗値が小さい非磁性低抵抗層が重ねて形成されている請求項1記載の磁気センサ。
- 請求項1ないし8のいずれかに記載の磁気センサを複数有し、少なくとも前記複数の磁気センサのうち一組の磁気抵抗効果素子の感度軸が直交するように各磁気抵抗効果素子が配置されていることを特徴とする磁気センサモジュール。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2009547997A JP5066581B2 (ja) | 2007-12-28 | 2008-12-17 | 磁気センサ及び磁気センサモジュール |
Applications Claiming Priority (6)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2007339671 | 2007-12-28 | ||
JP2007339671 | 2007-12-28 | ||
JP2008152719 | 2008-06-11 | ||
JP2008152719 | 2008-06-11 | ||
PCT/JP2008/072921 WO2009084435A1 (ja) | 2007-12-28 | 2008-12-17 | 磁気センサ及び磁気センサモジュール |
JP2009547997A JP5066581B2 (ja) | 2007-12-28 | 2008-12-17 | 磁気センサ及び磁気センサモジュール |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPWO2009084435A1 JPWO2009084435A1 (ja) | 2011-05-19 |
JP5066581B2 true JP5066581B2 (ja) | 2012-11-07 |
Family
ID=40824155
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2009547997A Active JP5066581B2 (ja) | 2007-12-28 | 2008-12-17 | 磁気センサ及び磁気センサモジュール |
Country Status (2)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP5066581B2 (ja) |
WO (1) | WO2009084435A1 (ja) |
Families Citing this family (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2011052596A1 (ja) * | 2009-10-27 | 2011-05-05 | アルプス電気株式会社 | 磁気センサ |
JP5467209B2 (ja) * | 2009-10-27 | 2014-04-09 | アルプス電気株式会社 | 磁気センサ |
JP5467210B2 (ja) * | 2009-10-27 | 2014-04-09 | アルプス電気株式会社 | 磁気センサ |
JP2013055281A (ja) * | 2011-09-06 | 2013-03-21 | Alps Green Devices Co Ltd | 電流センサ |
JP2016186476A (ja) * | 2015-03-27 | 2016-10-27 | Tdk株式会社 | 磁気センサ及び磁気式エンコーダ |
JP6490130B2 (ja) | 2017-03-24 | 2019-03-27 | Tdk株式会社 | 磁気センサ |
JP7298569B2 (ja) | 2020-08-27 | 2023-06-27 | Tdk株式会社 | 磁気センサ、並びに磁気センサを用いた位置検出装置及び電流センサ |
Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS5634131A (en) * | 1979-08-29 | 1981-04-06 | Nec Corp | Element for detecting magnetic field |
JPS58197892A (ja) * | 1982-05-14 | 1983-11-17 | Hitachi Ltd | 磁場検出素子 |
JPS59195889A (ja) * | 1983-04-21 | 1984-11-07 | Nec Corp | ヨ−ク付強磁性磁気抵抗効果素子の製造方法 |
JP2005183614A (ja) * | 2003-12-18 | 2005-07-07 | Yamaha Corp | 磁気センサ |
-
2008
- 2008-12-17 WO PCT/JP2008/072921 patent/WO2009084435A1/ja active Application Filing
- 2008-12-17 JP JP2009547997A patent/JP5066581B2/ja active Active
Patent Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS5634131A (en) * | 1979-08-29 | 1981-04-06 | Nec Corp | Element for detecting magnetic field |
JPS58197892A (ja) * | 1982-05-14 | 1983-11-17 | Hitachi Ltd | 磁場検出素子 |
JPS59195889A (ja) * | 1983-04-21 | 1984-11-07 | Nec Corp | ヨ−ク付強磁性磁気抵抗効果素子の製造方法 |
JP2005183614A (ja) * | 2003-12-18 | 2005-07-07 | Yamaha Corp | 磁気センサ |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPWO2009084435A1 (ja) | 2011-05-19 |
WO2009084435A1 (ja) | 2009-07-09 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP5066580B2 (ja) | 磁気センサ及び磁気センサモジュール | |
JP5066579B2 (ja) | 磁気センサ及び磁気センサモジュール | |
JP5174911B2 (ja) | 磁気センサ及び磁気センサモジュール | |
JP5297442B2 (ja) | 磁気センサ | |
JP5597206B2 (ja) | 磁気センサ | |
JP5297539B2 (ja) | 磁気センサ | |
US8593134B2 (en) | Current sensor | |
JP5210983B2 (ja) | 地磁気センサ | |
JP5066581B2 (ja) | 磁気センサ及び磁気センサモジュール | |
JP2009175120A (ja) | 磁気センサ及び磁気センサモジュール | |
US9182458B2 (en) | Magnetoresistive sensing device | |
JP2009300150A (ja) | 磁気センサ及び磁気センサモジュール | |
JP5149964B2 (ja) | 磁気センサ及び磁気センサモジュール | |
WO2009151024A1 (ja) | 磁気センサ及び磁気センサモジュール | |
JP5899012B2 (ja) | 磁気センサ | |
JP2009162499A (ja) | 磁気センサ | |
JP5171933B2 (ja) | 磁気センサ | |
JP2009162540A (ja) | 磁気センサ及びその製造方法 | |
WO2011074488A1 (ja) | 磁気センサ | |
US11237231B2 (en) | Z-axis magnetic sensor with distributed flux guides | |
US8270127B2 (en) | Magnetic coupling-type isolator | |
JP5453198B2 (ja) | 磁気センサ | |
JPWO2020054112A1 (ja) | 磁気センサおよび電流センサ |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20120807 |
|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20120813 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 5066581 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20150817 Year of fee payment: 3 |
|
S533 | Written request for registration of change of name |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313533 |
|
R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |