JP2012117416A - マイクロポンプ及び冷却システム - Google Patents
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Abstract
【解決手段】ポンプ室20と、一方の主面12xがポンプ室20の内面を画定する弾性変形可能なダイヤフラム12と、低温時にダイヤフラム12の他方の主面12yを押圧し、高温時にダイヤフラム12から離れる熱変形部材17とを備え、ポンプ室20に加熱された流体Cが流入したときに、ダイヤフラム12を押圧している熱変形部材17が流体Cの熱により変形してダイヤフラム12から離れ、ポンプ室20の容積が拡大し、ダイヤフラム12から離れた熱変形部材17が流体Cの温度よりも冷えたときに、熱変形部材17が変形してダイヤフラム12の他方の主面12yを押圧し、ポンプ室20の容積が縮小して、ポンプ室20の容積が拡大と縮小とを繰り返すことにより、流体Cのポンプ室20への流入と流出とが繰り返されるマイクロポンプによる。
【選択図】図5
Description
図1は、第1実施形態に係るマイクロポンプの断面図である。
本実施形態では、第1実施形態で説明したマイクロポンプの製造方法について説明する。
第2実施形態では、図7(b)に示したように、電解メッキにより冷却部材19を作製した。
上記した第1〜第3実施形態では、図1等において示したように、第1の膜15と第2の膜16を積層して熱変形部材17を作製した。
一方の主面が前記ポンプ室の内面の一部を画定する弾性変形可能なダイヤフラムと、
低温時に前記ダイヤフラムの他方の主面を押圧し、高温時に前記ダイヤフラムから離れる熱変形部材とを備え、
前記ポンプ室に加熱された流体が流入したときに、前記ダイヤフラムを押圧している前記熱変形部材が前記流体の熱により変形して前記ダイヤフラムから離れ、前記ポンプ室の容積が拡大し、
前記ダイヤフラムから離れた前記熱変形部材が前記流体の温度よりも冷えたときに、前記熱変形部材が変形して前記ダイヤフラムの前記他方の主面を押圧し、前記ポンプ室の容積が縮小して、
前記ポンプ室の前記容積が拡大と縮小とを繰り返すことにより、前記流体の前記ポンプ室への流入と流出とが繰り返されることを特徴とするマイクロポンプ。
前記矩形状の熱変形部材の対向する二辺を支持する支持部材を更に有することを特徴とする付記1〜5のいずれかに記載のマイクロポンプ。
前記管内に移動自在に設けられたピストンとを更に有することを特徴とする付記1〜7のいずれかに記載のマイクロポンプ。
前記ハウジングに、前記流体の流入方向に向かって直径が小さくなる第1の孔と、前記流体の流出方向に向かって直径が小さくなる第2の孔とが形成されたことを特徴とする付記1〜8のいずれかに記載のマイクロポンプ。
前記循環経路の途中に設けられ、該循環経路に前記流体を循環させるマイクロポンプとを備え、
前記マイクロポンプが、
前記流体が出入りするポンプ室と、
一方の主面が前記ポンプ室の内面の一部を画定する弾性変形可能なダイヤフラムと、
低温時に前記ダイヤフラムの他方の主面を押圧し、高温時に前記ダイヤフラムから離れる熱変形部材とを有し、
前記ポンプ室に前記流体が流入したときに、前記ダイヤフラムを押圧している前記熱変形部材が前記流体の熱により変形して前記ダイヤフラムから離れ、前記ポンプ室の容積が拡大し、
前記ダイヤフラムから離れた前記熱変形部材が前記流体の温度よりも冷えたときに、前記熱変形部材が変形して前記ダイヤフラムの前記他方の主面を押圧し、前記ポンプ室の容積が縮小して、
前記ポンプ室の前記容積が拡大と縮小とを繰り返すことにより、前記流体の前記ポンプ室への流入と流出とが繰り返されることを特徴とする冷却システム。
Claims (5)
- ポンプ室と、
一方の主面が前記ポンプ室の内面の一部を画定する弾性変形可能なダイヤフラムと、
低温時に前記ダイヤフラムの他方の主面を押圧し、高温時に前記ダイヤフラムから離れる熱変形部材とを備え、
前記ポンプ室に加熱された流体が流入したときに、前記ダイヤフラムを押圧している前記熱変形部材が前記流体の熱により変形して前記ダイヤフラムから離れ、前記ポンプ室の容積が拡大し、
前記ダイヤフラムから離れた前記熱変形部材が前記流体の温度よりも冷えたときに、前記熱変形部材が変形して前記ダイヤフラムの前記他方の主面を押圧し、前記ポンプ室の容積が縮小して、
前記ポンプ室の前記容積が拡大と縮小とを繰り返すことにより、前記流体の前記ポンプ室への流入と流出とが繰り返されることを特徴とするマイクロポンプ。 - 前記熱変形部材は、形状記憶合金膜と応力膜との積層膜であることを特徴とする請求項1に記載のマイクロポンプ。
- 前記熱変形部材はバイメタルであることを特徴とする請求項1に記載のマイクロポンプ。
- 前記ダイヤフラムから離れた前記熱変形部材に当接し、該熱変形部材を冷却する冷却部材を更に有することを特徴とする請求項1〜3のいずれか1項に記載のマイクロポンプ。
- 冷却用の流体が流れる循環経路と、
前記循環経路の途中に設けられ、該循環経路に前記流体を循環させるマイクロポンプとを備え、
前記マイクロポンプが、
前記流体が出入りするポンプ室と、
一方の主面が前記ポンプ室の内面の一部を画定する弾性変形可能なダイヤフラムと、
低温時に前記ダイヤフラムの他方の主面を押圧し、高温時に前記ダイヤフラムから離れる熱変形部材とを有し、
前記ポンプ室に前記流体が流入したときに、前記ダイヤフラムを押圧している前記熱変形部材が前記流体の熱により変形して前記ダイヤフラムから離れ、前記ポンプ室の容積が拡大し、
前記ダイヤフラムから離れた前記熱変形部材が前記流体の温度よりも冷えたときに、前記熱変形部材が変形して前記ダイヤフラムの前記他方の主面を押圧し、前記ポンプ室の容積が縮小して、
前記ポンプ室の前記容積が拡大と縮小とを繰り返すことにより、前記流体の前記ポンプ室への流入と流出とが繰り返されることを特徴とする冷却システム。
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Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN103899520A (zh) * | 2014-03-31 | 2014-07-02 | 浙江大学 | 一种基于工质相变的低品位热源驱动节能泵及泵组 |
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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JPS59150990A (ja) * | 1983-02-16 | 1984-08-29 | Niigata Eng Co Ltd | 流体移送装置 |
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JPS62121877A (ja) * | 1985-11-22 | 1987-06-03 | Matsushita Electric Works Ltd | 熱駆動ポンプ |
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JP2005001104A (ja) * | 2003-06-10 | 2005-01-06 | Samsung Electronics Co Ltd | マイクロアクチュエータ及びこれを利用した流体移送装置 |
JP2005229038A (ja) * | 2004-02-16 | 2005-08-25 | Hitachi Ltd | 液冷システム及びそれを備えた電子機器 |
-
2010
- 2010-11-30 JP JP2010266512A patent/JP5648448B2/ja not_active Expired - Fee Related
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JP5648448B2 (ja) | 2015-01-07 |
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