JP2012054328A - ダイボンド方法及びダイボンド用治具 - Google Patents
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Abstract
【課題】半田箔の加工や配置に係り設備費をコストアップさせることなく、半田箔を使用して電子部品を基板に好適に接合すること。
【解決手段】基板2に、その板厚方向に貫通する複数の通り孔2cと、上面に位置するバンプ7を予め形成しておく。基板2の上面側にて、バンプ7に対し電子部品3をバンプ8により接続し、基板2を治具1にて水平に支持する。水平に支持された基板2の下面に半田箔6を密着させて配置すると共に、半田箔6を伝熱板12により基板2へ向けて押圧する。そして、押圧された半田箔6に伝熱板12を介して熱を加えることにより、半田箔6を溶融させ、その溶融した半田を複数の通り孔2cを介して基板2の上面側へ押し上げて基板2と電子部品3との間に流動させて拡げる。その後、拡げられた半田を冷やすことにより、電子部品3と基板2を半田により接合する。
【選択図】 図3
【解決手段】基板2に、その板厚方向に貫通する複数の通り孔2cと、上面に位置するバンプ7を予め形成しておく。基板2の上面側にて、バンプ7に対し電子部品3をバンプ8により接続し、基板2を治具1にて水平に支持する。水平に支持された基板2の下面に半田箔6を密着させて配置すると共に、半田箔6を伝熱板12により基板2へ向けて押圧する。そして、押圧された半田箔6に伝熱板12を介して熱を加えることにより、半田箔6を溶融させ、その溶融した半田を複数の通り孔2cを介して基板2の上面側へ押し上げて基板2と電子部品3との間に流動させて拡げる。その後、拡げられた半田を冷やすことにより、電子部品3と基板2を半田により接合する。
【選択図】 図3
Description
この発明は、基板上に電子部品をリフロー半田付けにより接合するダイボンド方法及びダイボンド用治具に関する。
従来より、半導体チップ等の電子部品をリードフレーム等の基板上にリフロー半田付けにより接合する以下の方法が知られている。すなわち、例えば、図9に示すように、基板31上に形成されたバンプ32に対して電子部品33をバンプ34により接続すると共に、その接続部分以外につき電子部品33と基板31とを半田箔35をリフロー処理により溶融させて接合する方法である。
一方、下記の特許文献1及び2には、半導体素子と回路基板を半田シート(半田箔)により接合する際、治具を使用してコイルばねや錘などで半導体素子を回路基板側に押し付けながら半田シートにリフロー処理を施すことが記載されている。
従って、図9に示す接合方法についても、半田箔35にリフロー処理を施す際には、特許文献1及び2に示すような治具を使用することが考えられる。
ところが、図9に示すように、半田箔35をリフロー処理により溶融させて電子部品33を基板31に接合するためには、電子部品33のバンプ34の配置と整合させて、半田箔35に予め孔35aをあけておく必要がある。また、バンプ34の配置は、電子部品33の種類の違いによって異なる。このため、各種電子部品33により異なるパターンにより、半田箔35に複数の孔35aを精密にあける必要がある。そのため、高性能な孔あけ設備が必要となり、また、孔35aのあいた半田箔35を基板31上に精度良く配置できる設備が必要となり、設備費のコストアップにつながる懸念があった。
この発明は上記事情に鑑みてなされたものであって、その目的は、半田箔の加工や配置に係り設備費をコストアップさせることなく、孔のない半田箔を使用して電子部品を基板に好適に接合することを可能としたダイボンド方法及びダイボンド用治具を提供することにある。
上記目的を達成するために、請求項1に記載の発明のダイボンド方法は、基板に、その板厚方向に貫通する複数の通り孔を予め形成すると共に、その上面にバンプを予め形成しておき、基板の上面側にて、バンプに対し電子部品をバンプにより接続すると共に、基板を水平に支持し、水平に支持された基板の下面に半田箔を密着させて配置すると共に、半田箔を伝熱板により基板へ向けて押圧し、押圧された半田箔に伝熱板を介して熱を加えることにより、半田箔を溶融させ、その溶融した半田を複数の通り孔を介して基板の上面側へ押し上げて基板と電子部品との間に流動させて拡げ、拡げられた半田を冷やすことにより、電子部品と基板を半田により接合することを趣旨とする。
