JP2012122919A - アレイ型半導体レーザ素子の通電試験装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】主面1aに設けられた共通電極と、主面1aに対向する主面1bに設けられた複数の個別電極3と、各個別電極3に対応した複数の発光点Qとを有するアレイ型半導体レーザ素子の通電試験装置であって、共通電極と電気接触するための共通コンタクト部材20と、各個別電極3と電気接触するための電極パターン層33を有する個別コンタクト部材30とを備え、電極パターン層33は、熱伝導性かつ電気絶縁性の基板32上に形成される。
【選択図】図1
Description
例えば、特許文献1では、素子電極へのコンタクト方法として、プロービングピンを用いる方法が提案されている。また、特許文献2では、プロービングピンの代替として、絶縁性フィルム上に形成された電極パターンを使用することが提案されている。
共通電極と電気接触するための第1コンタクト部材と、
各個別電極と電気接触するための電極パターン層を有する第2コンタクト部材とを備え、前記電極パターン層は、熱伝導性かつ電気絶縁性の基板上に形成されていることを特徴とする。
図1は、本発明の一実施形態を示す斜視図である。図2は、図1中のA−A線に沿った断面図である。図3は、アレイ型半導体レーザ素子の一例を示す斜視図である。
20 共通コンタクト部材、 22 電極チップ、 23 電極本体、
24 弾性体、 30 個別コンタクト部材、 31 支持プレート、 32 基板、
33 電極パターン層、 Q 発光点。
Claims (4)
- 第1主面に設けられた共通電極と、第1主面に対向する第2主面に設けられた複数の個別電極と、各個別電極に対応した複数の発光点とを有するアレイ型半導体レーザ素子の通電試験装置であって、
共通電極と電気接触するための第1コンタクト部材と、
各個別電極と電気接触するための電極パターン層を有する第2コンタクト部材とを備え、前記電極パターン層は、熱伝導性かつ電気絶縁性の基板上に形成されていることを特徴とするアレイ型半導体レーザ素子の通電試験装置。 - 基板は、AlNまたはSiCで形成されることを特徴とする請求項1記載のアレイ型半導体レーザ素子の通電試験装置。
- 第1コンタクト部材または第2コンタクト部材には、アレイ型半導体レーザ素子を吸着するための吸着機構が設けられることを特徴とする請求項1記載のアレイ型半導体レーザ素子の通電試験装置。
- 第1コンタクト部材または第2コンタクト部材には、アレイ型半導体レーザ素子との接触面のあおり角が可変になるコンプライアンス機構が設けられることを特徴とする請求項1記載のアレイ型半導体レーザ素子の通電試験装置。
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Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2014146671A (ja) * | 2013-01-29 | 2014-08-14 | Arufakusu Kk | レーザ光のプロファイル測定方法 |
CN114252711A (zh) * | 2020-09-11 | 2022-03-29 | 深圳带路科技有限公司 | 一种接头载流量测量方法及装置 |
JP7471190B2 (ja) | 2020-09-30 | 2024-04-19 | 三菱電機株式会社 | 半導体素子特性検査装置 |
Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH1123656A (ja) * | 1997-06-27 | 1999-01-29 | Nec Corp | フリップチップicの検査方法及び検査用基板 |
JP2001159643A (ja) * | 1999-12-02 | 2001-06-12 | Hitachi Ltd | 接続装置および検査システム |
JP2004096030A (ja) * | 2002-09-04 | 2004-03-25 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 半導体レーザ素子のスクリーニング装置およびスクリーニング方法 |
JP2005134224A (ja) * | 2003-10-30 | 2005-05-26 | Nec Kansai Ltd | 半導体バーの通電装置 |
JP2006084221A (ja) * | 2004-09-14 | 2006-03-30 | Mitsubishi Electric Corp | 半導体モジュールの製造方法 |
-
2010
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Patent Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH1123656A (ja) * | 1997-06-27 | 1999-01-29 | Nec Corp | フリップチップicの検査方法及び検査用基板 |
JP2001159643A (ja) * | 1999-12-02 | 2001-06-12 | Hitachi Ltd | 接続装置および検査システム |
JP2004096030A (ja) * | 2002-09-04 | 2004-03-25 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 半導体レーザ素子のスクリーニング装置およびスクリーニング方法 |
JP2005134224A (ja) * | 2003-10-30 | 2005-05-26 | Nec Kansai Ltd | 半導体バーの通電装置 |
JP2006084221A (ja) * | 2004-09-14 | 2006-03-30 | Mitsubishi Electric Corp | 半導体モジュールの製造方法 |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2014146671A (ja) * | 2013-01-29 | 2014-08-14 | Arufakusu Kk | レーザ光のプロファイル測定方法 |
CN114252711A (zh) * | 2020-09-11 | 2022-03-29 | 深圳带路科技有限公司 | 一种接头载流量测量方法及装置 |
JP7471190B2 (ja) | 2020-09-30 | 2024-04-19 | 三菱電機株式会社 | 半導体素子特性検査装置 |
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