JP2012067760A - 冷却媒体回路を備えたねじ型真空ポンプ - Google Patents

Abstract

【課題】有効な冷却を実施することができ、ポンプを簡単かつコンパクトにしかも安価に製造することができる、冷却媒体回路を備えたねじ型真空ポンプを提供する。
【解決手段】軸７，８の吸込み側端部が、ロータ３，４の圧力側端部と接続され、ロータ３，４の中空室３１内において、ロータと共に回転する軸７，８に設けられたガイド部材６２が、冷却媒体によって貫流されるリング間隙区分を冷却間隙３２として形成し、各冷却間隙３２がガイド部材６２とロータ中空室３１の各内壁との間、及びロータ３，４の吸込み側と圧力側との間において延び、冷却間隙への冷却媒体の供給が、軸及びガイド部材を貫通していて互いに隔てられた供給管路と排出管路とを介して行われ、気泡もしくはキャビテーションのない冷却間隙における貫流を保証する手段が設けられ、冷却媒体を排出するために働く管路が、伝動装置室１６に開口している。
【選択図】図７ａ

Description

本発明は、ねじ型真空ポンプであって、２つの軸と、該軸に固定された２つのロータとが設けられており、両ロータがそれぞれ、冷却媒体流を案内するための装置を備えた各１つの中央の中空室を有している形式のものに関する。

このような形式のねじ型真空ポンプは、ドイツ連邦共和国特許公開第１９７４５６１６号明細書、同第１９７４８３８５号明細書及び第１９８００８２５号明細書に基づいて公知である。このようなねじ型真空ポンプは乾式（圧縮室内における潤滑剤又は冷却媒体なし）で運転されるので、主として圧送されるガスの圧縮に起因して運転中に発生する熱を、排出するという問題がある。

ドイツ連邦共和国特許公開第１９７４５６１６号明細書に基づいて公知の、片持ち式にロータ支承されたねじ型真空ポンプでは、ロータ及び軸は、軸受側に向かって開放した盲孔を備えている。そして孔内には、ケーシング固定の中央の冷却管が突入しており、この冷却管は軸受側において孔から外に延びていて、ロータ側において盲孔の端部の直前で開口している。冷却媒体ポンプを用いて冷却媒体は中央の管を通して孔内に送られる。冷却媒体は固定の冷却管と盲孔の回転する内壁との間におけるリング室を介して戻される。軸及びロータにおける孔の直径は比較的小さいので、冷却媒体によって貫流される面積も同様に小さい。さらにケーシング固定のロータと回転する中空室壁との間においては、剪断力が発生し、このような剪断力によって冷却媒体においては、不都合な摩擦ひいては温度上昇が生ぜしめられる。このような理由から所望のロータ冷却の効果は制限されてしまう。

ドイツ連邦共和国特許公開第１９７４８３８５号明細書には２つの冷却方法が開示されている。第１の解決策では各ロータに、片側において開放している中空室が設けられていて、この中空室内に冷却媒体が噴射されるようになっている。回転に基づいて、ロータの内壁には膜が形成され、この膜は中空室開口へと戻される。このような形式の膜冷却では、膜が断裂して所望の冷却が中断されてしまうというおそれがある。そこで、ロータに設けられた中空室における冷却媒体の滞在時間ひいては熱吸収に対して影響を与えるために、ロータ中空室に円錐形の区分を設けることが提案されている。流れの搬送を助成するこのような円錐形の区分では、しかしながら冷却媒体流の断裂のおそれはさらに高まってしまう。結局膜冷却には普遍的な欠点、すなわち、壁近傍の膜の層領域は壁から離れた層領域に比べて著しくゆっくりと流れる、固定した流れパターンが形成されるという欠点が存在する。壁近傍の領域はこれによって、熱の排出を阻止する断熱層を形成することになる。このような欠点を排除するために、流れに対する障害物、つまり流れバリアを設けて、固定した流れパターンを乱流によって中断するということが、提案された。これによって壁近傍の膜の層領域と壁から離れた層領域との間において、熱交換を行うことができる。しかしながらこのような流れバリアを取り付けることは面倒かつ高価であり、しかも全体として冷却媒体の流速を遅くすることになる。

