JP2012111977A - 成膜装置及び成膜方法、並びに照明装置の作製方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】半径方向に並べて配置された複数の蒸着源を有する蒸着源群を、回転軸に対して放射状に複数配置する。成膜は回転軸に対して基板が公転、または蒸着源群を配置したテーブルが自転、若しくはその両方をさせながら行う。その際、回転半径の小さい箇所と大きい箇所とでは線速度が異なるため、成膜速度を均一にするために、テーブルに半径方向に並べた蒸着源は、外側に向かうほど気化速度が速くなるよう制御すればよい。
【選択図】図1
Description
この真空蒸着装置は、加熱壁を有機材料の蒸発温度程度に加熱しながら有機材料を充填した容器を加熱して基板に有機材料を蒸着することで、長時間に渡って有機材料を基板表面に均一に偏りなく被着させることが出来るとされている。
しかしながら、第8世代などといった大型基板に対して、数層から数十層の膜をインライン型の装置で形成しようとすると、その積層する層の数だけ成膜室を設けなければならず、莫大な費用と床面積が必要となり、実現が困難である。
また本発明は、複数の材料で形成される薄膜の組成を精密に制御することが可能な成膜装置若しくは成膜方法を提供することを課題の一とする。
本実施の形態では、本発明の一態様である成膜装置の構成例及び成膜方法について、図1乃至図8を用いて説明する。
まず、本実施の形態で説明する成膜装置の主要な構成について図1及び図2を用いて説明する。図1は、成膜装置100の上面模式図であり、図中のA−B切断線に概略対応する断面図を図2に示す。
次に、蒸着源群の構成例について図3を用いて説明する。
続いて、図5を用いてロード室107、及びアンロード室109の一例について説明する。図5(A)は、図1中のC−D切断線における断面概略図である。なお、図5(A)において成膜装置100については一部省略して示している。
次に、本発明の一態様である成膜装置を用いて成膜可能な薄膜の特徴について図6及び図7を用いて説明する。
図7(A)に示すように、共蒸着法ではゲスト材料167とホスト材料169とがうまく分散せず、分子同士の配向が不揃いとなったり、局所的に歪が生じたりする。
次に、成膜装置100を用いた発光素子の一例とその作製方法について説明する。図8は本実施の形態で例示する発光素子200の主要部を示す図である。発光素子200は、一対の電極間にエレクトロルミネセンス材料により構成される発光ユニットが複数積層された構造を有している。
なお、第1発光ユニット201の構成は少なくとも第1発光層213を有していれば、この構成に限定されない。用いる蒸着源群を適宜変更することにより、第1発光ユニット201の構成を変更することが出来る。
第1中間層219は第1発光ユニット201に電子を注入し、第2中間層221は後に形成する第2発光ユニット203にホールを注入する。
なお、中間層の構成はこれに限られるものではなく、ホール輸送性の高い有機化合物と電子受容体(アクセプター)とを含む層、または電子輸送性の高い有機化合物と電子供与体(ドナー)とを含む層の単層構造としてもよい。
本実施の形態では、実施の形態1で示した成膜装置100を適用した、照明装置の作製装置の構成の一例と、照明装置の作製方法の一例について図9乃至図11を用いて説明する。
図9に示す成膜装置100は、実施の形態1で示したロード室107、及びアンロード室109が接続されている。ロード室107は、これに隣接して成膜室255及び基板を搬入するためのロード室251が順に接続されている。また、アンロード室109には、これと隣接して処理室257及び基板を搬出するためのアンロード室253が順に接続されている。なお、図9にはアンロード室109と処理室257との間に角度をつけた搬送路を設けた構成としているが無い構成としてもよく、装置を設置するレイアウトに応じて適宜設ければよい。
図9に示す装置を用いて作製可能な照明装置の一例について図11を用いて説明する。照明装置300は、基板101上に下部電極301、発光ユニット303、及び上部電極305の積層構造を有し、乾燥材309と共に封止部材311及びシール材307を用いて封止されている。上部電極305は端部が下部電極301と同一材料で形成された電極と接している。当該電極と下部電極の一部が封止された領域より外側に引き出されている。
本実施の形態では、成膜装置100を適用した実施の形態2とは異なる装置構成と、これを用いて作製された照明装置の一例について図12乃至図14を用いて説明する。
図12に示す成膜装置100は、ロード室107に隣接してレーザ処理室281、成膜室255、及びロード室251が順に接続されている。また、アンロード室109に隣接して、レーザ処理室283、成膜室285、レーザ処理室287、処理室257、及びアンロード室253が順に接続されている。
