JP2012124490A - 半導体装置及びその製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】実施形態による複数の閾値電圧を有する半導体装置500は、基板502と、第1の閾値電圧を有する基板上の第1のトランジスタ510と、第2の閾値電圧を有する基板上の第2のトランジスタ530とを具備する。第1のトランジスタは、基板の第1のチャネル領域上に形成された第1の界面層516と、第1の界面層上に形成された第1のゲート誘電体層518と、第1のゲート誘電体層上に形成された第1のゲート電極520,522とを具備する。第2のトランジスタは、基板の第2のチャネル領域上に形成された第2の界面層536と、第2の界面層上に形成された第2のゲート誘電体層538と、第2のゲート誘電体層上に形成された第2のゲート電極540,542とを具備する。第2の界面層は第1の界面層内になくかつSi、O及びNと異なる添加元素を有する。第1及び第2の閾値電圧は異なる。第1及び第2のトランジスタは同一の導電型である。
【選択図】図5
Description
まず、図1を参照して、例の半導体装置100の例証された断面図が、実施形態によって提供される。図1に示されるように、半導体装置100は、基板102、金属酸化膜半導体(MOS)トランジスタ又はMOSFET104及び素子分離領域106を含むことができる。MOSFET104は、p型トランジスタ(pMOS又はpFETとも呼ばれる)又はn型トランジスタ(nMOS又はnFETとも呼ばれる)になりえる。素子分離領域106は、STI(shallow trench isolation)になりえる。さらに、基板102は、シリコン基板になりえる。
実施形態によれば、MOSFET104は、基板102上に形成された活性領域(図示せず)を含むことができる。さらに、MOSFET104は、活性領域内に形成されたソース領域108及びドレイン領域110を含んでいる。ソース領域108及びドレイン領域110は、互いに分離されている。活性領域内に形成されたチャネル領域(図示せず)は、ソース領域108及びドレイン領域110を分離することができる。MOSFET104は、チャネル領域上に位置し、ゲートとソース/ドレイン領域の間に位置した界面層(IL)112を含むことができる。特に、限定しない例として、界面層112は、チャネル材料(例えば、Si、Ge、C等)を含むことができる。さらに、酸素、そして任意で窒素を導入することができる。
MOSFET104は、誘電体層114をさらに含むことができる。誘電体層114は、ゲートまたは高誘電率kを有する高誘電体を含むことができる。例えば、誘電体層114は、様々なメタルSi材料及び/又は高誘電率を有する他の適切な材料を使用して構成することができる。例えば、誘電体層114に使用することができる材料は、次の化学式を有する組成を含んでいる。HfxSi1−xO2、HfxSi1−xON、ZrxSi1−xO2、ZrxSi1−xON、LaxSi1−xO2、LaxSi1−xON、GdxSi1−xO2、GdxSi1−xON、HfZrSiO、HfZrSiON、HfLaSiO及びHfGdSiO。ここで、xは、0〜1である。しかしながら、前のリストは単に例として提供され、他の構成を使用できることは理解されるだろう。
さらなる実施形態では、MOSFET104は、第1のスペーサ120、第2のスペーサ122及びシリサイド層124を含むことができる。シリサイド層124は、ゲート電極上及び/又はソース領域108及びドレイン領域110上に積層することができる。シリサイド層124は、NiSix、PtSix、PdSix、CoSix、TiSix、WSi等のようなSi及び金属シリサイドで構成することができる。しかしながら、前のリストは例として提供され、他の組成をシリサイド層124用に使用できることは理解されるだろう。
