JP2012079941A - 基板処理装置のデータ取得方法及びセンサ用基板 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】
モジュールの情報を収集するためのセンサ部と、前記センサ部に電力を供給するための受電用コイルとを備えたセンサ用基板を前記保持部材に保持する工程と、次いで前記保持部材を前進させて前記センサ用基板を前記モジュールに受け渡す工程と、記基台と共に移動する送電用コイルに電力を供給して磁界を形成すると共に、この磁界中で当該送電用コイルと前記受電用コイルとを共鳴させ、前記送電用コイルから前記受電用コイルに電力を供給する工程と、前記センサ部によりモジュールに関するデータを取得する工程と、を含む基板処理装置のデータ取得方法を実行する。
【選択図】図13
Description
前記モジュールの情報を収集するためのセンサ部と、前記センサ部に電力を供給するための受電用コイルとを備えたセンサ用基板を前記保持部材に保持する工程と、
次いで前記保持部材を前進させて前記センサ用基板を前記モジュールに受け渡す工程と、
前記基台と共に移動する送電用コイルに電力を供給して磁界を形成すると共に、この磁界中で当該送電用コイルと前記受電用コイルとを共鳴させ、前記送電用コイルから前記受電用コイルに電力を供給する工程と、
前記センサ部によりモジュールに関するデータを取得する工程と、
を含むことを特徴とする。
(1)前記センサ用基板は前記受電用コイルから電力が供給される無線通信部を備え、
無線通信部から前記モジュールに関するデータを基板処理装置の受信部に送信する工程を含む。
(2)前記受電用コイルへ電力が供給されたときに、当該電力が供給されたことを示す確認信号を前記無線通信部から前記受信部に送信する工程が含まれる。
モジュールの情報を収集するためのセンサ部と、前記センサ部に電力を供給するための第1の受電用コイルとを備えたセンサ用基板を前記保持部材に保持する工程と、
次いで前記保持部材を前進させて前記センサ用基板を前記モジュールに受け渡す工程と、
第1の送電用コイルを備えた送電用基板を前記保持部材に保持する工程と、
前記第1の送電用コイルに電力を供給して磁界を形成すると共にこの磁界中で当該第1の送電用コイルと前記第1の受電用コイルとを共鳴させ、前記第1の送電用コイルから前記第1の受電用コイルに電力を供給する工程と、
前記センサ部によりモジュールに関するデータを取得する工程と、
を含むことを特徴とする。
(3)前記センサ用基板は前記第1の受電用コイルから電力が供給される第1の無線通信部を備え、
第1の無線通信部から前記モジュールに関するデータを基板処理装置の受信部に送信する工程を含む。
(4)前記第1の受電用コイルへ電力が供給されたときに、当該電力が供給されたことを示す確認信号を前記第1の無線通信部から前記受信部に送信する工程が含まれる。
(5)前記送電用基板は、前記第1の送電用コイルに電力を供給するための第2の受電用コイルを備え、
前記基台と共に移動する第2の送電用コイルに電力を供給して磁界を形成すると共に、この磁界中で第2の送電用コイルと前記第2の受電用コイルとを共鳴させ、前記第2の送電用コイルから非接触で第2の受電用コイルに電力を供給する工程を含むことを特徴とする。
(6)前記送電用基板は、前記第2の受電用コイルから電力が供給される第2の無線通信部を備え、
前記第2の受電用コイルへ電力が供給されたときに、当該電力が供給されたことを示す確認信号を前記第2の無線通信部から基板処理装置に設けられる受信部に送信する工程が含まれる。
(7)記送電用基板は、第1の送電用コイルに電力を供給するためのバッテリを備えている。
前記モジュールのプロセス処理に供される種々のデータ情報を収集するためのセンサ部と、
このセンサ部により収集された前記データ情報を無線で送信する送信部と、
前記センサ部及び送信部に接続され、外部からの共振作用により送電される電力を受電してこれらセンサ部及び送信部に供給するための受電用コイルと、を備えたことを特徴とする。例えば、前記受電用コイルは、センサ用基板の周縁部に、当該センサ用基板の外形に沿って巻設されている。
