JP2012074368A5 - - Google Patents
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- 誘電体板を有するプラズマ室と、導波路と、水素供給部と、電界形成部と、を有し、
前記誘電体板は、前記導波路と前記プラズマ室の間を仕切る機能と、前記導波路から伝播されたマイクロ波を表面波に変換する機能と、を有し、
前記プラズマ室は、前記水素供給部から供給され前記表面波に接する水素を、プラズマ化する機能を有し、
前記電界形成部は、前記プラズマ化した水素の負イオンを、電界により加速させる機能を有することを特徴とするイオンドーピング装置。 - 誘電体板を有するプラズマ室と、導波路と、水素供給部と、引き出し電極を有する電界形成部と、を有し、
前記誘電体板は、前記導波路と前記プラズマ室の間を仕切る機能と、前記導波路から伝播されたマイクロ波を表面波に変換する機能と、を有し、
前記プラズマ室は、前記水素供給部から供給され前記表面波に接する水素を、プラズマ化する機能を有し、
前記電界形成部は、前記プラズマ化した水素の負イオンを、電界により加速させる機能を有し、
前記誘電体板と前記引き出し電極との距離は、２０ｍｍ以上２００ｍｍ以下であることを特徴とするイオンドーピング装置。 - 誘電体板においてマイクロ波を表面波に変換し、
水素を前記表面波によりプラズマ化し、
前記プラズマ化した水素の負イオンを、電界により加速させ、ドーピングされる対象物に添加することを特徴とするイオンドーピング方法。
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