ドイツ連邦共和国特許公開第１９８２０５２３号明細書には、上に述べた方法に似た冷却系が開示されている。この公知の冷却系では、冷却されたオイルが中空の軸部分内に噴射されるようになっている。冷却媒体は遠心力の作用によって外側に向かって、流出側に向かって円錐形に拡がっている中空室の内壁に達する。

ドイツ連邦共和国特許公開第１９７４８３８５号明細書に開示された別の構成では、冷却媒体はロータ軸と、ロータ中空室内に延びている軸受台との間におけるリング間隙を貫流する。このような形式の冷却媒体の流れは、ロータ自体の冷却に対してはほとんど影響を与えない。

ドイツ連邦共和国特許公開第１９８００８２５号明細書には、連続的に中空のロータを備えたねじ型スピンドルポンプ（Schraubenspindelpumpe）が開示されている。この場合複数の中空室に対して常に冷却兼潤滑剤が供給・排出される。冷却媒体の排出側に配置された軸受に関しては、運動学的な逆転が実現されており、つまりこの場合軸受は位置固定の内レースと回転する外レースとを有している。中空室は円錐形に（流れ方向において拡大するように）形成されているか又は搬送雌ねじ山を有している。このような形式のねじ型スピンドルポンプでは、高い回転数もしくは周速度を必要とする冷却膜が形成される。この公知の構成においても、既に述べた冷却膜の裂断のおそれがある。従って両ロータに対して冷却媒体量を均一に分配するための監視装置は、絶対に設けることが望ましい。また、効果的な冷却を達成するために、膜に乱流を生ぜしめるという既に述べた必要もある。さらにまた、円錐形の中空室を備えたロータの構成には、数々の欠点がある。すなわちこの場合、円錐形の中空室は困難を伴ってしか製造することができない。圧力側における片持ち式の支承形態及びロータの吸込み側における冷却媒体の供給形態では、軸受から離れている領域におけるロータ質量が大きくなってしまう。従って圧力側における片持ち式の支承装置の構成は、面倒かつ高価である。最後にまた、冷却媒体が圧力側において比較的大きく外側に（大きな半径方向間隔をもって）排出されねばならないという事実は、構成の可能性を制限してしまう。

ドイツ連邦共和国特許公開第１９８００８２５号明細書に開示されたさらに別の構成では、ロータがそれぞれ片持ち式に１つの軸基部（Wellenstumpf）に支承されていて、この軸基部は軸受側だけにおいて開放したロータ中空室内に突入している。上に述べた種々の欠点はこの公知の構成に対しても同様に当て嵌まる。

上に述べたすべての冷却系にはさらにまた、冷却が向流で行われないという欠点がある。冷却媒体はそれぞれロータの吸込み側に供給され、ポンプにおける熱発生によってより強く負荷される圧力側には供給されない。

ドイツ連邦共和国特許公開第１９７４５６１６号明細書 ドイツ連邦共和国特許公開第１９７４８３８５号明細書 ドイツ連邦共和国特許公開第１９８００８２５号明細書 ドイツ連邦共和国特許公開第１９８２０５２３号明細書

ゆえに本発明の課題は、冒頭に述べた形式のポンプを改良して、有効な冷却を実施することができ、しかもポンプを簡単かつコンパクトにしかも安価に製造することができるようにする。

