JP2012119459A - 素子部品搭載装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 金属膜が設けられた素子部品が収納されたパレットに、素子部品が搭載される位置に導電性接着剤が設けられたウェハを重ねて、素子部品を前記位置に搭載する素子部品搭載装置であって、ウェハを吸引する吸引部とウェハを反転させる反転部とパレットの方向へ移動するZ方向移動部とを備える吸引移動反転手段と、素子部品が搭載される2つの所定の位置とパレットに設けられた凹部の2つの所定の位置とをカメラを用いて認識し位置データを生成する位置認識手段と、X方向及びY方向のズレ量を算出してズレ量データを生成する制御手段と、ズレ量データで示された距離を移動するXY方向移動ステージと、制御手段が、
XY方向移動ステージが移動した場合に、吸引移動反転手段の吸引部を移動させて素子搭載部材ウェハをパレットに重ねることを特徴とする。
【選択図】 図1
Description
また、電子部品は、素子部品の他に、凹部を有する素子搭載部材に各種素子部品を搭載して凹部を封止した構造の電子部品が含まれる。この電子部品に用いられる素子搭載部材は、ウェハの状態で複数個設けられており、ウェハの状態(以下、「素子搭載部材ウェハ」という。)で素子搭載部材となる部分に設けられた各凹部にそれぞれ各種素子部品が搭載される。
この素子搭載部材に水晶振動素子を搭載する場合、搭載パッドに導電性接着剤を塗布した後に水晶振動素子をこの導電性接着剤につけて接合が行われる。なお、水晶振動素子が導電性接着剤に付いた後に加熱処理をして導電性接着剤を硬化させる。
この導電性接着剤は、ディスペンサーを用いて導通パターンの一部として形成されている搭載パッドに付着して行われる場合と(例えば、特許文献1参照)、転写にて行われる場合とがある(例えば、特許文献2参照)。
導電性接着剤には、エポキシ系とシリコン系が使われている。特に、シリコン系は硬化後も一定の弾性力があり、水晶振動素子が起こす振動に与える影響を少なくすることができる。これにより、特性の安定度が向上するので、携帯通信デバイスのリファレンス用振動子や発振器に用いられる。
その上に圧電振動素子をつけて搭載する。
そこで、凹部内に圧電振動素子を搭載する場合、吸引移動手段により複数の圧電振動素子が載置されたパレットから一枚づつ移動して、認識手段により位置を補正しながら凹部内の搭載パッドに付着させてある導電性接着剤の上に圧電振動素子を置いていく。これにより、圧電振動素子の素子搭載部材への搭載が完了する。
また、素子部品を1つ単位で搭載する場合、全ての凹部に圧電振動素子が搭載されるまでに導電性接着剤が変質する恐れがある。
また、位置の正確な補正のために認識手段を増やすことも考えられるが、装置が高価となり、製造コストを増加させる要因となる。
前記素子搭載部材ウェハを吸引した状態でZ方向であって前記パレットの方向に前記吸引部を前記パレットと所定の間隔をあけて移動させ、所定の時間停止して再度前記パレットと重なるように前記パレットの方向へ移動するZ方向移動部とを備える吸引移動反転手段と、前記吸引移動反転手段が所定の時間停止している際に前記吸引部と前記パレットとの所定の間隔に入り、前記吸引移動反転手段で吸引されている前記素子搭載部材ウェハの前記素子部品が搭載される2つの所定の位置と、これら2つの所定の位置と対応する前記パレットに設けられた2つの凹部の所定の位置とを2つのカメラを用いて認識し位置データを生成する位置認識手段と、
前記位置認識手段から前記位置データを入力し、前記2つの所定の位置に対応して記録されている位置と前記位置データと比較し、X方向及びY方向のズレ量を算出してズレ量データを生成する制御手段と、前記パレットが載置され、前記制御手段からズレ量データを入力し、パレットの配置位置を前記ズレ量データで示されたX方向及びY方向の距離を移動するXY方向移動ステージと、を備え、前記制御手段が、前記XY方向移動ステージがズレ量データに対応した距離を移動した場合に、前記位置認識手段を前記吸引部と前記パレットとの所定の間隔から出し、前記吸引移動反転手段の前期吸引部を移動させて前記素子搭載部材ウェハを前記パレットに重ねることを特徴とする。