実施形態によれば、半導体装置100用の向上した閾値電圧変調は、界面層112に添加元素を導入することにより達成することができる。例によれば、図1に示されるように、Geは、界面層112内に導入することができる。それによって、導電型に依存して、半導体装置100の正又は負の閾値電圧シフトが起こる。イオンインプランテーションによる長期の窒化物形成又はゲート誘電体内への金属元素の導入が行われるので、この技術は、従来の半導体製造技術と対照的である。例えば、図2に示されるように、グラフ200は、界面層の窒化時間(任意単位(a.u.))に関するフラットバンド電圧(閾値電圧はそれに依存する)のシフト又はデルタ(ミリボルト(mV))を示す。窒化時間が増加するにしたがって、界面層内の窒素濃度は増加する。グラフ200は、界面層内にGeが導入される場合及びGeが導入されない場合のフラットバンド電圧のシフトを例証する。さらに、グラフ200は、pFETとnFETの両方のフラットバンド電圧のシフトを示す。実施形態では、フラットバンド電圧の負方向へのシフトは、pFETの場合は閾値電圧の絶対値の上昇(つまり、高い閾値電圧)及びnFETの場合は閾値電圧の低下(つまり、低い閾値電圧)に対応する。
図5を参照して、例の半導体装置500の例証された断面図が、実施形態によって提供される。図5に示されるように、半導体装置500は、第1のトランジスタ又はMOSFET510及び第2のトランジスタ又はMOSFET530を含むことができる。半導体装置500は、素子分離領域によって互いに分離された第1の活性領域504及び第2の活性領域506を含んでいるシリコン基板502をさらに含むことができる。MOSFET510は、基板502の第1の活性領域504上に形成することができる。MOSFET530は、第2の活性領域506上に形成することができる。
次に、図6〜15を参照して、複数の閾値電圧を有する半導体装置を製造するための様々な技術が示される。しかしながら、半導体装置は任意の適切なプロセス又はプロセスの組合せを使用して製造することができ、次の記述が限定しない例として提供されることは理解されるべきである。さらに、次の記述で示されたプロセスを任意の適切な製品を製造するために使用でき、上述された半導体装置に限定することを意図しないことは理解されるべきである。
まず、図6を参照して、実施形態による半導体装置の製造の第1の例工程が例証される。図6に示されるように、ウェル分離は、シリコン基板602上の活性領域を分離するために行うことができる。実施形態では、ウェル分離は、STI(shallow trench isolation)604のような素子分離領域の形成を含むことができる。一例において、STI604は、基板602上にパッド酸化物及び保護窒化層を堆積することにより形成することができる。開口は、保護窒化層内形成することができる。基板602は、トレンチを形成するためにエッチングすることができる。トレンチは、例えば二酸化ケイ素のような誘電体で埋め込むことができる。その後、保護窒化物及びパッド酸化物の除去によって、平坦化される。
本発明のいくつかの実施形態を説明したが、これらの実施形態は、例として提示したものであり、発明の範囲を限定することは意図していない。これら新規な実施形態は、その他の様々な形態で実施されることが可能であり、発明の要旨を逸脱しない範囲で、種々の省略、置き換え、変更を行うことができる。これら実施形態やその変形は、発明の範囲や要旨に含まれるとともに、特許請求の範囲に記載された発明とその均等の範囲に含まれる。
Claims (20)
- 基板と、
第1の閾値電圧を有する、前記基板上の第1のトランジスタと、
第2の閾値電圧を有する、前記基板上の第2のトランジスタと、
を具備し、
前記第1のトランジスタは、
前記基板の第1のチャネル領域上に形成された第1の界面層と、
前記第1の界面層上に形成された第1のゲート誘電体層と、
前記第1のゲート誘電体層上に形成された第1のゲート電極と、
を具備し、
前記第2のトランジスタは、
前記基板の第2のチャネル領域上に形成された第2の界面層と、
前記第2の界面層上に形成された第2のゲート誘電体層と、
前記第2のゲート誘電体層上に形成された第2のゲート電極と、
を具備し、
前記第2の界面層は、前記第1の界面層内になく、かつ、Si、O及びNと異なる添加元素を有し、
前記第1の閾値電圧及び前記第2の閾値電圧は、異なり、
前記第1のトランジスタ及び第2のトランジスタは、同一の導電型である、
ことを特徴とする複数の閾値電圧を有する半導体装置。 - 前記第1のゲート誘電体層及び前記第2のゲート誘電体層は、実質的に同じ材料であり、
前記第1のゲート電極及び前記第2のゲート電極は、実質的に同じ材料であり、