この課題は本発明によれば請求項の記載によって解決されている。

冷却媒体が、回転する系における比較的狭い有利には円筒形の間隙を十分な速度をもって貫流するようになっている本発明による冷却装置は、驚くほど良好な冷却効果を有しており、特にリング間隙を大きく外方に向かって、つまりロータプロフィールの基底部いわば歯底円（Fusskreis）の直ぐ近くに配置することができる。また冷却媒体は噴射されないので、冷却効果を中断する中空室は存在しない。さらに別の利点としては次のことが挙げられる。すなわち本発明では、冷却媒体流の方向を任意に選択することができるので、冷却を向流で行うことに何ら問題がない。これによって温度管理を簡単に均一化することができるので、圧力側及び吸込み側において狭いロータ・ケーシング間隙を維持することが可能である。

リング間隙の深さの選択に関して言えば、間隙の深さは比較的浅いことが望ましく、例えば０.２〜５ｍｍ、有利には０.５〜２ｍｍであり、この場合間隙深さは、例えば真空ポンプにおいて通常使用されるのはオイルであるが、使用される冷却媒体によっても関連している。壁近傍における両境界層の間隔が比較的小さいと、両境界層が相互に乱流的な影響を与え合うということは、明らかである。境界層からの影響を受けずかつ境界層を互いに隔てていて熱伝導を阻止する層流は、まったく存在しないか、又は無視できるほど小さな厚さを有している。

ロータの有効な冷却を達成するために、冷却媒体の速度は（冷却媒体の種類にも関係するが）十分に高くなくてはならない。冷却オイルの場合には、流速が０.１〜１ｍ／ｓ、有利には０.３〜０.７ｍ／ｓの値であると有利なことが分かっている。遠心ポンプ、歯車ポンプ又はこれに類したポンプであれ、公知のオイルフィードポンプによって、必要な圧力差を生ぜしめることができる。

片持ち式に支承されたロータを備えたねじ型真空ポンプを示す断面図である。 両側において支承されたロータを備えたねじ型真空ポンプを示す断面図である。 ロータ軸における中央の中空室を通して冷却間隙に冷却媒体を別個に供給・排出するように構成されたねじ型真空ポンプの両ロータのうちの１つを示す断面図である。 別の実施例によるロータを示す断面図である。 さらに別の実施例によるロータを示す断面図である。 外方に向かって冷却間隙を移動させる手段を備えたロータを示す断面図である。 ロータ中空室内において軸とは無関係な部材が冷却間隙を制限している実施例を示す縦断面図である。 ロータ中空室内において軸とは無関係な部材が冷却間隙を制限している実施例を示す横断面図である。 ロータ中空室内において軸とは無関係な部材が冷却間隙を制限している実施例を示す斜視図である。 ２つの区分から成るロータを備えた実施例を示す断面図である。

次に図面に示された実施例を参照しながら本発明を詳説する。

図１に示されたねじ型真空ポンプ（Schraubenvakuumpumpe）１は、ロータ３，４を備えた圧縮室ケーシング（Schoepfraumgehaeuse）２を有している。ポンプ１の入口５及び出口６は矢印によって略示されている。ロータ３，４は軸７；８に固定されていて、これらの軸７，８はそれぞれ片持ち式に２つの軸受１１，１２；１３，１４に支持されている。第１の軸受対１１，１３は軸受プレート１５に位置しており、この軸受プレート１５は潤滑剤のない圧縮室を、伝動装置室１６から切り離している。伝動装置室１６のケーシング１７内には、軸７，８に取り付けられた同期歯車１８，１９と、ポンプ１を駆動するために働く歯車対２１，２２が設けられており、両歯車対２１，２２のうちの１つは、ポンプ１のそばに鉛直方向に配置された駆動モータ２３の軸と連結されている。さらに伝動装置室はオイル溜２０の機能を果たす。軸７，８の第２の軸受対１２，１４は孔２４，２５内に配置されており、これらの孔２４，２５は伝動装置ケーシング１７の底部を貫通している。軸７，８は孔２４，２５を貫通していて、オイルを収容する室２６内において終わっており、この室２６はケーシング１７と該ケーシング１７に固定されたパン２７とによって形成される。

