KR100629476B1 - 증착물질 가열장치 - Google Patents

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Abstract

본 발명은 유기 EL 소자의 유기 박막을 형성하는 증착물질을 가열하는 장치에 관한 것으로, 특히 증착물질을 가열하는 증착원으로 점 증착원과 선형 증착원이 일체로 구성된 복합 증착원을 이용하고, 상기 복합 증착원을 소정의 거리 간격으로 배열하여 증착물질이 기판 글래스에 균일하게 성막 가능하게 하고, 대형 크기의 기판에 대하여 증착 공정을 수행하는 경우 증착 효율을 높이는데 적당하도록 한 증착물질 가열장치에 관한 것이다.
본 발명의 유기물질 가열장치를 이루는 구성수단은, 가열 용기와 히팅 장치와 보호커버를 포함하여 이루어진 증착원에 의하여 증착물질을 가열하는 증착물질 가열장치에 있어서, 상기 증착원은 직사각형 선형 증착원과, 이 선형 증착원 양 끝에 대칭적으로 마련되는 원형의 점 증착원이 일체로 하여 구성되는 복합 증착원이되, 이 복합 증착원이 소정의 거리 간격으로 복수개 배열되는 것을 특징으로 한다. 따라서, 대형 기판에 대한 증착원으로 사용할 수 있고, 복합 증착원 각각의 구조와 복합 증착원들간의 거리 간격을 조절하여 증착 효율을 높일 수 있다.
유기 EL, 증착물질, 가열장치

Description

증착물질 가열장치{apparatus for heating source}
도 1은 유기 EL 디스플레이의 개략적인 구성을 보여주는 사시도이다.
도 2는 종래 유기 EL 증착 장치의 단면도이다.
도 3은 종래의 점 증착원 배열 방식에 의한 박막 두께 분포 형상도이다.
도 4는 종래의 선형 증착원 배열 방식에 의한 박막 두께 분포 형상도이다.
도 5는 본 발명에 따른 복합 증착원의 개략도이다.
도 6은 본 발명에 적용되는 복합 증착원에 의한 박막 두께 분포 형상도이다.
도 7은 본 발명에 따른 복합 증착원과 글래스 기판과의 거리에 따른 박막 두께 분포 형상도이다
도 8은 본 발명에 따른 복수의 복합 증착원 배열에 의한 박막 두께 분포 형상도이다.
* 도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명 *
1 : 기판 2 : 양극층
3 : 정공 수송층 4 : 유기 발광층
5 : 전자 수송층 6 : 음극층
7 : 직류전원 100 : 챔버
110 : 기판 120 : 센서
130 : 셔터 140 : 용기
150 : 발열선 400 : 복합 증착원
410 : 직사각형의 선형 증착원 430, 450 : 원형의 점 증착원
본 발명은 유기 EL 소자의 유기 박막을 형성하는 증착물질을 가열하는 장치에 관한 것으로, 특히 증착물질을 가열하는 증착원으로 점 증착원과 선형 증착원이 일체로 구성된 복합 증착원을 이용하고, 상기 복합 증착원을 소정의 거리 간격으로 배열하여 증착물질이 기판 글래스에 균일하게 성막 가능하게 하고, 대형 크기의 기판에 대하여 증착 공정을 수행하는 경우 증착 효율을 높이는데 적당하도록 한 증착물질 가열장치에 관한 것이다.
유기 EL(Electro Luminescence, 이하 "EL"이라 함) 디스플레이는 현재 평판 디스플레이(Flat Panel Display)의 주류가 되어 있는 액정 디스플레이(LCD)에 비하여 여러 가지 우위성을 구비하고 있어 장래에 상기 액정 디스플레이를 대체할 수 있는 것이 예상되는 차세대 평판 디스플레이로서 주목을 받고 있다.