上記発明の構成によれば、基板の下面に密着させて配置された半田箔が、伝熱板により基板へ向けて押圧される。また、半田箔に伝熱板を介して熱が加えられることにより、半田箔が溶融し、その溶融した半田が基板の複数の通り孔を介して基板の上面側へ押し上げられ、基板と電子部品との間に流動して拡がる。その後、拡げられた半田を冷やすことにより、電子部品と基板が半田により接合される。従って、従来例とは異なり、バンプ等の配置に整合した孔を予め半田箔にあける必要がなく、孔のあいた半田箔を電子部品と基板との間に精密に配置する必要がない。
上記目的を達成するために、請求項2に記載の発明は、請求項1に記載のダイボンド方法に使用されるダイボンド用治具であって、基板を水平に支持するためのベースフレームと、水平に支持された基板の下面に対向可能に配置されると共に、ベースフレームに対して移動可能に設けられ、基板との対向面上に半田箔が載置され、外部から熱が加えられる伝熱板と、伝熱板を、水平に支持された基板へ向けて付勢するための付勢手段とを備えたことを趣旨とする。
上記発明の構成によれば、基板がベースフレームにより水平に支持される。伝熱板の、基板との対向面上に半田箔が載置される。また、付勢手段を機能させることにより、伝熱板が基板へ向けて付勢され、半田箔が伝熱板により基板へ向けて押圧され、これによって基板の下面に半田箔が密着して配置される。また、伝熱板に熱を加えることにより、伝熱板を介して半田箔に熱が加えられる。
上記目的を達成するために、請求項3に記載の発明は、請求項2に記載の発明において、基板に形成される各通り孔は、その内周面が基板の上面側へ向けて広がるテーパをなすことを趣旨とする。
上記発明の構成によれば、請求項2に記載の発明の作用に加え、各通り孔に入った溶融した半田が、基板の上面側へ向けて流れ易くなる。
上記目的を達成するために、請求項4に記載の発明は、請求項2に記載の発明において、基板に形成される各通り孔は、その内周面が基板の下面側へ向けて広がるテーパをなすことを趣旨とする。
上記発明の構成によれば、請求項2に記載の発明の作用に加え、溶融して伝熱板により押し上げられる半田が各通り孔へ入り易くなる。
上記目的を達成するために、請求項5に記載の発明は、請求項2に記載の発明において、付勢手段は、伝熱板を構成する磁性体と、基板上に配置され、伝熱板に磁力を付与するための磁石とを含むことを趣旨とする。
上記発明の構成によれば、請求項2に記載の発明の作用に加え、基板上に配置された磁石により、伝熱板に磁力が付与されることにより、水平に支持された基板へ向けて伝熱板が付勢され、半田箔が基板へ向けて押し上げられる。また、基板に磁石を近付けることにより、伝熱板へ磁力が速やかに付与され、磁石を基板から遠ざけることにより、伝熱板への磁力の付与が速やかに解除される。
請求項1に記載の発明によれば、半田箔の加工や配置に係り設備費をコストアップさせることなく、孔のない半田箔を使用して電子部品を基板に好適に接合することができる。
請求項2に記載の発明によれば、請求項1に記載のダイボンド方法に対して有効に使用することができる。
請求項3に記載の発明によれば、請求項2に記載の発明の効果に加え、溶融した半田を基板と電子部品との間へ流動し易くすることができる。
請求項4に記載の発明によれば、請求項2に記載の発明の効果に加え、溶融した半田を各通り孔へ速やかに流動させることができる。
請求項5に記載の発明によれば、請求項2に記載の発明の効果に加え、伝熱板の上下動を容易に操作することができる。
以下、本発明におけるダイボンド方法及びダイボンド用治具を具体化した一実施形態につき図面を参照して詳細に説明する。
図1に、この実施形態のダイボンド用治具1を用いたダイボンド方法の構成を断面図により示す。図2に、図1に示す構成を分解して断面図により示す。この実施形態のダイボンド方法は、基板に相当するリードフレーム2の上面に電子部品に相当するパワー半導体3をリフロー処理により半田付けするために実施される。
図1,2に示すように、治具1は、リードフレーム2を水平に支持するためのベースフレーム11と、水平に支持されたリードフレーム2の下面側に対向可能に配置されると共に、ベースフレーム11に対して移動可能に設けられた伝熱板12と、その伝熱板12を、水平に支持されたリードフレーム2へ向けて付勢するための付勢手段とを備える。伝熱板12のリードフレーム2との対向面上には、半田箔6が載置されるようになっている。
