JP2012068563A - パタン形成方法、基板製造方法、及びモールド製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】基板11上に、ヒートモードの形状変化が可能な有機色素からなるフォトレジスト層12を形成する。フォトレジスト層12にレーザ光を照射し、フォトレジスト層のレーザ光が照射された部分に穴部13を形成する。真空中で所定のガスを用いてフォトレジスト層12をエッチングし、レーザ光を照射して穴部13を形成する際に発生した異物を除去する。
【選択図】図1C
Description
・レーザ送りピッチ 0.2μm
・線速 5m/s
・記録信号 25MHz(デューティ比20%)の方形波
・レーザ出力 3.5mW
・投入電力 50W
・O2ガス流量 100sccm(圧力18Pa)
・エッチング時間 10秒から70秒(10秒ステップ)
・レーザ送りピッチ 0.2μm
・線速 5m/s
・記録信号 25MHz(デューティ比20%)の方形波
・レーザ出力 3.5mW
・投入電力 50W
・O2ガス流量 100sccm(圧力18Pa)
・エッチング時間 40秒から50秒(2秒ステップ)、60秒
・投入電力 150W
・SF6ガス圧力 10Pa
・エッチング時間 10秒
・投入電力 180W
・O2ガス流量 100sccm(圧力18Pa)
・エッチング時間40秒
11:基板
12:フォトレジスト層
13:穴部
14:凹部
15:金属層
Claims (16)
- 基板上にヒートモードの形状変化が可能な有機色素からなるフォトレジスト層を形成する工程と、
前記フォトレジスト層にレーザ光を照射し、前記フォトレジスト層の前記レーザ光が照射された部分に穴部を形成する工程と、
前記穴部を形成する工程に後続して、真空中で所定のガスを用いて前記フォトレジスト層をエッチングする工程とを有することを特徴とするパタン形成方法。 - 前記エッチングを行う工程におけるエッチング量が、前記穴部における前記フォトレジスト層の厚みに応じて決定されるものであることを特徴とする請求項1に記載のパタン形成方法。
- 前記穴部における前記フォトレジスト層の厚みを計測する工程を更に有し、該計測する工程で計測した厚みに基づいて前記エッチング量が決定されるものであることを特徴とする請求項2に記載のパタン形成方法。
- 前記計測する工程において、前記穴部における前記フォトレジスト層の厚みを複数の測定ポイントで計測し、該計測した複数の測定ポイントにおける前記フォトレジスト層の厚みの平均値を求め、該求めた平均値に基づいて前記エッチング量が決定されるものであることを特徴とする請求項3に記載のパタン形成方法。
- 前記エッチング量が、前記平均値の1.05倍以上の値に決定されることを特徴とする請求項4に記載のパタン形成方法。
- 前記エッチング量が、前記平均値の1.2倍以上の値に決定されることを特徴とする請求項4に記載のパタン形成方法。
- 前記計測する工程において、更に、前記複数の測定ポイントで計測された前記フォトレジスト層の厚みの最大値と最小値との差に基づいて残膜ばらつきを求め、前記平均値と前記残膜ばらつきとに基づいて前記エッチング量が決定されるものであることを特徴とする請求項4に記載のパタン形成方法。
- 前記計測する工程において、前記穴部における前記フォトレジスト層の厚みを複数の測定ポイントで計測し、該計測した複数の測定ポイントにおける前記フォトレジスト層の厚みの最大値に基づいて前記エッチング量が決定されるものであることを特徴とする請求項3に記載のパタン形成方法。
- 前記基板がSi基板であり、前記所定のガスがO2を含むガスであることを特徴とする請求項1から8何れかに記載のパタン形成方法。
- 前記フォトレジスト層をエッチングする工程において、前記穴部が形成される際に前記フォトレジスト層にレーザ光が照射されることで生じた異物を除去するものであることを特徴とする請求項1から9何れかに記載のパタン形成方法。
- 基板上にヒートモードの形状変化が可能な有機色素からなるフォトレジスト層を形成する工程と、
前記フォトレジスト層にレーザ光を照射し、前記フォトレジスト層の前記レーザ光が照射された部分に穴部を形成する工程と、
前記穴部の形成後、真空中で所定のガスを用いて前記フォトレジスト層をエッチングし、前記穴部において基板表面を露出させる工程と、
前記基板表面を露出させる工程に後続して、前記フォトレジスト層をマスクとしてプラズマエッチングを行い、前記基板表面に凹凸パタンを形成する工程とを有することを特徴とする凹凸パタンを有する基板製造。 - 前記基板表面に凹凸パタンを形成する工程に後続して、真空中で所定のガスを用いて前記フォトレジスト層をエッチングし、前記基板上の前記フォトレジスト層を除去する工程を更に有することを特徴とする請求項11に記載の凹凸パタンを有する基板製造方法。
- 前記基板がSi基板であり、前記基板表面に凹凸パタンを形成する工程において、SF6を含むガスを用いてプラズマエッチングを行うものであることを特徴とする請求項11又は12に記載の基板製造方法。
- 基板上にヒートモードの形状変化が可能な有機色素からなるフォトレジスト層を形成し、フォトレジスト構成体を作製する工程と、
前記フォトレジスト構成体の前記フォトレジスト層側の面にレーザ光を照射し、前記フォトレジスト層の前記レーザ光が照射された部分に穴部を形成する工程と、
前記穴部の形成後、真空中で所定のガスを用いて前記フォトレジスト構成体の前記フォトレジスト層側の面をエッチングし、前記穴部が形成される際に前記フォトレジスト層にレーザ光が照射されることで生じた異物を除去する工程と、
前記フォトレジスト層をエッチングする工程の後に、前記フォトレジスト構成体を原盤として用い、該原盤上に形成された凹凸パタンをモールドに転写する工程とを有することを特徴とするモールド製造方法。 - 前記フォトレジスト層をエッチングする工程で前記穴部において基板表面を露出させ、前記フォトレジスト層をエッチングする工程と前記凹凸パタンを転写する工程との間に、前記フォトレジスト層をマスクとしてプラズマエッチングを行い、前記基板表面に凹凸パタンを形成する工程を更に有することを特徴とする請求項14に記載のモールド製造方法。
- 前記基板表面に凹凸パタンを形成する工程と前記凹凸パタンを転写する工程との間に、真空中で所定のガスを用いて前記フォトレジスト層をエッチングし、前記基板上の前記フォトレジスト層を除去する工程を更に有することを特徴とする請求項15に記載のモールド製造方法。
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