즉, 상기 EL 소자는 자발 발광형 표시 소자로서 시야각이 넓고 콘트라스트(Contrast)가 우수할 뿐만 아니라, 응답속도가 빠르다는 장점을 가지고 있어서 차세대 표시소자로서 주목받고 있다.
EL 소자는 발광층(Emitter Layer) 형성용 물질에 따라 무기 EL 소자와 유기 EL 소자로 구분된다. 상기 유기 EL 소자는 상기 무기 EL 소자에 비하여 휘도, 구동전압 및 응답속도 특성이 우수하고 다색화가 가능하다는 장점을 가지고 있다.
도 1은 일반적인 유기 EL 디스플레이의 개략적인 구성을 나타내는 사시도이다.
도 1에 도시된 바와 같이, 유기 EL 디스플레이는 투명한 글래스(Glass) 기판(1)을 구비하고 있고, 이 글래스 기판(1) 상에 복수의 양극층(2)이 ITO 등의 투명한 도전성 재료에 의하여 각각 소정의 간격을 두고 스트라이프(Stripe) 모양으로 설치되어 있다. 상기 각 양극층(2) 상에는 직류전압을 인가함으로써 정공을 공급하는 정공수송층(3)과 미량의 유기색소를 도우펀트(Dopant)로서 포함하는 유기발광층(4)와 직류전압을 인가함으로써 전자를 공급하는 전자수송층(5)이 순차적으로 상기 글래스 기판(1) 상에 적층되어 있다.
상기 적층된 층에서 최상층에 해당하는 전자수송층(5) 상에는 도전성 재료로 이루어지는 복수의 음극층(6)이 각각 소정의 간격을 두고 상기 각각의 양극층(2)이 연장되는 방향과는 직교하되, 스트라이프(Stripe) 모양으로 설치되어 있다. 한편, 상기 글래스 기판(1) 상의 각각의 양극층(2)은 각각 직류전원(7)의 양극에 접속되어 있고 또한 최상층에 해당하는 각각의 음극층(6)은 각각 직류전원(7)의 음극에 접속되어 있다.
상기와 같은 구성을 가지는 유기 EL 디스플레이에 있어서 각각의 양극층(2)와 음극층(6)의 사이에 직류전원(7)에 의하여 직류전압을 인가하면, 직류전압이 인 가된 양극층(2) 상에 적층된 정공수송층(3)으로부터 정공이 유기발광층(4) 내로 주입되고 또한 직류전압이 인가된 음극층(6)의 하층의 전자수송층(5)으로부터 전자가 유기발광층(4) 내로 주입된다.
상기 정공수송층(3)으로부터의 정공 및 전자수송층(5)으로부터의 전자가 각각 주입된 유기발광층(4) 내에서는, 각 정공과 전자가 재결합하면서 에너지가 발생한다. 그러면 상기 에너지가 유기발광층(4)에 포함된 유기색소에 흡수되면서 빛이 발산된다. 상기 유기발광층(4)에서 발생하는 빛은 정공수송층(3)과 양극층(2)과 글래스 기판(1)을 순차적으로 투과하여 글래스 기판(1)의 하측으로 출사된다.
상기와 같은 동작을 수행하는 유기 EL 디스플레이를 구성하는 수개의 층 중에 정공수송층(3)과 유기발광층(4)과 전자수송층(5)은 유기 화합물로 이루어진 유기 박막들이다.
상기의 유기 박막들은 설정 압력으로 조절되는 진공챔버 내에서 형성된다. 이에 대하여 첨부된 도 2를 참조하여 설명한다.
도 2는 종래 기술의 유기 EL 증착 장치를 보여주는 단면도이다.
도 2에 도시된 바와 같이, 종래의 유기 EL 증착 장치는, 유기 박막 형성을 수행하는 공간인 챔버(100)와 상기 챔버의 상부에 배치되고 유기물이 증착되는 기판(110)과 상기 기판에 형성되는 박막 두께를 측정하는 센서(120)와 기화되는 유기물의 개폐를 제어하는 셔터(130)와 유기물이 담긴 용기(140)와 상기 용기(140)를 가열하는 발열선(150)을 구비하여 이루어져 있다.