図１から分かるように、ロータ３，４はそれぞれ中空室３１を有しており、この中空室３１内に軸８が延びていて、中空室３１内に本発明による冷却間隙３２が設けられている。ロータ４だけが部分的に断面されて示されているので、本発明についてはこのロータ４だけを参照して述べる。

図１に示された実施例では、リング間隙区分３２は直接、軸８（もしくは７）とロータ４（もしくは３）との間に配置されている。そのためにロータ中空室３１の円筒形の内壁は、その中央領域に旋削部３３を備えており、この旋削部３３の深さは冷却間隙３２の深さに相当している。吸込み側及び圧力側（もしくは吐出側）において、軸８は中空室３１の内壁に密につまりシール作用をもって接触している。付加的に軸８はこの領域に、冷却間隙３２を圧縮室から密に隔てることを保証するシールリング３７，３８のための溝３５，３６を備えている。

冷却間隙３２への冷却媒体の供給は、軸８を介して行われる。この軸８には第１の孔４１が設けられていて、この孔４１は軸８の下端部から冷却間隙３２の圧力側端部にまで延びている。横孔４２を介して孔４１は、冷却間隙３２と接続されている。孔４１，４２を介して冷却間隙３２への冷却媒体の供給が行われる。冷却媒体は、冷却間隙３２を圧力側からロータ４の吸込み側に貫流する。排出すべき熱は基本的にはロータ４の圧力側において発生するので、ロータ４は向流において冷却される。

冷却媒体の排出のためには、軸８における第２の孔４３が働く。この第２の孔４３は冷却間隙３２の吸込み側から伝動装置室１６の高さにまで延びている。横孔４４，４５はそれぞれ孔を冷却間隙３２もしくは伝動装置室１６と接続している。

ロータ３，４の確実な冷却は、冷却媒体が比較的狭い冷却間隙３２を比較的速くかつ障害なしに（キャビテーション及び汚染物なしに）貫流する場合に、達成される。従って、十分な吐出力のためには、冷却媒体を冷却するのみならず、濾過すると有利である。そのために図１に示された実施例では、伝動装置室１６もしくはオイル溜２０は管路５１を介して室２６と接続されており、この管路５１内には冷却装置５２及びフィルタ５３の他に、例えば歯車ポンプとして形成されたオイルポンプ５４が設けられている。このオイルポンプ５４は冷却媒体を必要な圧力でキャビテーションなしに室２６から孔４１内に送り込むために働く。

オイルポンプ（遠心ポンプ、歯車ポンプ）を、軸７，８の下端部の領域に配置することも可能である。しかしながらこの場合オイルポンプは、所望の圧送特性に対する要求を満たすことができるように形成されていなくてはならない。

図２に示された構成では、ロータ３，４の軸７，８は両側において、つまり軸受プレート１５（軸受１１，１３）と圧縮室ケーシング２（軸受１２，１４）とにおいて支承されている。軸７，８の下端部は伝動装置室１６において終わっている。

軸７，８の両側における支承に基づいて、冷却媒体を吸込み側において供給することが、簡単に可能である。そのために軸は吸込み側に、有利には中心に位置する盲孔５５を備えており、この盲孔５５は冷却間隙３２の吸込み側端部にまで延びている。横孔５６を介して孔５５は冷却間隙３２と接続されている。圧力側に軸７，８は盲孔５７を備えており、この盲孔５７は間隙３２の圧力側端部にまで延びていて、この間隙３２と横孔５８を介して接続されている。

盲孔５５に冷却媒体を供給するために、盲孔５５は管路５１と接続されており、この管路５１はオイル溜２０に接続されており、さらに管路５１内にはオイルポンプ５４、フィルタ５３及び冷却装置５２が設けられている。記載の構成では冷却間隙３２は吸込み側から圧力側に向かって冷却媒体によって貫流される。