ベースフレーム11は、平面視で、中央に空間13を有する略四角形をなしている。この実施形態で、リードフレーム2は、中心部分2aが外周部分2bよりも厚板に形成される。リードフレーム2は、その外周部分2bがベースフレーム11の上面に載置され、中心部分2aが空間13に整合して配置される。リードフレーム2は、その外周部分2bが複数のピン14によりベースフレーム11に対して位置決めされる。伝熱板12は、中央の空間13において、ベースフレーム11に支持された複数のガイドピン15に沿って上下方向へ移動可能に設けられる。このガイドピン15には、伝熱板12を下方へ、すなわち、伝熱板12をリードフレーム2から引き離す方向へ付勢するスプリング16が設けられる。伝熱板12は、板状の磁性体17をコアとし、その表裏両面がカーボン18により覆われて構成される。伝熱板12の上面側には、載置された半田箔6を囲うように堤部12aが形成される。この堤部12aは、半田箔6が熱で溶融したときに、その溶融した半田を伝熱板12の外へ流出させないように堰き止めるようになっている。
この実施形態で、上記した付勢手段は、伝熱板12を構成する磁性体17と、伝熱板12に磁力を付与するための磁石19とを含む。磁石19は、伝熱板12に磁力を付与するときに、リードフレーム2上に配置されるようになっている。磁石19は、永久磁石であっても電磁石であってもよい。
次に、この実施形態のダイボンド方法について説明する。図3に、ダイボンド方法の一工程に係る治具1等を断面図により示す。図4に、ダイボンド方法の一工程に係り、伝熱板12、半田箔6及びリードフレーム2等の関係を断面図により示す。図5に、ダイボンド方法の一工程に係る治具1等を断面図により示す。
このダイボンド方法を実施するために、図1,2に示すように、リードフレーム2の中心部分2aには、その板厚方向に貫通する複数の通り孔2cを予め形成しておく。これらの通り孔2cは、上下方向に通直に形成される。また、リードフレーム2の中心部分2aの上面には、複数のバンプ7を予め形成しておく。
そして、図1に示すように、リードフレーム2の上面側にて、バンプ7に対しパワー半導体3をバンプ8により予め接続しておく。この接続状態では、リードフレーム2とパワー半導体3との間に所定の隙間9が存在している。
次に、「セッティング工程」において、図1に示すように、リードフレーム2と半田箔6を治具1にセッティングする。すなわち、予めパワー半導体3がバンプ7及びバンプ8を介して接続されたリードフレーム2を、ベースフレーム11の上面に載置し、複数のピン14により位置決めする。また、伝熱板12の上面には、半田箔6を載置しておく。
次に、図3に示すように、磁石19をリードフレーム2の上に配置して付勢手段を機能させる。これにより、水平に支持されたリードフレーム2の下面に半田箔6を密着させて配置すると共に、半田箔6を伝熱板12によりリードフレーム2へ向けて押圧する。すなわち、リードフレーム2の上に磁石19を配置して磁性体17からなる伝熱板12に磁力を付与することにより、伝熱板12をスプリング16に抗してリードフレーム2へ向けて付勢するのである。
次に、「リフロー処理工程」では、上記のようにセッティングした治具1を、周知のリフロー半田付け装置(図示略)の中に投入する。この装置の中では、ハロゲンランプ21(図5参照)が発する赤外線により治具1の伝熱板12が加熱される。そして、伝熱板12により押圧された半田箔6に伝熱板12を介して熱を加えることにより、半田箔6を溶融させる。これにより、図4に矢印で示すように、溶融した半田6Aを複数の通り孔2cを介してリードフレーム2の上面側へ向けて押し上げ、最終的には、図5に示すように、リードフレーム2とパワー半導体3との間に流動させて拡げる。
次に、「冷却処理工程」では、図5に示すように拡げられた半田6Aを冷却することにより、パワー半導体3とリードフレーム2とを半田6Aにより接合する。
その後、治具1から磁石19とピン14を取り外すことにより、図6に断面図により示すように、パワー半導体3を半田付けにより実装したリードフレーム2が得られる。この状態では、図6からも分かるように、リードフレーム2の各通り孔2cが、半田6Aにより埋まったままとなっている。