상기와 같은 구성에 의하여, 발열선(150)이 교류전원(미도시)에 의하여 가열 됨에 따라 열이 발생하고, 이 발생된 열에 의하여 상기 용기(140) 및 용기(140) 내부의 유기물이 가열된다. 그러면, 상기 용기(140)에 담긴 유기물이 기화 또는 승화하면서 상부의 기판(110)에 유기물이 증착된다. 한편, 상기 증착 과정에서 상기 기화 또는 승화되는 유기물의 개폐를 제어하기 위하여 셔터(130)를 이용할 수 있고, 상기 유기물이 증착되는 기판(110)의 박막 두께를 측정하기 위하여 센서(120)가 동작한다.
즉, 진공챔버(100)의 상부측에는 기판(110)을 위치시키고, 하부측에는 소량의 유기물이 담겨 있는 용기(140)와 용기(140) 내의 유기물을 가열 승화시키기 위한 발열선(150)을 포함하는 가열장치를 상기 기판(110)과 대향 설치한 구조에서, 상기 발열선(150)이 용기(140)를 가열하고 용기(140)에 담겨 있는 유기물이 승화되어 기판(110)에 유기 박막을 형성시킨다.
이와 같이 상기 유기물을 가열함으로써 기화 또는 승화시켜 바로 기판(110)에 유기물을 증착할 수 있는 것은, 상기 유기 EL 소자에 사용되는 유기물이 승화성이 높고 200도 내지 400도의 낮은 온도에서 기화하기 때문에 가능하다.
한편, 종래에는 상기 유기 EL 디스플레이 제조를 위한 증착물질을 가열하기 위해서 용기의 특정점을 집중 가열하는 포인트(Point) 가열장치와, 가열 용기를 선형으로 가열하는 리니어(Linear) 가열장치 그리고 노즐(Nozzle)을 통해 무화된 입자를 증착하는 노즐 가열장치 등이 사용되어 왔다.
그런데, 상기와 같이 종래에 사용되는 하나의 점 증착원에 의한 가열장치에 의하면, 대형 크기의 기판을 증착하는 공정을 수행하는 경우 증착물질 효율이 매우 나쁘고 증착율을 내기 위해 상대적으로 많은 파워를 순간적으로 공급해야하기 때문에 소스가 튀는 문제점이 발생한다.
따라서, 상기 하나의 점 증착원에 의해 증착물질을 가열하는 경우 발생하는 문제점을 해결하기 위하여 다양한 방법들이 다음과 같이 제시되어 왔다.
첫번째는 점 증착원을 다수개 배열하여 증착물질을 가열함으로써 대형 기판을 증착하고 균일도 확보를 가능하게 하는 방식이다.
도 3은 다수개의 점 증착원(200)의 배열에 의해 발생하는 박막 두께 분포 형상도이다. 즉, 점 증착원(200) 다수개를 배열하여 증착물질을 가열하게 되면 각각의 개별 점 증착원에서 증발되어 형성되는 박막 두께 분포(210)들이 중첩에 의해 최종적인 전체 박막 두께 분포(220) 형상이 이루어져 박막의 두께 균일도를 결정하게 된다.
이와 같이 점 증착원을 다수개 배열하여 대형 기판에 유기물질을 증착하게 되면, 대형 기판에 대한 균일도 확보가 어느 정도 가능하나 수개의 점 증착원을 사용하여 대형 기판을 일정량 이상의 물질 소모량 및 증착 속도를 감안하다 보면 많은 수의 증착원과 두께 조절장치가 필요하며 이에 따른 개별 제어 및 다수의 통합 제어 재현성에 어려움이 있어 두께 균일도 확보에 어려움이 있으며, 각 장치의 수량이 많아 유지 보수의 어려움이 발생한다.