これにより、素子搭載部材ウェハの素子搭載部材となる全ての部分のそれぞれに素子部品を一括して搭載することができる。
ここで、素子搭載部材ウェハWは、ガラス、シリコン(Si)、焼成が完了したセラミックのいずれかからなり、平板状に形成されている。なお、素子搭載部材ウェハWの所定の位置に貫通穴を設けても良い。この素子搭載部材ウェハWには、圧電振動素子Qを搭載するための搭載パッドTが設けられている。
この素子搭載部材ウェハWに設けられる搭載パッドTは、素子搭載部材ウェハWが反転した際に、後述するパレットPに収納された圧電振動素子Qに設けられた引き回しパターンの位置と対向するように設けられている。
なお、圧電振動素子Qは、水晶片の両主面に励振電極を設けた構造となっている。この圧電振動素子Qは、励振電極に通電するための金属膜として引き回しパターンが設けられている。また、この圧電振動素子Qは、複数の凹部が形成されたパレットPのそれぞれの凹部に載置されることで収納されている。
第二の搬送手段40の一方の端部側には、パレット供給手段30が備えられ、他方の端部側にXY方向移動ステージ90が設けられている。なお、このXY方向移動ステージ90の近傍に位置認識手段70が設けられている。
第一の搬送手段10は、図1及び図2に示すように、素子搭載部材ウェハWを所定の位置に移動させる役割を果たす。第一の搬送手段10は、まず、載置された素子搭載部材ウェハWを後述する接着材付着手段20が移動してくる位置の下に搭載パッドTの所定の列が位置するように移動させる。つまり、Y方向に素子搭載部材ウェハWを搬送することができる。
ここで、列とは、第一の搬送手段10の移動方向に対して直行する方向に並んだ状態の複数の搭載パッドTの集合をいう。
この第一の搬送手段10は、例えば、素子搭載部材ウェハWに設けられた全ての搭載パッドTに接着材付着手段20により導電性接着剤が塗布されるよう、列ごとにY方向へ移動した後、後述する押出手段60が設けられた位置まで素子搭載部材ウェハWを移動させる役割を果たす。これは、後述する吸引移動反転手段50へ押出すためである。
接着材付着手段20は、図1及び図2に示すように、第一の搬送手段10により搬送されて所定の位置で停止した素子搭載部材ウェハWの前記導通パターンである搭載パッドTに導電性接着材を付着させる役割を果たす。この接着材付着手段20には、第一の搬送手段10側に導電性接着剤を出すための複数のディスペンサーDが、列をなす搭載パッドTと対向するように設けられている。つまり、X方向に複数のディスペンサーDが設けられている。これらディスペンサーDは、Z方向に往復して移動可能であり、素子搭載部材ウェハWに導電性接着剤を付着させるとき、及び付着させ終わったときにZ方向に移動する。
押出手段60は、図1〜図3に示すように、第一の搬送手段10により移動させられて第一の搬送手段10上で停止している素子搭載部材ウェハWを後述する吸引移動反転手段50へ押出す役割を果たす。後述するが、吸引移動反転手段50の吸引部51は、第一の搬送手段10と並んだ位置にあるため、押出手段60が押し出した素子搭載部材ウェハWは、吸引部51の所定の位置で停止するように載置される。
パレット供給手段30は、図1及び図2に示すように、複数の圧電振動素子Qが載置されたパレットPを保持する役割を果たす。
このパレット供給手段30は、複数の圧電振動素子Qが搭載されたパレットPを複数保持するようになっている。なお、このパレット供給手段30は、他の工程により形成された複数のパレットPを自動又は手動で保持しても良い。
第二の搬送手段40は、図1及び図2に示すように、パレットPをパレット供給手段30から移動させ所定の位置で停止させる役割を果たす。
この第二の搬送手段40は、例えば、第一の搬送手段10と同一方向にパレットPを移動させることができるようになっている。つまり、Y方向にパレットPを搬送することができる。この第二の搬送手段40は、パレットPが載置されると、後述する吸引移動反転手段50が移動してくる位置の下に圧電振動素子Qの所定の行と列が位置するように、かつ、XY方向移動ステージ90上に載置された状態となるようにパレットPを移動させる。
