JP2012126803A - 仮固定剤および基材の加工方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】本発明の仮固定剤は、半導体ウエハ(基材)3を加工するために、この半導体ウエハ3を支持基材1に仮固定し、半導体ウエハ3の加工後に、活性エネルギー線を照射したのち加熱することで半導体ウエハ3を支持基材1から脱離させるために用いられ、前記活性エネルギー線の照射後における180℃での溶融粘度が0.01〜100mPa.sであるものである。
【選択図】図1
Description
(1)基材を加工するために該基材を支持基材に仮固定し、前記基材の加工後に、活性エネルギー線を照射したのち加熱することで前記基材を前記支持基材から脱離させるために用いられる仮固定剤であって、
前記活性エネルギー線の照射後における180℃での溶融粘度が0.01〜100mPa・sであることを特徴とする仮固定剤。
前記薄膜を介して、前記基材と前記支持基材とを貼り合わせる第2の工程と、
前記基材の前記支持基材と反対側の面を加工する第3の工程と、
前記薄膜に前記活性エネルギー線を照射した後、前記薄膜を加熱して溶融状態とすることで、前記基材を前記支持基材から脱離させる第4の工程と、
前記基材に残存する前記薄膜を洗浄する第5の工程とを有することを特徴とする基材の加工方法。
<仮固定剤>
本発明の仮固定剤は、基材を加工するために該基材を支持基材に仮固定し、前記基材の加工後に、活性エネルギー線を照射したのち加熱することで前記基材を前記支持基材から脱離させるために用いられるものであり、前記活性エネルギー線の照射後における180℃での溶融粘度が0.01〜100mPa.sであることを特徴とする。
(樹脂成分)
樹脂成分は、仮固定時には、基材を支持基材に固定する機能を有するものであるとともに、活性エネルギー線照射後、加熱することによりその溶融粘度が低下するため、活性エネルギー線照射の後の加熱により、基材の支持基材からの脱離を容易に行え得る機能を有するものである。
活性剤は、活性エネルギー線の照射によってエネルギーを加えられることにより、酸または塩基のような活性種を発生させるものであり、この活性種の存在下で加熱することにより、前記樹脂成分の溶融粘度を低減させる機能を有するものである。
さらに、仮固定剤は、この活性剤とともに、活性剤の反応性を発現あるいは増大させる機能を有する成分である増感剤を含んでいても良い。増感剤は活性剤を活性化することが可能な波長の範囲を広げることが可能で、最適な増感剤としては、使用される光源近くに最大吸光係数を持ち、吸収したエネルギーを効率的に光酸発生剤に渡すことができる化合物である。特に光源がg線(435nm)とi線(365nm)などの長波長の場合、増感剤は光酸発生剤を活性化するのに有効である。
また、樹脂組成物(仮固定剤)は、酸化防止剤を含んでいてもよい。
この酸化防止剤は、樹脂組成物(仮固定剤)中における酸の発生や、自然酸化を防止する機能を有している。
また、樹脂組成物(仮固定剤)は、必要により酸捕捉剤、アクリル系、シリコーン系、フッ素系、ビニル系等のレベリング剤、シランカップリング剤、希釈剤等の添加剤等を含んでも良い。
また、樹脂組成物(仮固定剤)は、溶媒を含有していても良い。
溶媒としては、特に限定されるものではないが、例えば、メシチレン、デカリン、ミネラルスピリット類等の炭化水素類、アニソール、プロピレングリコールモノメチルエーテル、ジプロピレングリコールメチルエーテル、ジエチレングリコールモノエチルエーテル、ジグライム等のアルコール/エーテル類、炭酸エチレン、酢酸エチル、酢酸N−ブチル、乳酸エチル、3−エトキシプロピオン酸エチル、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート、ジエチレングリコールモノエチルエーテルアセテート、炭酸プロピレン、γ−ブチロラクトン等のエステル/ラクトン類、シクロペンタノン、シクロヘキサノン、メチルイソブチルケトン、2−ヘプタノン等のケトン類、N−メチル−2−ピロリジノン等のアミド/ラクタム類が挙げられ、これらのうちの1種または2種以上を組み合わせて用いることができる。仮固定剤が溶媒を含有することにより、仮固定剤の粘度を調整することが容易となり、支持基材に仮固定剤で構成される犠牲層(薄膜)の形成が容易となる。