두번째는 직사각형의 선형 증착원을 배열하여 증착물질을 가열함으로써, 대형 기판을 증착하고 균일도 확보를 가능하게 하는 방식이다.
도 4는 직사각형의 선형 증착원(300)의 배열에 의해 발생하는 박막 두께 분 포 형상도이다. 즉, 선형 증착원(300)의 각 구간별 영역에서 증발되어 형성되는 박막 두께 분포(310)의 중첩에 의해 최종적인 전체 박막 두께분포 형상(320)이 이루어져 박막의 두께 균일도를 결정하게 된다.
이와 같이 선형 증착원을 배열하여 대형 기판에 유기물질을 증착하게 되면, 균일도 확보를 위하여 증착원이 선형 방향 일체형으로 구성되어야 하는데, 증착원의 길이가 길 경우 유기 증착원 물질을 균일하게 충진하기 어렵고, 긴 거리의 경우 단일 히터와 단일 두께 제어기로 균일한 증착 특성을 얻기가 어렵고, 또한 외각부에서 기판 길이보다 증착원을 상당히 길게 하여야 하는 단점이 있다.
본 발명은 상기와 같은 종래 기술의 문제점을 해결하기 위하여 창안된 것으로, 종래의 점 증착원과 선형 증착원의 장점만을 살려 새로운 복합 증착원을 구성하고 이들을 소정의 간격으로 배열함으로써, 증착 대상인 기판 글래스에 유기물이 균일하게 증착될 수 있도록 하는 한편, 대형 크기의 기판에 대하여 증착 공정을 수행하는 경우에도 증착 효율을 높일 수 있는 증착물질 가열장치를 제공하는 것을 그 목적으로 한다.
상기와 같은 기술적 과제를 해결하기 위하여 제안된 본 발명인 유기물질 가열장치를 이루는 구성수단은, 가열 용기와 히팅 장치와 보호커버를 포함하여 이루 어진 증착원에 의하여 증착물질을 가열하는 증착물질 가열장치에 있어서, 상기 증착원은 직사각형 선형 증착원과, 이 선형 증착원 양 끝에 대칭적으로 마련되는 원형의 점 증착원이 일체로 하여 구성되는 복합 증착원이되, 이 복합 증착원이 소정의 거리 간격으로 복수개 배열되는 것을 특징으로 한다. 따라서, 대형 기판에 대한 증착원으로 사용할 수 있고, 복합 증착원 각각의 구조와 복합 증착원들간의 거리 간격을 조절하여 증착 효율을 높일 수 있다.
또한, 상기 소정의 거리 간격으로 배열되는 복수개의 복합 증착원은, 배열되는 복합 증착원간의 거리가 중심에서 외곽으로 갈수록 복합 증착원간의 거리 간격이 짧게 배열되는 것이 바람직하다. 따라서, 점 증착원들을 배열하여 대형 기판을 증착한 경우와 거의 유사한 박막 두께 분포 형상을 가질 수 있고 대형 기판의 증착 균일도를 확보할 수 있다.
또한, 상기 복합 증착원과 증착 대상이 되는 글래스 기판과의 거리가 200~400mm 인경우에, 상기 배열되는 복합 증착원들 중에 중앙부 근처의 복합 증착원들간의 거리는 170~400mm로 유지하고 최외각에 배열되는 복합 증착원들간의 거리는 150~350mm로 유지하는 것이 바람직하다. 이와 같은 거리를 유지하는 것이 대형 기판에 대한 균일도를 높일 수 있다.
또한, 상기 복합 증착원을 구성하는 상기 원형의 점 증착원의 직경과 상기 직사각형의 선형 증착원의 길이와 폭은 변경 가능하되, 상기 점 증착원의 직경과 상기 선형 증착원의 길이와 폭의 비율은 1 : 1.5~3.75 : 0.25~0.75인 것을 특징으로 한다. 이와 같은 비율에 의하여 복합 증착원 전체가 하나의 균일도를 확보할 수 있는 증발 방사 형상이 만들어진다. 따라서, 상기 점 증착원의 직경은 40~80mm로 하고 상기 선형 증착원의 길이와 폭은 60~300mm와 10~60mm로 유지하는 것이 바람직하다.