上記したようにこの実施形態のダイボンド方法は、リードフレーム2に、その板厚方向に貫通する複数の通り孔2cを予め形成すると共に、その上面にバンプ7を予め形成しておく。そして、リードフレーム2の上面側にて、バンプ7に対しパワー半導体3をバンプ8により接続すると共に、リードフレーム2を水平に支持する。その後、水平に支持されたリードフレーム2の下面に半田箔6を密着させて配置すると共に、半田箔6を伝熱板12によりリードフレーム2へ向けて押圧し、押圧された半田箔6に伝熱板12を介して熱を加える。これにより、半田箔6を溶融させ、その溶融した半田6Aを複数の通り孔2cを介してリードフレーム2の上面側へ押し上げてリードフレーム2とパワー半導体3との隙間9に流動させて拡げる。そして、拡げられた半田6Aを冷やすことにより、パワー半導体3とリードフレーム2を半田6Aにより接合するようにしている。
以上説明したこの実施形態のダイボンド方法によれば、リードフレーム2の下面に密着させて配置された半田箔6が、伝熱板12によりリードフレーム2へ向けて押圧される。また、半田箔6に伝熱板12を介して熱が加えられることにより、半田箔6が溶融し、その溶融した半田6Aがリードフレーム2の複数の通り孔2cを介してリードフレーム2の上面側へ押し上げられ、リードフレーム2とパワー半導体3との隙間9に流動して拡がる。その後、拡げられた半田6Aを冷やすことにより、パワー半導体3とリードフレーム2が半田6Aにより接合される。従って、従来例とは異なり、バンプ8等の配置に整合した孔を予め半田箔6にあける必要がなく、孔のあいた半田箔をパワー半導体3とリードフレーム2との間に精密に配置する必要がない。このため、半田箔6の加工や配置に係り設備費をコストアップさせることなく、孔のない半田箔6を使用してパワー半導体3をリードフレーム2に対して好適に接合することができる。
ここで、治具1を設けることで、その分だけ初期設備費はアップするものの、治具1は汎用性があることから、各種電子部品のリフロー半田付けのために共通して使用することができる。このため、各種電子部品の違いに応じて半田箔に異なるパターンで毎回孔をあけるよりも、その後の経費を削減することができ、コストアップを抑えることができる。
この実施形態のダイボンド用治具1によれば、リードフレーム2がベースフレーム11により水平に支持される。伝熱板12の、リードフレーム2との対向面上に半田箔6が載置される。また、磁石19を磁性体17に近付けて付勢手段を機能させることにより、伝熱板12がリードフレーム2へ向けて付勢され、半田箔6が伝熱板12によりリードフレーム2へ向けて押圧され、これによってリードフレーム2の下面に半田箔6が密着して配置される。また、伝熱板12に熱を加えることにより、伝熱板12を介して半田箔6に熱が加えられる。このように、この実施形態の治具1によれば、上記したダイボンド方法に対して有効に使用することができる。また、この治具1によれば、付勢手段を構成する磁石19をリードフレーム2に近付けることにより、伝熱板12へ磁力が速やかに付与され、磁石19をリードフレーム2から遠ざけることにより、伝熱板12への磁力の付与が速やかに解除される。このため、伝熱板12の上下動を容易に操作することができる。
また、この実施形態では、治具1を構成する伝熱板12の上面に堤部12aが形成されるので、熱で溶融した半田6Aが伝熱板12の外へ流出することを未然に防止することができる。
なお、この発明は前記実施形態に限定されるものではなく、発明の趣旨を逸脱することのない範囲で構成の一部を適宜変更して実施することもできる。
(1)前記実施形態では、リードフレーム2の複数の通り孔2cを、上下方向に通直に形成したが、図7に断面図に示すように、各通り孔2cを、その内周面がリードフレーム2の上面側へ向けて広がるテーパをなすように形成してもよい。この場合、図7に矢印で示すように、各通り孔2cに入った溶融した半田が、リードフレーム2の上面側へ向けて流動し易くなる。このため、溶融した半田をリードフレーム2とパワー半導体との間へ流動し易くすることができる。
(2)前記実施形態では、リードフレーム2の複数の通り孔2cを、上下方向に通直に形成したが、図8に断面図に示すように、各通り孔2cを、その内周面がリードフレーム2の下面側へ向けて広がるテーパをなすように形成してもよい。この場合、図8に矢印で示すように、溶融して伝熱板12により押し上げられる半田が各通り孔2cへ入り易くなる。このため、溶融した半田を各通り孔6へ速やかに流動させることができる。