ロータ４及び軸９だけが示されている図３の実施例は、冷却間隙３２に対する冷却媒体の供給・排出の別の可能性を示している。この場合軸８には、圧力側に向かって開放していて冷却間隙３２の吸込み側端部を越えるまで延びている中心の盲孔が設けられている。この盲孔は中空室６１を形成しており、この中空室６１内には、冷却媒体用のガイド部材６２が設けられている。ガイド部材６２は軸８の下端部から冷却間隙３２の圧力側端部を越えるまで延びている。冷却媒体の供給はガイド部材６２における長手方向孔６３を介して行われ、この長手方向孔６３は互いに整合する横孔６４を介して、部材６２及び軸８を通して、冷却間隙３２の圧力側端部と接続されている。冷却間隙３２の吸込み側端部の高さに軸８は、単数又は複数の横孔６６を備えており、このもしくはこれらの横孔６６は、ガイド部材６２の端面と盲孔６１とによって形成された室に開口する。この室は（ガイド部材６２における）長手方向孔６８と（軸８における）互いに整合する横孔６９とを介して、伝動装置室１６（図３には示されていない）と接続されている。

図４に示された実施例ではガイド部材６２は３つの区分７１，７２，７３を有しており、これらの区分７１，７２，７３は軸８における中空室６１を、３つの部分室７４，７５，７６に分割しており、これらの部分室７４，７５，７６はそれぞれ横孔６９，６４，６６の高さに位置している。区分７１，７２，７３における適宜な孔と、これらの孔を互いに接続する管路区分７７，７８とによって、冷却間隙に対する冷却媒体の供給・排出を別個に実施することができる。この場合互いに整合する必要のある孔が存在しないことに基づいて、ガイド部材の取付けもしくは組込みは容易である。そして向流冷却を簡単に実現することができる。

図５に示された構成では冷却媒体の供給は、図３及び図４に示された構成とは異なり、ガイド部材６２における中心の孔８１によって行われる。冷却媒体は、盲孔とガイド部材６２とによって形成された中空室６１から横孔６６を介して冷却間隙３２内に達する。出口孔６４は、ガイド部材６２における側部の長手方向溝又は旋削されたリング室８２と接続されている。長手方向溝又はリング室８２は、伝動装置室１６の高さまで延びていて、そこで横孔６９と接続されている。 図６に示された構成が、上に述べた構成と異なっている点は、軸８とロータ４とが連続的に穿孔されていることである。中空室３１を形成するために、吸込み側に配置されたカバー８５が設けられており、このカバー８５はねじ８６を介して、ガイド部材６２と結合されている。ガイド部材６２は吸込み側から堅固に挿入されている。ガイド部材６２はねじ８６及びカバー８５と一緒に、ロータ４の軸方向固定のために働く。軸８には外側のスリーブ８７が設けられており、このスリーブ８７はロータ４と一緒に冷却間隙３２を形成し、この冷却間隙３２は、図示の構成ではほぼロータ４の圧力側の高さにおいてしか延びていない。半径方向で外方に向かって冷却間隙３２が設けられていることによって、冷却作用が改善される。冷却媒体の供給は、ガイド部材６２における旋削部８８の比較的短い区分だけを介して、行われる。冷却媒体が旋削部８８内に進入する前に、冷却媒体は軸受プレート１５における孔８９，９０と滑りリングシール部材９３の軸受側の室９２を貫流し、そこで必要な遮断圧（Sperrdruck）を形成する。冷却媒体の戻しは、ガイド部材６２もしくは軸８における中央の孔８１を介して行われる。

図７ａ及び図７ｂに示された実施例では、軸８はロータ中空室３１内にまでは延びていない。軸８は圧力側の高さにおいてロータ４と結合されている。ガイド部材６２はロータ中空室３１内に、直径を増大された区分９４を有しており、この区分９４はロータ４の内壁と一緒に冷却間隙３２を形成している。区分９４に対して小さな直径を有している第２の区分９５は、軸８における孔６１を貫通している。