이하, 상기와 같은 구성수단으로 이루어져 있는 본 발명인 증착물질 가열장치에 관한 작용 및 바람직한 실시예를 첨부된 도면을 참조하여 상세하게 설명한다.
도 5는 본 발명인 증착물질 가열장치에 적용되는 복합 증착원의 형태를 보여주는 개략도이다.
도 5에 도시된 바와 같이 본 발명에 적용되는 복합 증착원(400)은 직사각형 모양을 가지는 선형 증착원(410)과 원형 모양의 점 증착원(430, 450)으로 구성되어 있다. 구체적으로, 상기 직사각형의 선형 증착원(410)의 양 끝에 대칭적 형상의 상기 원형 증착원(430, 450)이 일체로 결합되어 있는 구조이다. 이와 같이 직사각형의 선형 증착원(410)과 원형의 점 증착원(430, 450)으로 구성된 복합 증착원(400)은 글래스 기판 상에 박막을 형성시키기 위하여 복수개 배열된다. 이 때 배열되는 복수개의 복합 증착원간의 거리는 대형 기판에 대한 증착원으로도 사용하고 증착율을 높이기 위하여 소정의 간격으로 조절될 수 있다.
상기 복합 증착원(400)을 구성하는 상기 원형의 점 증착원(430, 450)의 직경(a)과 상기 직사각형의 선형 증착원의 길이(b)와 폭(c)은 대형 기판의 균일도를 확보하기 위하여 적절하게 변경 가능하다. 일반적으로 상기 복합 증착원(400)은 균일도를 확보할 수 있는 증발 방사 형상을 만들 수 있도록 상기 원형의 점 증착원 (430, 450)의 면적이 상기 직사각형의 선형 증착원(410)의 면적보다 더 크게 형성되는 것이 바람직하다.
상기 원형의 점 증착원(430, 450)의 직경(a)과 상기 직사각형의 선형 증착원(410)의 길이(b)와 폭(c)의 비율은 1 : 1.5~3.75 : 0.25~0.75로 하는 것이 바람직하다. 상기 비율에 따르면 원형의 점 증착원(430, 450)의 면적이 직사각형의 선형 증착원(410)의 면적보다 더 크다는 것을 알 수 있다. 구체적으로 원형의 점 증착원(430, 450)의 최소 직경(a)을 40mm로 할 때 직사각형의 선형 증착원(410)의 길이(b)와 폭(c)의 최소 길이는 각각 60mm와 10mm로 하는 것이 바람직하고, 원형의 점 증착원(430, 450)의 최대 직경(a)을 80mm로 하는 경우에는 직사각형의 선형 증착원(410)의 길이(b)와 폭(c)의 길이는 각각 300mm와 60mm로 하는 것이 바람직하다. 이와 같은 비율로 복합 증착원(400)을 구성할 때 박막 두께의 균일도를 확보할 수 있는 증발 방사 형상이 만들어진다.
상기 복합 증착원을 포함하는 증착물질 가열장치는 상기 복합 증착원에서 발생하여 글래스 기판 상에 증착되는 유기물의 두께를 조절하는 두께조절장치(미도시) 및 증착 공정을 전반적으로 제어하는 제어수단(미도시)을 더 포함할 것이다. 한편, 상기 복합 증착원은 직사각형의 선형 증착원과 원형의 점 증착원이 일체로 하여 구성된 복합 증착원과 동일 형상(평면상에서 볼 때 아령 모양)을 갖는 가열 용기와 상기 가열 용기를 가열할 수 있는 열선을 포함한 히팅 장치와 상기 열선의 외곽에 설치되는 보호커버와 온도 유지를 위한 냉각벽과 상기 가열용기를 덮는 덮개를 포함하여 이루어져 있다. 이와 같은 증착원의 구성요소는 종래의 증착원과도 유사한 구성요소이다.