本発明の検査方法が適用される基板処理装置である塗布、現像装置1の構成と、半導体装置を製造するためのウエハWの搬送経路について説明する。図1には塗布、現像装置1に露光装置C4が接続されたレジストパターン形成システムの平面図を示しており、図2は同システムの斜視図である。また、図3は塗布、現像装置1の縦断面図である。
センサ用ウエハ6にバッテリが搭載されない場合の利点について記載したが、センサ用ウエハ6がバッテリを搭載している場合も本発明の権利範囲に含まれる。例えば、電気二重層キャパシタによるバッテリを搭載し、アンテナ68で無線通信を行うための電力源とする。そして、例えば、上記の各ステップS3〜S7でセンサ用ウエハ6の各回路に電力を供給すると共に前記バッテリに充電されるようにセンサ用ウエハ6の各回路を構成する。さらに、センサ用ウエハ6のモジュールの受け渡しから所定の時間経過後に自動的に送電用コイル42への電力の供給が停止するように装置コントローラ54を設定する。そして、前記電力の供給停止後、センサ用ウエハ6の通信回路67が前記バッテリの電力を用いて、取得したモジュールのデータを塗布、現像装置1に無線送信するように当該通信回路67を構成する。このように磁界が形成されない状態で通信を行うことにより、データの送信をより確実に行うことができる。後述の各実施形態でも、このように通信用のバッテリをセンサ用ウエハ6に設けて、データの通信を行ってもよい。
続いて、第2の実施形態について説明する。この第2の実施形態では搬送アームGから送電用ウエハ7を経由してセンサ用ウエハ6に電力が供給される。搬送アームGと送電用ウエハ7との間及び送電用ウエハ7とセンサ用ウエハ6との間の電力供給は、第1の実施形態と同様に磁界共鳴方式を用いた無線給電により行われる。図21は前記送電用ウエハ7の平面図である。送電用ウエハ7の周縁部には受電用コイル71及び送電用コイル72が設けられている。受電用コイル71及び送電用コイル72は平面型コイルであり、導線が送電用ウエハ7の外形に沿って巻設されている。
例えば電気二重層キャパシタなどにより構成されるバッテリ70を送電用ウエハ7に設けて、このバッテリ70に蓄えられた電力を用いてセンサ用ウエハ6に送電を行ってもよい。例えば、待機モジュール4で送電用ウエハ7が待機している間に当該バッテリ70に充電が行われる。図26は、そのような充電機能を備えた待機モジュール4の縦断側面図である。図中84は送電部であり、送電用コイル85を備え、磁界共鳴方式により送電用コイル85から送電用ウエハ7の受電用コイル71に非接触で送電を行い、送電された電力がバッテリ70に蓄えられる。
第2の実施形態において、送電用ウエハと塗布、現像装置1との間で無線給電を行う代わりに、送電用ウエハを有線により塗布、現像装置1と接続し、塗布、現像装置1から送電用ウエハに電力を供給してもよい。図29は、そのように有線接続をするためのケーブル91を備えた送電用ウエハ9の平面図である。図30は前記送電用ウエハ9及び当該送電用ウエハ9に接続された塗布、現像装置1の概略回路図である。送電用ウエハ9の送電用ウエハ7との差異点としては、受電用コイル71及び受電回路74が設けられていないことが挙げられる。また、送電用ウエハ9の制御回路76には受電回路74の代わりにケーブル91が接続されている。そして、当該ケーブル91を介して送電用ウエハ9は、塗布、現像装置1のAC/DCコンバータ53に接続されている。図30中92はケーブル91と塗布、現像装置1との接続部である。この送電用ウエハ9を用いた第3の実施形態では、測定を行う際にユーザが送電用ウエハ9を搬送アームGに載置することを除き、第2の実施形態と同様に測定が行われる。
22 スピンチャック
24 加熱モジュール
35 上部フォーク
36 下部フォーク
4 待機モジュール
42 送電用コイル
54 装置コントローラ
55、68 アンテナ
6、6A、6B、6C センサ用ウエハ
61 加速度センサ
63 受電用コイル
7、9 送電用ウエハ
Claims (11)
- 基台及び前記基台に進退自在に設けられた保持部材を備えると共に複数のモジュール間で基板を搬送するための基板搬送機構と、を備えた基板処理装置において、
前記モジュールの情報を収集するためのセンサ部と、前記センサ部に電力を供給するための受電用コイルとを備えたセンサ用基板を前記保持部材に保持する工程と、