具体的には、まず仮固定剤の溶液をシリコン基板上に塗布し、ホットプレート上で120℃で300秒乾燥させ、活性エネルギー線として超高圧水銀灯からの光線を波長365nm換算で2000mJ/cm2照射した後、基板より剥離することで得られるフィルム状の試験片を、レオメータ(Haake RS150型、Thermo Fischer Scientific社製)にギャップ30μmでセットして、30〜300℃まで10分/℃の速度で昇温しながら1Hzの周期で剪断応力を掛け、その際の変位を測定することにより求めることができる。
次に、本発明の仮固定剤を、半導体装置の製造に適用した場合を一例に説明する。
すなわち、半導体装置の製造方法における、半導体ウエハの加工に、本発明の基材の加工方法を適用した実施形態を一例に説明する。
(犠牲層形成工程)
まず、支持基材1を用意し、この支持基材(基材)1上に、本発明の仮固定剤を用いて、犠牲層2を形成する(図1(a)参照)。
次に、支持基材1上の犠牲層2が設けられた面上に、半導体ウエハ(基材)3をその機能面31が犠牲層2側になるように載置し、これにより、支持基材1に犠牲層2を介して半導体ウエハ3を貼り合わせる(図1(b)参照)。
次に、犠牲層2を介して支持基材1上に固定された半導体ウエハ3の機能面31と反対側の面(裏面)を加工する。
次に、図1(d)に示すように、犠牲層2に活性エネルギー線を照射する。
これにより、仮固定剤(樹脂組成物)中に含まれる活性剤にエネルギーが付与され、その結果、活性剤から酸または塩基のような活性種が発生する。
次に、半導体ウエハ3を支持基材1から脱離させる。
この際、前記活性エネルギー線照射/加熱工程を経ることで、犠牲層2が溶融状態となっているため、半導体ウエハ3を支持基材1から容易に脱離させることができる。
次に、半導体ウエハ3の機能面31に残存する犠牲層2を洗浄する。
すなわち、機能面31に残留した犠牲層2の残留物を除去する。
また、本発明の基材の加工方法には、必要に応じて任意の工程が追加されてもよい。
1.仮固定剤の調製
まず、以下に示すような実施例1〜2および比較例の仮固定剤を調製した。
<ポリカーボネートの合成>
イソソルビド102.01g(0.698モル)、炭酸ジフェニル149.53g(0.698モル)、炭酸セシウム0.0023g(6.98×10−6モル)をそれぞれ秤量し、その後、これらを反応容器に入れた。
なお、前記反応の第2〜4工程で生じたフェノールは反応容器外へ留去した。
得られたイソソルビド型ポリカーボネート100g、活性剤としてヨードニウム系光酸発生剤(Bruestar Silicones社製、型番「Rhodorsil Photoinitiator 2074」)5g、増感剤としてチオキサントン系化合物(Lambson社製、型番「SPEEDCURE CPTX」)1.3gをN−メチル−2−ピロリジノン193.4gに溶解し、樹脂成分濃度33.3重量%の仮固定剤を調製した。
<ポリカーボネートの合成>
イソソルビド51.01g(0.349モル)、1,4−シクロヘキサンジメタノール50.30g(0.349モル)、炭酸ジフェニル149.53g(0.698モル)、炭酸セシウム0.0023g(6.98×10−6モル)をそれぞれ秤量し、その後、これらを反応容器に入れた。
そして、反応容器内の圧力を常圧に戻した後、γ−ブチロラクトン1200mLを加え、生成物を溶解させた。
得られたポリカーボネート100g、活性剤としてヨードニウム系光酸発生剤(Bruestar Silicones社製、型番「Rhodorsil Photoinitiator 2074」)5g、増感剤としてチオキサントン系化合物(Lambson社製、型番「SPEEDCURE CPTX」)1.3gをN−メチル−2−ピロリジノン193.4gに溶解し、樹脂成分濃度33.3重量%の仮固定剤を調製した。
<5−デシルノルボルネン付加重合体の合成>
十分乾燥させた反応容器に、酢酸エチル(430g)、シクロヘキサン(890g)、5−デシルノルボルネン(223g、0.95モル)を導入し、この系中に乾燥窒素を40℃で30分流し、溶存酸素を除去した。ビス(トルエン)ビス(パーフルオロフェニル)ニッケル1.33g(0.275mモル)を12gの酢酸エチルに溶解したものを反応系中に添加し、上記の系を20℃から35℃に15分掛けて昇温し、その温度を保持しながら3時間系中を攪拌した。
