JP2012103072A5 - - Google Patents

Download PDF

Info

Publication number
JP2012103072A5
JP2012103072A5 JP2010250948A JP2010250948A JP2012103072A5 JP 2012103072 A5 JP2012103072 A5 JP 2012103072A5 JP 2010250948 A JP2010250948 A JP 2010250948A JP 2010250948 A JP2010250948 A JP 2010250948A JP 2012103072 A5 JP2012103072 A5 JP 2012103072A5
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
image
magnification
recipe
imaging
unit
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
JP2010250948A
Other languages
English (en)
Japanese (ja)
Other versions
JP5653724B2 (ja
JP2012103072A (ja
Filing date
Publication date
Application filed filed Critical
Priority to JP2010250948A priority Critical patent/JP5653724B2/ja
Priority claimed from JP2010250948A external-priority patent/JP5653724B2/ja
Priority to TW100138492A priority patent/TW201229500A/zh
Priority to KR1020110115802A priority patent/KR20120049826A/ko
Priority to CN2011103530218A priority patent/CN102565082A/zh
Publication of JP2012103072A publication Critical patent/JP2012103072A/ja
Publication of JP2012103072A5 publication Critical patent/JP2012103072A5/ja
Application granted granted Critical
Publication of JP5653724B2 publication Critical patent/JP5653724B2/ja
Expired - Fee Related legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

JP2010250948A 2010-11-09 2010-11-09 位置合わせ装置、位置合わせ方法および位置合わせプログラム Expired - Fee Related JP5653724B2 (ja)

Priority Applications (4)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2010250948A JP5653724B2 (ja) 2010-11-09 2010-11-09 位置合わせ装置、位置合わせ方法および位置合わせプログラム
TW100138492A TW201229500A (en) 2010-11-09 2011-10-24 Position alignment device, position alignment method, and computer readable recording medium having position alignment program recorded thereon
KR1020110115802A KR20120049826A (ko) 2010-11-09 2011-11-08 위치 정렬 장치, 위치 정렬 방법 및 위치 정렬 프로그램을 기록한 컴퓨터가 판독 가능한 기록 매체
CN2011103530218A CN102565082A (zh) 2010-11-09 2011-11-09 对位装置及对位方法

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2010250948A JP5653724B2 (ja) 2010-11-09 2010-11-09 位置合わせ装置、位置合わせ方法および位置合わせプログラム

Publications (3)

Publication Number Publication Date
JP2012103072A JP2012103072A (ja) 2012-05-31
JP2012103072A5 true JP2012103072A5 (enrdf_load_stackoverflow) 2013-12-12
JP5653724B2 JP5653724B2 (ja) 2015-01-14

Family

ID=46267519

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2010250948A Expired - Fee Related JP5653724B2 (ja) 2010-11-09 2010-11-09 位置合わせ装置、位置合わせ方法および位置合わせプログラム

Country Status (4)

Country Link
JP (1) JP5653724B2 (enrdf_load_stackoverflow)
KR (1) KR20120049826A (enrdf_load_stackoverflow)
CN (1) CN102565082A (enrdf_load_stackoverflow)
TW (1) TW201229500A (enrdf_load_stackoverflow)

Families Citing this family (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US9852500B2 (en) * 2015-07-15 2017-12-26 GM Global Technology Operations LLC Guided inspection of an installed component using a handheld inspection device
CN110268266B (zh) * 2017-02-08 2022-11-29 富士胶片株式会社 免疫检查装置
CN113125434B (zh) * 2019-12-31 2024-11-19 深圳迈瑞生物医疗电子股份有限公司 图像分析系统和控制拍摄样本图像的方法
CN112919106A (zh) * 2021-01-29 2021-06-08 中山市美鼎机械制造有限公司 一种线路板光学智能检测设备
JP7701216B2 (ja) * 2021-08-27 2025-07-01 株式会社Ｓｃｒｅｅｎホールディングス 描画システム、描画方法およびプログラム

Family Cites Families (10)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH0634233B2 (ja) * 1987-05-26 1994-05-02 株式会社安川電機 階層化構造的テンプレ−ト・マッチング方法
JP3246616B2 (ja) * 1992-10-01 2002-01-15 株式会社ニコン 位置合わせ方法
JP2001201338A (ja) * 2000-01-20 2001-07-27 Jeol Ltd 座標リンク機構
JP3993817B2 (ja) * 2002-12-11 2007-10-17 株式会社日立製作所 欠陥組成分析方法及び装置
JP4847685B2 (ja) * 2004-04-16 2011-12-28 株式会社日立ハイテクノロジーズ パターンサーチ方法
JP5059297B2 (ja) * 2005-05-09 2012-10-24 株式会社日立ハイテクノロジーズ 電子線式観察装置
JP2008152555A (ja) * 2006-12-18 2008-07-03 Olympus Corp 画像認識方法及び画像認識装置
JP2008311668A (ja) * 2008-07-07 2008-12-25 Hitachi High-Technologies Corp 基板又は半導体ウエーハに形成されたパターンの，重ね合わせ誤差検査装置及び重ね合わせ誤差検査方法
JP2010107412A (ja) * 2008-10-31 2010-05-13 Toshiba Corp 欠陥観察装置、欠陥観察方法
JP5315076B2 (ja) * 2009-02-06 2013-10-16 株式会社日立ハイテクノロジーズ 電子線の影響を考慮した半導体検査方法及び装置

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CN108986070B (zh) 一种基于高速视频测量的岩石裂缝扩展实验监测方法
JP5997989B2 (ja) 画像測定装置、その制御方法及び画像測定装置用のプログラム
CN106504290B (zh) 一种高精度的摄像机动态标定方法
US9875574B2 (en) Method and device for automatically identifying the deepest point on the surface of an anomaly
CN102435629B (zh) 扫描电子显微镜的检测方法
CN103913293B (zh) 编码结构光系统光学传递模型测量系统
Li et al. Light plane calibration and accuracy analysis for multi-line structured light vision measurement system
JP2008070267A5 (enrdf_load_stackoverflow)
CN105579809B (zh) 测量方法、测量装置以及计算机可读记录介质
US20120307047A1 (en) Imaging system and control method thereof
JP2008224626A5 (enrdf_load_stackoverflow)
CN103559708B (zh) 基于方靶模型的工业定焦相机参数标定装置
CN102944559A (zh) 一种板料成形各向异性性能参数的视觉测量方法
JP2012103072A5 (enrdf_load_stackoverflow)
JP5222430B1 (ja) 寸法計測装置、寸法計測方法及び寸法計測装置用のプログラム
CN114838668A (zh) 一种隧道位移监测方法及系统
JP2007327836A (ja) 外観検査装置及び方法
CN104050650A (zh) 基于坐标变换的完整成像的图像拼接方法
JP2017049035A (ja) 画像測定装置及びその制御プログラム
CN103438803B (zh) 计算机视觉技术跨视场精确测量矩形零件尺寸的方法
CN108205210B (zh) 基于傅里叶梅林及特征匹配的lcd缺陷检测系统及方法
CN102003941B (zh) 基于视觉的大型系泊链五环长测量方法及其测量装置
JP2011095131A (ja) 画像処理方法
CN110686593A (zh) 一种测量拼接焦平面中图像传感器相对位置关系的方法
WO2016001986A1 (ja) 計測方法、計測装置、計測プログラム及び計測プログラムを記録した、コンピュータ読み取り可能な記録媒体