熱的な理由から一方では、孔６１の開放した側からガイド部材６２における中央の孔８１を介した冷却媒体の供給を可能にするため、及び他方においては向流におけるロータの冷却を可能にするために、ガイド部材６２は冷却媒体流と交差している。これは、ガイド部材６２における外側の溝区分及び横孔を介して行われ、これらの横孔及び外側の溝区分の構成については以下において述べる（図７ａ、図７ｂ及び図８参照）。

盲孔８１を介して中央において供給される冷却媒体は、横孔９８を介して互いに向かい合っている２つの溝区分９９に達し、さらに中空室３１（圧力側）にまで達する。その後で冷却媒体は冷却間隙３２を貫流し、横孔６６を介して、ガイド部材の中央に設けられた管路区分１０１に達する。この管路区分１０１は、第１の横孔９８に対して吸込み側に設けられた第２の横孔１０２まで延びている。両横孔９８，１０２は互いにほぼ垂直に方向付けられている。横孔１０２は互いに向かい合っている溝区分１０３に開口しており、両溝区分１０３は溝区分９９に対してほぼ９０°ずらされている。これによって、戻る冷却媒体をこれらの溝区分１０３を通して伝動装置室１６の領域における横孔６９にまで案内することが可能になる。

図９に示された実施例ではロータ４は、ねじの螺条の異なった構成と各１つの中空室３１′；３１′′とを備えた２つの区分４′，４′′を有している。軸８は圧力側のロータ区分４′′の中空室３１′′内にまで延びていて、これによって冷却間隙３２′′を形成している。ガイド部材６２は図７及び図８に示された構成におけると同様に構成されている。そしてガイド部材６２は増大された直径をもつ区分９４を有しており、この区分９４はロータ区分４′の中空室３１′内に位置していて、このロータ区分４′の内壁と一緒に冷却間隙３２′を形成している。小さな直径を有するガイド部材６２の別の区分９５は、軸８における中央の孔６１を貫通している。ガイド部材６２は、ロータ４の吸込み側にまで延びる中央の孔８１を備えている。

図面を簡単化しかつ見易くするために図示の実施例では、冷却媒体は中央の孔８１を介して供給され、区分９４における側部の孔６４′を介して吸込み側において冷却間隙３２′に流入する。旋削部６６′，１０５を介して（又は長手方向溝をも介して）かつ横孔６４′を介して、冷却間隙３２′の圧力側端部は、冷却間隙３２′′の吸込み側端部と接続されており、その結果両冷却間隙３２′，３２′′は相前後して冷却媒体によって貫流される。別の旋削部１０６を介して冷却間隙３２′′の圧力側の流出開口６６′′は伝動装置室１６の高さで流出開口６９と接続されている。この実施例においても、ガイド部材６２は同時に抗張部材（Zuganker）として使用すること、つまりを固定するために使用することが可能である。

もちろん図９の実施例においても、冷却媒体の供給管路及び排出管路を、冷却間隙３２′，３２′′に冷却媒体が別個にかつ／又は向流で供給されるように、構成することが可能である。

図７〜図９に示された実施例は特に、ロータ３，４が片持ち式に支承されていると、有利である。それというのは、このようになっていると、ガイド部材６２を、例えばプラスチックのような軽い材料から製造することができるからである。これによってロータの軸受から離れて位置している質量を小さく保つことができる。プラスチック又はこれに類した材料の使用には一般的に次のような利点、すなわち流入する冷却媒体と流出する冷却媒体との間に、熱伝導率の低い材料が存在するという利点がある。