前記第1の界面層及び前記第2の界面層は、前記第2の界面層内に導入された前記添加元素を除いて実質的に同じ材料である、
ことを特徴とする請求項1に記載の半導体装置。 - 前記第1のトランジスタ及び前記第2のトランジスタは、p型トランジスタである、
ことを特徴とする請求項1に記載の半導体装置。 - 前記第1の閾値電圧は、前記第2の閾値電圧よりも低い、
ことを特徴とする請求項3に記載の半導体装置。 - 前記第1のトランジスタは、スタティックランダムアクセスメモリ(SRAM)セルに含まれ、
前記第2のトランジスタは、論理回路に含まれている、
ことを特徴とする請求項4に記載の半導体装置。 - 前記第1のトランジスタ及び前記第2のトランジスタは、n型トランジスタである、
ことを特徴とする請求項1に記載の半導体装置。 - 前記第1の閾値電圧は、前記第2の閾値電圧より大きい、
ことを特徴とする請求項6に記載の半導体装置。 - 前記第1のトランジスタは、論理回路に含まれ、
前記第2のトランジスタは、SRAMセルに含まれる、
ことを特徴とする請求項7に記載の半導体装置。 - 前記添加元素は、ゲルマニウム(Ge)を含む、
ことを特徴とする請求項1に記載の半導体装置。 - 前記第2の界面層中のGeのピーク濃度は、約5×1015atoms/cm2である、
ことを特徴とする請求項9に記載の半導体装置。 - 前記第1の界面層及び前記第2の界面層は、少なくとも、Si、O及びNを含み、
前記第2の界面層中のNの濃度は、前記第1の界面層中のNの濃度より高い、
ことを特徴とする請求項1に記載の半導体装置。 - 前記第2の界面層中のNのピーク濃度は、約2×1015atoms/cm2である、
ことを特徴とする請求項11に記載の半導体装置。 - 基板と、
金属酸化膜半導体(MOS)トランジスタと、
を具備し、
前記MOSトランジスタは、
前記基板上に形成された半導体領域と、
前記半導体領域内に形成され、互いに分離されたソース領域及びドレイン領域と、
前記ソース領域及び前記ドレイン領域を分離する前記半導体領域内に形成されたチャネル領域と、
約5×1019atoms/cm2のピーク濃度のSi、O及びNと異なる添加元素を有する、前記チャネル領域上に形成された界面層と、
前記界面層上に形成されたゲート誘電体層と、
前記ゲート誘電体層上に形成されたゲート電極と、
を具備することを特徴とする半導体装置。 - 前記添加元素は、Geである、
ことを特徴とする請求項13に記載の半導体装置。 - 前記界面層中のNのピーク濃度は、約2×1015atoms/cm2である、
ことを特徴とする請求項13に記載の半導体装置。 - 前記MOSトランジスタは、SRAMセルに組み込まれたp型トランジスタである、
ことを特徴とする請求項13に記載の半導体装置。 - 前記MOSトランジスタは、論理回路に組み込まれたn型トランジスタである、
ことを特徴とする請求項13に記載の半導体装置。 - 異なる閾値電圧を有する同一の導電型の第1のトランジスタ及び第2のトランジスタを備えた半導体装置の製造方法であって、
基板の前記第1のトランジスタに関連した第1のチャネル領域上に、Ge原子を含むエピタキシャル層を形成する工程と、
前記基板上に、前記第1のトランジスタに関連しかつ前記エピタキシャル層に組み込まれる第1の部分と前記第2のトランジスタに関連した第2の部分とを有する界面層を形成する工程と、
前記界面層の前記第1の部分及び前記第2の部分上にゲートスタックを形成する工程と、
前記第1のトランジスタ及び前記第2のトランジスタをそれぞれ形成するために、前記ゲートスタックをエッチングする工程と、
を具備することを特徴とする半導体装置の製造方法。 - 前記基板上にハードマスクを形成する工程と、
前記基板の前記第1のチャネル領域を露出するために、前記ハードマスクをパターン化する工程と、
をさらに具備することを特徴とする請求項18に記載の半導体装置の製造方法。 - 前記界面層の前記第2の部分上にハードマスクを形成する工程と、
前記界面層の前記第1の部分に窒化処理を行う工程と、
をさらに具備することを特徴とする請求項18に記載の半導体装置の製造方法。
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