JPWO2020054112A1 - 磁気センサおよび電流センサ - Google Patents
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Abstract
Description
磁気抵抗効果素子の感度軸方向に直交する方向のバイアス磁界を印加し、磁気シールドを単磁区化することにより、感度軸方向の残留磁化発生を抑制できるから、磁気センサの出力のヒステリシスを低減することが可能である。
この場合、複数の前記磁気抵抗効果素子によりブリッジ回路が形成されており、前記磁気発生手段が、前記ブリッジ回路と給電端子との間、および前記ブリッジ回路と前記接地端子との間に、それぞれ設けられており、前記給電端子および前記接地端子を介して前記ブリッジ回路に給電されることにより、前記磁気発生手段のうちの一方は前記磁気シールドに向かう方向の磁界を発生し、他方は前記磁気シールドから離れる方向の磁界を発生することが好ましい。
また、前記磁気発生手段が、前記磁気抵抗効果素子と同一の基板平面上に形成された平面コイルであり、二つの前記磁気発生手段の旋回方向が相互に逆向きである構成が好ましい。
これら構成により、磁気発生手段の発生する磁界により、磁気シールドに対してバイアス磁界を効率よく印加することができる。
この構成により、磁気シールド全体を単磁区化することができる。
1A、3A 電流センサ
10 基板平面
11、11a、11b、11c、11d 磁気抵抗効果素子
12a、12b 平面コイル(磁気発生手段)
13a、13b 中点電位測定用端子
14 給電端子
15 接地端子
16 ブリッジ回路
17a、17b 磁気発生手段
18 磁気平衡用平面コイル
20 磁気シールド
201 端部
30 電流線
31 固定磁性層
32 非磁性層
33 フリー磁性層
34 反強磁性層
P 感度軸方向
B バイアス磁界
C 中心
IM 絶縁層
M0 残留磁化
RM0 還流磁界
Claims (9)
- 磁気抵抗効果素子と、前記磁気抵抗効果素子と対向して配置され、前記磁気抵抗効果素子に印加される被測定磁界の強度を減衰させる磁気シールドと、を備えた磁気センサであって、
前記磁気抵抗効果素子と電気的に接続された磁気発生手段を備えており、
前記磁気発生手段と共に前記磁気抵抗効果素子へ給電する際に前記磁気発生手段から発生する磁界によって、前記磁気シールドにバイアス磁界を印加することを特徴とする磁気センサ。 - 前記磁気シールドは平面視で長手方向および短手方向を有する矩形の形状を有し、前記磁気抵抗効果素子の感度軸の方向は前記短手方向に沿い、前記磁気発生手段から発生して前記磁気シールドを流れる磁界の方向は、前記長手方向に沿う、
請求項1に記載の磁気センサ。 - 前記磁気抵抗効果素子と前記磁気発生手段とは平面視で前記長手方向に並び、前記磁気抵抗効果素子は、前記長手方向で前記磁気発生手段よりも前記磁気シールドの中心に近い、
請求項2に記載の磁気センサ。 - 前記磁気発生手段は、前記磁気抵抗効果素子と同一の基板平面上に形成された、
請求項1に記載の磁気センサ。 - 前記磁気発生手段を二つ備えており、二つの前記磁気発生手段から発生する磁界の方向が逆である、請求項1に記載の磁気センサ。
- 複数の前記磁気抵抗効果素子によりブリッジ回路が形成されており、
前記磁気発生手段が、前記ブリッジ回路と給電端子との間、および前記ブリッジ回路と接地端子との間に、それぞれ設けられており、
前記給電端子および前記接地端子を介して前記ブリッジ回路に給電されることにより、前記磁気発生手段のうちの一方は前記磁気シールドに向かう方向の磁界を発生し、他方は前記磁気シールドから離れる方向の磁界を発生する請求項5に記載の磁気センサ。 - 前記磁気発生手段が、前記磁気抵抗効果素子と同一の基板平面上に形成された平面コイルであり、二つの前記磁気発生手段の旋回方向が相互に逆向きである、
請求項5または請求項6に記載の磁気センサ。 - 前記磁気シールドは平面視で長手方向および短手方向を有する矩形の形状を有し、平面視で、前記磁気シールドの長手方向の両側の端部が、二つの前記磁気発生手段にそれぞれ重なる、請求項5から請求項7のいずれか1項に記載の磁気センサ。
- 請求項1から請求項8のいずれか一項に記載される磁気センサを備え、前記磁気センサは被測定電流の磁界を前記被測定磁界とする電流センサ。
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