XY方向移動ステージ90は、図5及び図6に示すように、第二の搬送手段40から移動されたパレットPが載置され、後述する制御手段80からズレ量データを入力し、パレットPの配置位置を前記ズレ量データで示されたX方向及びY方向の距離を移動する役割を果たす。
このXY方向移動ステージ90は、例えば、吸引移動反転手段50の吸引部51と押出手段60と並んだ位置に配置されている。そのため、XY方向移動ステージ90は、制御手段80でパレットPの位置の調整はするものの、後述するが反転された吸引部51と対向する位置に配置されている。
また、このXY方向移動ステージ90は、第二の搬送手段40の搬送端部に設けられており、パレットPが搬送されて停止できるようになっている。
位置認識手段70は、図5〜図8に示すように、吸引移動反転手段50が所定の時間停止している際に吸引部50とパレットPとの所定の間隔に入り、吸引移動反転手段50の吸引部51で吸引されている素子搭載部材ウェハWの素子部品が搭載される2つの所定の位置と、これら2つの所定の位置と対応するパレットPに設けられた2つの凹部の所定の位置とを4つのカメラを用いて認識し位置データを生成し、生成された位置データを後述する制御手段80へ出力する役割を果たす。
例えば、位置認識手段70は、柱状の回動支持部71と、この回動支持部71を回動軸とする回動アーム部72と、この回動アーム部72に設けられる4つのカメラ73とから構成されている。
カメラ73bの撮影中心点は、例えば、吸引部51に吸引されている素子搭載部材ウェハWの所定の搭載パッドTの1つの角と一致するように設定されている。
また、カメラ73aの撮影中心点は、これに対応して、パレットPの凹部の1つの角と一致するように設定されている。
カメラ73dの撮影中心点は、例えば、吸引部51に吸引されている素子搭載部材ウェハWの所定の他の搭載パッドTの1つの角と一致するように設定されている。
また、カメラ73cの撮影中心点は、これに対応して、パレットPの他の凹部の1つの角と一致するように設定されている。
吸引移動反転手段50は、図3〜図8に示すように、素子部品である圧電振動素子Qが搭載される位置が設けられた面を露出させた状態で素子搭載部材ウェハWを吸引する吸引部51と、素子搭載部材ウェハWを吸引した状態で反転させる反転部52と、パレットPと対向する位置まで移動し素子搭載部材ウェハWを吸引した状態でZ方向であってパレットPの方向に吸引部51をパレットPと所定の間隔をあけて移動させ、所定の時間停止して再度、パレットPと重なるようにパレットの方向へ移動するZ方向移動部53とを備えている。
なお、反転部52は、X方向に移動するX方向移動部52aを備えている。
なお、押し出されて移動した素子搭載部材ウェハWは、吸引部51の所定の位置で停止する。なお、この状態にある吸引部51の位置を原点とし、吸引部51の後述する一連の動作が完了した後に、この位置に戻ることを原点復帰という。
また、吸引部51は、素子搭載部材ウェハWを載置する面に貫通していない複数の孔が設けられており、内部に設けられた流路(図示せず)と連通している。この流路は外部のコンプレッサ(図示せず)と接続されており、複数の孔から外気を吸引することができる構造となっている。
吸引部51は、後述するZ方向移動部53に備えられ、Z方向移動部53の長さ方向がZ方向を向いたときにZ方向へ移動することができるようになっている。
Z方向移動部53は、反転部52に設けられており、反転部52の回動と一緒に回動することができる。
この反転部52には、回動軸の一方の端部側にX方向へ移動するためのX方向移動部52aが設けられており、回動軸の他方の端部側にZ方向移動部53が設けられている。
反転部52は、吸引部51が素子搭載部材ウェハWを吸引した状態で180°回転し、この状態で、第二の搬送手段40の方へ向けてX軸方向に移動する。