１ ねじ型真空ポンプ、 ３，４ ロータ、 ４′，４′′ ロータ区分、 ５ 入口、 ６ 出口、 ７，８ 軸、 １１，１２，１３，１４ 軸受、 １５ 軸受プレート、 １６ 伝動装置室、 １７ ケーシング、 １８，１９ 同期歯車、 ２０ オイル溜、 ２１，２２ 歯車対、 ２３ 駆動モータ、 ２４，２５ 孔、 ２６ 室、 ２７ パン、 ３１，３１′，３１′′ 中間室、 ３２，３２′，３２′′ 冷却間隙、 ３３ 旋削部、 ３５，３６ 溝、 ３７，３８ シールリング、 ４１ 孔、 ４２ 横孔、 ４４，４５ 横孔、 ５１ 管路、 ５２ 冷却装置、 ５３ フィルタ、 ５４ オイルポンプ、 ５５，５７ 盲孔、 ５８ 横孔、 ６１ 中空室、 ６２ ガイド部材、 ６３ 長手方向孔、 ６４，６４′，６６ 横孔、 ６８ 長手方向孔、 ６９ 流出開口、 ７１，７２，７３ 区分、 ７４，７５，７６ 部分室、 ７７，７８ 管路区分、 ８１ 孔、 ８２ リング室、 ８５ カバー、 ８６ ねじ、 ８７ スリーブ、 ８８ 旋削部、 ８９，９０ 孔、 ９２ 室、 ９３ シール部材、 ９４ 区分、 ９５ 区分、 ９８，１０２ 横孔、 １０１ 管路区分、 １０３ 溝区分、 １０６ 旋削部

Claims (6)

1. ねじ型真空ポンプ（１）であって、軸（７，８）と、該軸に固定された２つのロータ（３，４）とが設けられており、両ロータがそれぞれ、冷却媒体を案内するための装置を備えた各１つの中央の中空室（３１）を有している形式のものにおいて、軸（７，８）の吸込み側端部が、ロータ（３，４）の圧力側端部と接続されており、ロータ（３，４）の中空室（３１）内において、該ロータと共に回転する軸（７，８）に設けられたガイド部材（６２）が、冷却媒体によって貫流される比較的狭いリング間隙区分を冷却間隙（３２）として形成しており、各冷却間隙（３２）がガイド部材（６２）とロータ中空室（３１）の各内壁との間、及びロータ（３，４）の吸込み側と圧力側との間において延びており、冷却間隙（３２）への冷却媒体の供給が、軸（７，８）及びガイド部材（６２）を貫通していて互いに隔てられた供給管路と排出管路とを介して行われ、気泡もしくはキャビテーションのない冷却間隙（３２）における貫流を保証する手段が設けられており、冷却間隙（３２）が円筒形に形成されていて、該冷却間隙の深さが、０.２〜５ｍｍ、有利には０.５〜２ｍｍであり、冷却媒体を搬送する手段が設けられていて、該手段は、冷却媒体が０.１〜１ｍ／ｓ、有利には０.３〜０.７ｍ／ｓの速度で間隙を貫流するように設計されており、さらに流れ方向は、冷却媒体が圧力側から吸込み側に向かって流れるように選択されていることを特徴とする、冷却媒体回路を備えたねじ型真空ポンプ。
2. ガイド部材（６２）が軽い材料、有利にはプラスチックから成っている、請求項１記載のねじ型真空ポンプ。
3. 冷却間隙（３２）が旋削部（３３）によって、冷却間隙（３２）を制限する部材に形成される、請求項１又は２記載のねじ型真空ポンプ。
4. ロータ（３，４）が穿孔されており、ガイド部材（６２）が、軸（７，８）にロータ（３，４）を固定するための抗張部材の機能を有している、請求項１から３までのいずれか１項記載のねじ型真空ポンプ。
5. ロータ（３，４）が２つの区分（４′，４′′）から成っており、各区分のためにそれぞれ冷却間隙（３２′，３２′′）が設けられている、請求項１から４までのいずれか１項記載のねじ型真空ポンプ。
6. 軸（７，８）がロータ（４）の圧力側の区分（４′′）を貫通しており、吸込み側の区分（４′）がガイド部材（６２）と結合されており、ガイド部材（６２）が、吸込み側のロータ区分（４′）の中空室内にまで延びていて、冷却間隙（３２′）を制限している、請求項５記載のねじ型真空ポンプ。

Images