JP2012098175A - 放射線検出素子およびその製造方法、放射線検出モジュール並びに放射線画像診断装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】加熱し蒸発させた蒸着材料を複数の放出孔41A1,〜41An,41B1〜41Bmを有する蒸着用容器(プレート)41に誘導し、蒸着材料を複数の放出孔41A1,〜41An,41B1〜41Bmから放出してセンサー基板11に蒸着する。これによりシンチレータ層を構成する柱状結晶の成長および分布のばらつきが低減される。
【選択図】図2
Description
[第1の実施の形態]
(センサー基板に直接シンチレータ層が設けられた放射線検出素子)
(1)放射線検出素子の構成
(2)製造方法
[第2の実施の形態]
(支持基板側にシンチレータ層が設けられた放射線検出素子)
(放射線検出素子の構成)
図1は、本発明の第1の実施の形態に係る放射線検出素子1を備えた放射線検出モジュールの断面構成を表したものである。放射線検出素子1は、センサー基板11、シンチレータ層12、接着層13、反射層14および保護層15をこの順に有している。放射線検出モジュールは、放射線検出素子1と、センサー基板上に設けられたスイッチ素子および光電変換素子を含むものである。
本実施の形態におけるシンチレータ層12は、図2(A),(B)に示した蒸着装置10を用いて形成される。図2(A)に示したように、蒸着装置10は真空チャンバ(蒸着室)20内にセンサー基板11(被蒸着部材)を保持するための保持具30と、加熱蒸発部40と、真空ポンプ(真空排気手段)50と、ガス導入ノズル60とを備えている。なお、蒸着装置10はこの他に公知の真空蒸着装置が有する各種の部材を有していてもよい。例えば、被蒸着部材の洗浄を行うマッチングボックスや真空チャンバ20内の真空度を測定する真空計等を有していてもよい。
まず、真空チャンバ20内の保持具30にセンサー基板11を蒸着面が下方となるように設置する。続いて、蒸発容器42A,42BにCsIおよびTlIをそれぞれ充填したのちシャッタを閉塞し、更に真空チャンバ20を閉塞する。
以下、図7を参照して第2の実施の形態について説明する。なお、第1の実施の形態と同一の構成要素については同一符号を付してその説明は省略する。本実施の形態における放射線検出素子2は、支持基板16上に下地層17、シンチレータ層12および保護層15を備えた、いわゆるシンチレータパネルである。図7は、TFT等のスイッチ素子(図示せず)および複数の光電変換素子(図示せず)を備えたセンサー基板11上に、この放射線検出器2を保護層15側を下方にして備えた放射線検出モジュールの断面構成を表したものである。なお、本実施の形態におけるシンチレータ層12は、下地層17が形成された支持基板16側に蒸着により形成されている。また、保護層15は、シンチレータ層12を保護するためのものであり、シンチレータ層12上に設けられている。
図8は、上記実施の形態の放射線検出素子1または放射線検出素子2が適用される放射線画像診断装置の一例としてX線診断装置(レントゲン)の構成を表したものである。このX線診断装置は、X線の透過強度を上記放射線検出素子1または放射線検出素子2を備えた放射線検出モジュールによって二次元平面上に描出する画像診断装置である。X線診断装置は、例えばX線の発生に必要なX線管装置100Aおよび発生したX線の範囲を制限する照射野限定器100Bを含むX線源装置100と、高電圧をX線管装置100Aに導くためのプラグ付きX線高電圧ケーブル(図示せず)と、高電圧を発生させるX線高電圧装置200と、検体Hを透過したX線の強度を検出する放射線(X線)検出モジュールを含むX線検出器300と、検出したX線を二次元平面上に表示する表示部400とから構成されている。
Claims (11)
- 基板上にシンチレータ層を有する放射線検出素子であって、
前記シンチレータ層は、各側面に実質的に凹凸を有しない複数の柱状結晶により構成されている
放射線検出素子。 - 前記柱状結晶の成長方向において、任意の部分における凸部と凹部の差が1μm以下である、請求項1記載の放射線検出素子。
- 前記複数の柱状結晶の柱径の差は30%以下である、請求項1または2記載の放射線検出素子。
- 前記シンチレータ層は前記複数の柱状結晶の密度分布が均一である、請求項1乃至3のいずれか1項に記載の放射線検出素子。
- 前記複数の柱状結晶の先端の傾斜角度が40度以下である、請求項1乃至4のいずれか1項に記載の放射線検出素子。
- 前記シンチレータ層は中心部と周縁部との膜厚差が10%以下である、請求項1乃至5のいずれか1項に記載の放射線検出素子。
- 前記シンチレータ層は、加熱によって蒸発した蒸着材料を複数の放出孔を有する蒸着用容器に誘導し、前記蒸着材料を前記複数の放出孔から前記基板上に蒸着させることによって形成された、請求項1乃至6のいずれか1項に記載の放射線検出素子。
- 前記シンチレータ層はヨウ化セシウム(CsI)を含む、請求項1乃至7のいずれか1項に記載の放射線検出素子。
- 基板上にシンチレータ層を有する放射線検出素子と、前記放射線検出素子によって変換された光を電気信号に変換する光電変換素子とを備え、
前記シンチレータ層は、各側面に実質的に凹凸を有しない複数の柱状結晶により構成されている
放射線検出モジュール。 - 放射線を発生する放射線源装置と、放射線検出素子および前記放射線検出素子によって変換された光を電気信号に変換する光電変換素子を有する放射線検出器とを備え、
前記放射線検出素子は基板上にシンチレータ層を有し、
前記シンチレータ層は、各側面に実質的に凹凸を有しない複数の柱状結晶により構成されている
放射線画像診断装置。 - 蒸着材料を加熱し蒸発させる工程と、
前記蒸発した蒸着材料を複数の放出孔を有する蒸着用容器に誘導する工程と、
前記蒸発した蒸着材料を複数の放出孔から放出し、基板に蒸着させることにより各側面に実質的に凹凸を有しない複数の柱状結晶により構成されているシンチレータ層を形成する工程と
を含む放射線検出素子の製造方法。
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