2−1.露光前の溶融粘度の測定
上記で調製した実施例1〜2および比較例の仮固定剤について、厚さ50μmのフィルムになる条件でシリコンウエハ上に塗布し、大気中で120℃で5分間ソフトベークした。
上記2−1と同様の工程で仮固定剤層をシリコンウエハに形成し、シリコンウエハから仮固定剤を引き剥がした後、2000mj/cm2(i線換算)となるようにi線を超高圧水銀灯より照射した後に、粘弾性測定装置(HAAKE社製、Rheo stress RS150)を用いて、周波数を1Hz、25℃から10℃/分で昇温し、一定せん断速度にて溶融粘度を測定し、180℃雰囲気における溶融粘度を測定値とした。その結果を以下の表1に示す。
上記実施例1、2および比較例で調製した仮固定剤をスピンコート法でそれぞれガラス上に塗布し、大気中で120℃×5分間の条件でソフトベークした。次に、そのガラス上に実施例1、2および比較例で調製した仮固定剤を再度同じ条件で塗布し、大気中で120℃×5分間の条件でソフトベークした後、さらに、大気中で220℃×5分間の条件でハードベークを行い、厚み50μmの仮固定剤層を得た。その後、仮固定剤層上に半導体ウエハを設置し、仮固定剤を介して半導体ウエハとガラスとを、240℃(実施例1、比較例)あるいは220℃(実施例2)、10kN,5分の条件で固定した。
2 犠牲層
3 半導体ウエハ
31 機能面
Claims (11)
- 基材を加工するために該基材を支持基材に仮固定し、前記基材の加工後に、活性エネルギー線を照射したのち加熱することで前記基材を前記支持基材から脱離させるために用いられる仮固定剤であって、
前記活性エネルギー線の照射後における180℃での溶融粘度が0.01〜100mPa・sであることを特徴とする仮固定剤。 - 前記活性エネルギー線の照射は、波長365nmの光を、2000mJ/cm2照射することで行われる請求項1に記載の仮固定剤。
- 前記活性エネルギー線の照射前における180℃での溶融粘度が100〜10000mPa・sである請求項1または2に記載の仮固定剤。
- 前記活性エネルギー線の照射前における180℃での溶融粘度をA[mPa・s]とし、前記活性エネルギー線の照射後における180℃での溶融粘度をB[mPa・s]としたとき、A/Bが10〜10000なる関係を満足する請求項1ないし3のいずれかに記載の仮固定剤。
- 前記活性エネルギー線の照射後、加熱することにより当該仮固定剤を溶融状態とし、これにより、前記支持基材から前記基材を脱離させる請求項1ないし4のいずれかに記載の仮固定剤。
- 前記活性エネルギー線を照射した後における、50%重量減少温度が260℃以上である請求項1ないし5のいずれかに記載の仮固定剤。
- 酸または塩基の存在下において加熱することにより溶融粘度が低下する樹脂成分と、前記活性エネルギー線の照射により酸または塩基を発生する活性剤とを含有する樹脂組成物からなる請求項1ないし6のいずれかに記載の仮固定剤。
- 前記樹脂成分は、ポリカーボネート系樹脂である請求項1ないし7のいずれかに記載の仮固定剤。
- 前記ポリカーボネート系樹脂は、少なくとも2つの環状体をカーボネート構成単位に含んでなるものである請求項1ないし8のいずれかに記載の仮固定剤。
- 請求項1ないし9のいずれかに記載の仮固定剤で構成される薄膜を、前記基材および前記支持基材のうちの少なくとも一方に形成する第1の工程と、
前記薄膜を介して、前記基材と前記支持基材とを貼り合わせる第2の工程と、
前記基材の前記支持基材と反対側の面を加工する第3の工程と、
前記薄膜に前記活性エネルギー線を照射した後、前記薄膜を加熱して溶融状態とすることで、前記基材を前記支持基材から脱離させる第4の工程と、
前記基材に残存する前記薄膜を洗浄する第5の工程とを有することを特徴とする基材の加工方法。 - 前記支持基材は、光透過性を有するものである請求項10に記載の基材の加工方法。
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