また、反転部52は、吸引部51がXY方向移動ステージ90上に載置された状態のパレットPと対向する位置で停止することができるようになっている。
制御手段80は、位置認識手段70から位置データを入力し、2つの所定の位置に対応して記録されている位置と位置データと比較し、X方向及びY方向のズレ量を算出してズレ量データを生成しつつ、X方向及びY方向のズレ量に基づいてXY方向移動ステージ90をX方向、Y方向に移動させ、XY方向移動ステージ90がズレ量データに対応した距離を移動した場合に、位置認識手段70を吸引部51とパレットPとの所定の間隔から出し、吸引移動反転手段50の吸引部51を移動させて素子搭載部材ウェハWをパレットPに重ねる役割を果たす。
つまり、素子搭載部材ウェハWは、材質がガラス、シリコン、焼成が完了したセラミックスのいずれかが用いられており収縮することがないため、位置の調整を数値を用いた計算を主体として位置あわせのみで正確な重ねあわせを実現することができる。
図8に示すように、パレットPの凹部内に収納されている圧電振動素子Qは、素子搭載部材ウェハWの搭載パッドTに設けられた導電性接着剤Dと接触しており、導電性接着剤Dの硬化後、導電性接着剤Dを介して圧電振動素子Qと搭載パッドTとの電気的接続が可能となっている。
これにより、素子搭載部材ウェハWの素子搭載部材となる全ての部分のそれぞれに圧電振動素子Qを一括して搭載することができる。
10 第一の搬送手段
20 接着材付着手段
30 パレット供給手段
40 第二の搬送手段
50 吸引移動反転手段
51 吸引部
52 反転部
52a X方向移動部
53 Z方向移動部
60 押出手段
70 位置認識手段
71 回動支持部
72 回動アーム部
73a,73b,73c,73d カメラ
80 制御手段
90 XY方向移動ステージ
Q 圧電振動素子
W 素子搭載部材ウェハ
Claims (1)
- 複数の凹部を有し通電のための金属膜が設けられた素子部品がこれら凹部内に収納されたパレットに、前記素子部品が搭載される位置に硬化する前の導電性接着剤が設けられた素子搭載部材ウェハを重ねて、前記導電性接着剤を介して前記素子部品を前記素子部品が搭載される位置に搭載する素子部品搭載装置であって、
幅方向をX方向、奥行き方向をY方向、高さ方向をZ方向としたとき、
前記素子部品が搭載される位置が設けられた面を露出させた状態で前記素子搭載部材ウェハを吸引する吸引部と、前記素子搭載部材ウェハを吸引した状態で反転させる反転部と、前記パレットと対向する位置まで移動し前記素子搭載部材ウェハを吸引した状態でZ方向であって前記パレットの方向に前記吸引部を前記パレットと所定の間隔をあけて移動させ、所定の時間停止して再度前記パレットと重なるように前記パレットの方向へ移動するZ方向移動部とを備える吸引移動反転手段と、
前記吸引移動反転手段が所定の時間停止している際に前記吸引部と前記パレットとの所定の間隔に入り、前記吸引移動反転手段で吸引されている前記素子搭載部材ウェハの前記素子部品が搭載される2つの所定の位置と、これら2つの所定の位置と対応する前記パレットに設けられた2つの凹部の所定の位置とを4つのカメラを用いて認識し位置データを生成する位置認識手段と、
前記位置認識手段から前記位置データを入力し、前記2つの所定の位置に対応して記録されている位置と前記位置データと比較し、X方向及びY方向のズレ量を算出してズレ量データを生成する制御手段と、
前記パレットが載置され、前記制御手段からズレ量データを入力し、パレットの配置位置を前記ズレ量データで示されたX方向及びY方向の距離を移動するXY方向移動ステージと、
を備え、
前記制御手段が、前記XY方向移動ステージがズレ量データに対応した距離を移動した場合に、前記位置認識手段を前記吸引部と前記パレットとの所定の間隔から出し、前記吸引移動反転手段の前期吸引部を移動させて前記素子搭載部材ウェハを前記パレットに重ねることを特徴とする素子部品搭載装置。
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