次いで前記保持部材を前進させて前記センサ用基板を前記モジュールに受け渡す工程と、
前記基台と共に移動する送電用コイルに電力を供給して磁界を形成すると共に、この磁界中で当該送電用コイルと前記受電用コイルとを共鳴させ、前記送電用コイルから前記受電用コイルに電力を供給する工程と、
前記センサ部によりモジュールに関するデータを取得する工程と、
を含むことを特徴とする基板処理装置のデータ取得方法。 - 前記センサ用基板は前記受電用コイルから電力が供給される無線通信部を備え、
無線通信部から前記モジュールに関するデータを基板処理装置の受信部に送信する工程を含むことを特徴とする請求項1記載の基板処理装置のデータ取得方法。 - 前記受電用コイルへ電力が供給されたときに、当該電力が供給されたことを示す確認信号を前記無線通信部から前記受信部に送信する工程が含まれることを特徴とする請求項2記載の基板処理装置のデータ取得方法。
- 基台及び前記基台に進退自在に設けられた保持部材を備えると共に複数のモジュール間で基板を搬送するための基板搬送機構と、を備えた基板処理装置において、
モジュールの情報を収集するためのセンサ部と、前記センサ部に電力を供給するための第1の受電用コイルとを備えたセンサ用基板を前記保持部材に保持する工程と、
次いで前記保持部材を前進させて前記センサ用基板を前記モジュールに受け渡す工程と、
第1の送電用コイルを備えた送電用基板を前記保持部材に保持する工程と、
前記第1の送電用コイルに電力を供給して磁界を形成すると共にこの磁界中で当該第1の送電用コイルと前記第1の受電用コイルとを共鳴させ、前記第1の送電用コイルから前記第1の受電用コイルに電力を供給する工程と、
前記センサ部によりモジュールに関するデータを取得する工程と、
を含むことを特徴とする基板処理装置のデータ取得方法。 - 前記センサ用基板は前記第1の受電用コイルから電力が供給される第1の無線通信部を備え、
第1の無線通信部から前記モジュールに関するデータを基板処理装置の受信部に送信する工程を含むことを特徴とする請求項4記載の基板処理装置のデータ取得方法。 - 前記第1の受電用コイルへ電力が供給されたときに、当該電力が供給されたことを示す確認信号を前記第1の無線通信部から前記受信部に送信する工程が含まれることを特徴とする請求項5記載の基板処理装置のデータ取得方法。
- 前記送電用基板は、前記第1の送電用コイルに電力を供給するための第2の受電用コイルを備え、
前記基台と共に移動する第2の送電用コイルに電力を供給して磁界を形成すると共に、この磁界中で第2の送電用コイルと前記第2の受電用コイルとを共鳴させ、前記第2の送電用コイルから非接触で第2の受電用コイルに電力を供給する工程を含むことを特徴とする請求項4ないし6のいずれか一つに記載の基板処理装置のデータ取得方法。 - 前記送電用基板は、前記第2の受電用コイルから電力が供給される第2の無線通信部を備え、
前記第2の受電用コイルへ電力が供給されたときに、当該電力が供給されたことを示す確認信号を前記第2の無線通信部から基板処理装置に設けられる受信部に送信する工程が含まれることを特徴とする請求項7記載の基板処理装置のデータ取得方法。 - 前記送電用基板は、第1の送電用コイルに電力を供給するためのバッテリを備えたことを特徴とする請求項4ないし8のいずれか一つに記載の基板処理装置のデータ取得方法。
- 基板が搬入されるモジュールに、各種測定データを取得するためのセンサを基板搬送装置で搬送可能に構成されたセンサ用基板であって、
前記モジュールのプロセス処理に供される種々のデータ情報を収集するためのセンサ部と、
このセンサ部により収集された前記データ情報を無線で送信する送信部と、
前記センサ部及び送信部に接続され、外部からの共振作用により送電される電力を受電してこれらセンサ部及び送信部に供給するための受電用コイルと、を備えたことを特徴とするセンサ用基板。 - 前記受電用コイルは、センサ用基板の周縁部に、当該センサ用基板の外形に沿って巻設されていることを特徴とする請求項10記載のセンサ用基板。
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