(3)前記実施形態では、基板をリードフレーム2とし、電子部品をパワー半導体3としたが、リフロー半田付けに適用される基板や電子部品であれば、リードフレームやパワー半導体に限定されるものではない。
この発明は、基板に電子部品を実装するために使用されるリフロー半田付けの技術に適用可能である。
1 治具
2 リードフレーム(基板)
2c 通り孔
3 パワー半導体(電子部品)
6 半田箔
6A 溶融した半田
7 バンプ
8 バンプ
11 ベースフレーム
12 伝熱板
13 空間
17 磁性体
19 磁石
2 リードフレーム(基板)
2c 通り孔
3 パワー半導体(電子部品)
6 半田箔
6A 溶融した半田
7 バンプ
8 バンプ
11 ベースフレーム
12 伝熱板
13 空間
17 磁性体
19 磁石
Claims (5)
- 基板に、その板厚方向に貫通する複数の通り孔を予め形成すると共に、その上面にバンプを予め形成しておき、
前記基板の上面側にて、前記バンプに対し電子部品をバンプにより接続すると共に、前記基板を水平に支持し、
前記水平に支持された基板の下面に半田箔を密着させて配置すると共に、前記半田箔を伝熱板により前記基板へ向けて押圧し、
前記押圧された半田箔に前記伝熱板を介して熱を加えることにより、前記半田箔を溶融させ、その溶融した半田を前記複数の通り孔を介して前記基板の上面側へ押し上げて前記基板と前記電子部品との間に流動させて拡げ、
前記拡げられた半田を冷やすことにより、前記電子部品と前記基板を前記半田により接合する
ことを特徴とするダイボンド方法。 - 請求項1に記載のダイボンド方法に使用されるダイボンド用治具であって、
前記基板を水平に支持するためのベースフレームと、
前記水平に支持された基板の下面に対向可能に配置されると共に、前記ベースフレームに対して移動可能に設けられ、前記基板との対向面上に前記半田箔が載置され、外部から熱が加えられる伝熱板と、
前記伝熱板を、前記水平に支持された基板へ向けて付勢するための付勢手段と
を備えたことを特徴とするダイボンド用治具。 - 前記基板に形成される各通り孔は、その内周面が前記基板の上面側へ向けて広がるテーパをなすことを特徴とする請求項2に記載のダイボンド用治具。
- 前記基板に形成される各通り孔は、その内周面が前記基板の下面側へ向けて広がるテーパをなすことを特徴とする請求項2に記載のダイボンド用治具。
- 前記付勢手段は、前記伝熱板を構成する磁性体と、前記基板上に配置され、前記伝熱板に磁力を付与するための磁石とを含むことを特徴とする請求項2に記載のダイボンド用治具。
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Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN103426798A (zh) * | 2012-05-25 | 2013-12-04 | 先进科技新加坡有限公司 | 用于在晶粒键合期间加热衬底的装置 |
WO2014006682A1 (ja) * | 2012-07-02 | 2014-01-09 | 三菱電機株式会社 | 半導体装置及びその製造方法 |
CN111092021A (zh) * | 2019-11-15 | 2020-05-01 | 西安海的电子科技有限公司 | 一种电子元件的封装方法 |
-
2010
- 2010-08-31 JP JP2010194339A patent/JP2012054328A/ja not_active Withdrawn
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN103426798A (zh) * | 2012-05-25 | 2013-12-04 | 先进科技新加坡有限公司 | 用于在晶粒键合期间加热衬底的装置 |
WO2014006682A1 (ja) * | 2012-07-02 | 2014-01-09 | 三菱電機株式会社 | 半導体装置及びその製造方法 |
JP5532147B1 (ja) * | 2012-07-02 | 2014-06-25 | 三菱電機株式会社 | 半導体装置及びその製造方法 |
CN111092021A (zh) * | 2019-11-15 | 2020-05-01 | 西安海的电子科技有限公司 | 一种电子元件的封装方法 |
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