次に、図12に示した装置を用いて作製可能な照明装置とその作製方法について図14を用いて説明する。図14(A)は本実施の形態で例示する照明装置350の断面模式図である。照明装置350は発光素子の形状以外は上記で例示した照明装置300と同様の構成であるため、重複する説明は省略する。
101 基板
103 蒸着源群
105 防着板
107 ロード室
109 アンロード室
111 蒸着源
113 蒸着源
115 駆動部
117 回転軸
119 ステージホルダ
121 基板ステージ
123 マスク
125 駆動部
127 回転軸
129 テーブル
131 搬送ロボット
133 ステージホルダ
135 ガイドレール
137 ガイド
139 搬送手段
141 坩堝
143 ヒータ
145 成膜材料
147 材料供給部
149 装填部
151 押出部
161 薄膜
163 第1の電極
165 第2の電極
167 ゲスト材料
169 ホスト材料
200 発光素子
201 第1発光ユニット
203 第2発光ユニット
205 絶縁層
207 第1電極層
209 第1ホール注入層
211 第1ホール輸送層
213 第1発光層
215 第1電子輸送層
217 第1電子注入層
219 第1中間層
221 第2中間層
223 第2ホール注入層
225 第2ホール輸送層
227 第2発光層
229 第2電子輸送層
231 第2電子注入層
233 第2電極層
251 ロード室
253 アンロード室
255 成膜室
257 処理室
261 ターゲット
263 防着板
265 ヒータ
267 ゲートバルブ
269 排気手段
271 ガス導入手段
273 マスク
281 レーザ処理室
283 レーザ処理室
285 成膜室
287 レーザ処理室
291 レーザ照射装置
293 ゲートバルブ
295 排気手段
297 ガス導入手段
300 照明装置
301 下部電極
303 発光ユニット
305 上部電極
307 シール材
309 乾燥材
311 封止部材
313 光学シート
315 コンバータ
317 導電材
350 照明装置
351 下部電極
353 発光ユニット
355 上部電極
357 シール材
359 乾燥材
361 封止部材
363 光学シート
365 コンバータ
367 導電材
Claims (8)
- 回転軸と、
前記回転軸を中心に放射状に配置された複数の蒸着源群と、
前記複数の蒸着源群のそれぞれに対向可能に基板を保持する基板支持部と、を有し、
前記複数の蒸着源群のそれぞれは、前記回転軸に対して半径方向に並べて配置された複数の蒸着源を有し、
前記基板支持部と前記複数の蒸着源群の一方又は双方を、前記回転軸を中心に相対的に回転させる駆動部を有する、成膜装置。 - 請求項1において、
前記複数の蒸着源群のそれぞれが有する複数の蒸着源は、前記基板に均一に成膜材料を被着させるよう制御される、成膜装置。 - 請求項1または請求項2において、
前記複数の蒸着源群の一つが有する複数の蒸着源は、前記基板に第1の成膜材料を被着させ、
前記複数の蒸着源群の他の一つが有する複数の蒸着源は、前記基板に第2の成膜材料を被着させる、成膜装置。 - 第1の成膜材料を基板に被着させる第1の蒸着源群と、第2の成膜材料を前記基板に被着させる第2の蒸着源群とを離散的に配置し、
前記第1の蒸着源群、及び前記第2の蒸着源群と対向可能に前記基板を配置し、
前記基板と、前記第1の蒸着源群の一方又は双方を、回転軸を中心に回転させながら、前記基板に前記第1の成膜材料を被着させて第1の薄膜を形成し、
前記基板と、前記第2の蒸着源群の一方又は双方を、前記回転軸を中心に回転させながら、前記基板に前記第2の成膜材料を被着させて第2の薄膜を形成する、成膜方法。 - 第1の成膜材料を基板に被着させる第1の蒸着源群と、第2の成膜材料を前記基板に被着させる第2の蒸着源群とを離散的に配置し、
前記第1の蒸着源群、及び前記第2の蒸着源群と対向可能に前記基板を配置し、
前記基板と、前記第1の蒸着源群の一方又は双方を、回転軸を中心に回転させながら、前記基板に前記第1の成膜材料を被着させる第1の段階と、
前記基板と、前記第2の蒸着源群の一方又は双方を、前記回転軸を中心に回転させながら、前記基板に前記第2の成膜材料を被着させる第2の段階とを有し、
前記第1の段階と前記第2の段階とを繰り返して、前記基板に薄膜を形成する、成膜方法。 - 請求項4又は請求項5において、
前記第1の蒸着源群からホスト材料を供給し、
前記第2の蒸着源群からゲスト材料を供給する、成膜方法。 - 請求項4乃至請求項6のいずれか一に記載の成膜方法を用いた、エレクトロルミネセンス素子の作製方法。
- 請求項4乃至請求項6のいずれか一に記載の成膜方法を用いた、照明装置の作製方法。
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