도 6은 본 발명에 적용되는 각각의 복합 증착원에 의해 발생하는 박막 두께 분포 형상을 보여주는 개략도이다.
도 6에 도시된 바와 같이 각각의 복합 증착원(400)에서 방사되어 일정 거리(조절 가능한 거리)에 있는 글래스 기판 위에 증착되는 박막 두께 형상 분포는 직사각형의 선형 증착원(410)과 원형의 점 증착원(430, 450)에서 증발 방사되어 형성된 박막 두께들의 조합으로 표현된다. 즉, 직사각형의 선형 증착원(410)에 의해 발생하는 박막 두께 분포는 참조 번호 411로 나타나고, 원형의 점 증착원(430, 450)에 의해 발생하는 박막 두께 분포는 참조 번호 431과 451로 나타나며, 최종적으로 하나의 복합 증착원에 의하여 발생되는 박막 두께 분포의 형상은 참조 번호 470으로 나타난다.
그런데, 상기 도 6에 도시된 복합 증착원의 박막 두께 분포 형상은 정상적으로 글래스 기판 상에 증착물질을 증착시키는 경우에 해당한다. 이와 같은 정상적인 박막 두께 분포 형상을 가지기 위해서는 상기 복합 증착원과 글래스 기판과의 거리를 최적으로 유지하고, 상기 복합 증착원의 구조를 최적으로 구성하여야 한다.
도 7은 상기 복합 증착원과 글래스 기판과의 거리에 따라 박막 두께 분포 형상을 보여주는 개략도이다. 도 7에 도시된 바와 같이, 참조 번호 401은 하나의 복합 증착원(400)과 글래스 기판(미도시)과의 거리가 매우 가까이 있을 때의 박막 두께 분포를 보여주고, 참조 번호 403은 상기 참조 번호 401보다 글래스 기판이 복합 증착원에서 더 멀리 떨어져 있을 때의 박막 두께 분포를 보여주며, 참조 번호 405 는 참조 번호 403보다 글래스 기판이 복합 증착원에서 더 멀리 떨어져 있을 때의 박막 두께 분포를 보여주는 것이다. 이와 같이 복합 증착원과 글래스 기판과의 거리에 따라 하나의 복합 증착원에 의한 박막 두께 분포 형상이 달라지므로, 대형 기판의 증착율을 높이기 위한 최적의 거리를 찾아 글래스 기판을 증착원과 소정의 거리를 두어 설치하면 된다.
도 8은 본 발명인 증착물질 가열장치에 적용되는 복합 증착원의 배열에 따른 박막 두께 분포 형상을 보여주는 개략도이다.
도 8에 도시된 바와 같이, 복수개의 복합 증착원(400)이 선형으로 일정 거리를 두고 배열되어 있고, 각각의 복합 증착원(400)에 의해 형성되는 박막 두께 분포(470)들의 중첩에 의하여 최종적인 복수개 배열된 복합 증착원들에 의한 박막 두께 분포 형상(490)이 만들어진다.
도 8에는 각각의 복합 증착원(400)들의 배열에 있어, 복합 증착원(400)들간에 균일한 간격을 두고 배열되어 있지만 배열된 복합 증착원(400)들 중에 중앙에 위치한 복합 증착원들 사이의 거리보다 외곽에 있는 복합 증착원들 사이의 거리가 더 가깝게 배열되는 것이 바람직하다. 즉, 배열되는 복합 증착원간의 거리는 중심에서 외곽으로 갈수록 복합 증착원들간의 거리 간격이 짧게 배열된다. 이와 같은 배열에 의하여 최종적으로 만들어지는 박막 두께 분포 형상(490) 중 휘어지는 부분(491)이 연장되게 하여 박막 두께의 균일도를 유지할 수 있다.
상기 복합 증착원과 증착 대상이 되는 글래스 기판과의 거리에 따라 상기 복합 증착원들간의 배열 간격은 다양하게 조절될 수 있다. 만약, 상기 복합 증착원과 글래스 기판과의 거리가 200~400mm 만큼 떨어져 있다면, 도 8에 도시된 6개의 복합 증착원 사이의 거리는 중앙부 근처에 배열되는 복합 증착원들간의 거리는 170~400mm로 유지하고, 최외각에 배열되는 복합 증착원들간의 거리는 150~350mm로 유지하는 것이 대형 기판의 증착 효율을 최적으로 할 수 있다. 한편, 증착 대상의 기판 글래스의 크기와 증착원과 글래스 기판과의 거리와 사용되는 복합 증착원의 개수에 따라 상기 복합 증착원들간의 거리 간격은 변경 가능하며, 최적의 거리 간격에 따라 상기 글래스 기판상에 증착을 수행할 수 있다.
상기와 같은 구성 및 작용 그리고 바람직한 실시예를 가지는 본 발명에 의하면, 증발 방사에 의해 형성된 박막의 두께 분포 형상이 점 증착원처럼 거동하는 복합 증착원을 소정의 거리 간격으로 배열함으로써 각각의 복합 증착원의 박막 두께 분포의 중첩 특성을 이용하여 균일한 박막 균일도를 형성시킬 수 있어 대형 크기의 기판에 대하여도 공정을 수행할 수 있으며 증착 공정의 양산화를 도모할 수 있는 효과가 있다.
또한, 유기 물질에 따른 증발 온도가 달라지거나 복합 증착원간의 간섭 등의 이유로 기판의 거리가 달리 요구될 때는 각 복합 증착원간의 거리를 다양하게 조절하여 박막 균일도를 확보할 수 있는 장점이 있다.

Claims (5)

  1. 가열 용기와 히팅 장치와 보호커버를 포함하여 이루어진 증착원에 의하여 증착물질을 가열하는 증착물질 가열장치에 있어서,
    상기 증착원은 직사각형 선형 증착원과, 이 선형 증착원 양 끝에 대칭적으로 마련되는 원형의 점 증착원이 일체로 하여 구성되는 복합 증착원이되, 이 복합 증착원이 소정의 거리 간격으로 복수개 배열되는 것을 특징으로 하는 증착물질 가열장치.
  2. 청구항 1에 있어서,
    상기 소정의 거리 간격으로 배열되는 복수개의 복합 증착원은, 배열되는 복합 증착원간의 거리가 중심에서 외곽으로 갈수록 복합 증착원간의 거리 간격이 짧게 배열되는 것을 특징으로 하는 증착물질 가열장치.
  3. 청구항 2에 있어서,
    상기 복합 증착원과 증착 대상이 되는 글래스 기판과의 거리가 200~400mm 인경우에, 상기 배열되는 복합 증착원들 중에 중앙부 근처의 복합 증착원들간의 거리는 170~400mm로 유지하고 최외각에 배열되는 복합 증착원들간의 거리는 150~350mm 로 유지하는 것을 특징으로 하는 증착물질 가열장치.
  4. 청구항 1에 있어서,
    상기 복합 증착원을 구성하는 상기 원형의 점 증착원의 직경과 상기 직사각형의 선형 증착원의 길이와 폭은 변경 가능하되, 상기 점 증착원의 직경과 상기 선 형 증착원의 길이와 폭의 비율은 1 : 1.5~3.75 : 0.25~0.75인 것을 특징으로 하는 증착물질 가열장치.
  5. 청구항 4에 있어서,
    상기 점 증착원의 직경은 40~80mm로 하고 상기 선형 증착원의 길이와 폭은 60~300mm와 10~60mm로 유지하는 것을 특징으로 하는 증착물질 가열장치.
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