JP2012051758A - 窒化珪素−窒化硼素複合セラミックスの製造方法、窒化珪素−窒化硼素複合セラミックス、および溶融金属用部材 - Google Patents
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【解決手段】窒化珪素粉末、焼結助剤粉末、及び六方晶窒化硼素粉末からなる原料を成形、焼成して窒化珪素と窒化硼素の複合セラミックスを得る窒化珪素−窒化硼素複合セラミックスの製造方法において、前記六方晶窒化硼素として、レーザ回折・散乱法で測定した平均粒径が2〜10μm、30μm以上の粒径を有する粒子が5%以下、SEM写真から測定した1次粒子の平均粒子寸法が0.01〜0.8μm、比表面積が20〜50m2/gであるものを、窒化珪素粉末と焼結助剤粉末の合計100質量部に対して3〜20質量部含有する。
【選択図】図1
Description
)の連続相と窒化ホウ素(h−BN)の分散相とからなり、前記分散相の粒子サイズが0.1〜3μmであることを特徴とする、窒化ケイ素と窒化硼素の複合焼結体が開示されている。本複合焼結体によれば、固体潤滑剤となる窒化硼素の原料であるホウ酸が、窒化ケイ素の仮焼体である多孔質の成形体に含浸され、焼成中に窒化硼素の粒子になって分散するので、連続相を形成する窒化珪素の機械的強度が損われることなく、分散相を形成する窒化硼素の低摩擦性が発揮されるとしている。
GI= A(100+101)/A(102)結晶化度GI値が5を超えることは、結晶性が低いことを意味し、結晶化度GI値が5を超えると、1次粒子が小さくなるのと共に、1次粒子間の結合が強くなるため、1次粒子で形成される凹凸によりアルミニウム溶湯がより確実に付着しにくくなり、アルミニウム溶湯の付着を防止することが可能となるためである。更に好ましい結晶化度GI値は5〜10である。
Al2 O3 等のAl化合物を焼結助剤成分として配合した場合は、焼結性の向上に寄与するが、アルミニウム溶湯、その酸化物、スラグ等との付着が起こりやすくなり、また、Si3 N4 結晶中にAlが固溶してフォノンの拡散を阻害する結果、焼結体の熱伝導率が著しく低下して耐熱衝撃性が低下する原因にもなるため、酸化物換算で0.5質量%以上含有しないことが好ましい。望ましくは0.1質量%未満、より望ましくは0.01質量%未満にすることが望ましい。
またFe2O3等のFe化合物の配合も焼結性の向上に寄与するが、アルミニウム溶湯、その酸化物、スラグ等との付着が起こりやすくなるため、酸化物換算で0.5質量%以上含有しないことが好ましい。望ましくは0.1質量%未満、より望ましくは0.01質量%未満にすることが望ましい。
平均粒径0.6μm、酸素量0.9%、α化率95%の窒化珪素質粉末95質量%と、平均粒径1μmのY2O3粉末3質量%、平均粒径0.1μmのMgO粉末2質量%の合計100質量部に対して、表1に示す六方晶窒化硼素粉末BN1を3.5質量部秤量し、溶媒としてエチルアルコールを秤量し、窒化珪素質のボールを用いたボールミル中で混合する。得られたスラリーにバインダーとしてポリビニルブチラールを1%添加して混合を加えてスラリーとした後、スプレードライヤーで乾燥して、成形用の窒化珪素粉末、焼結助剤粉末、六方晶窒化硼素粉末からなる造粒粉を作成する。
実施例1の窒化珪素―窒化硼素複合セラミックスに対して、六方晶窒化硼素粉末BN1を、7.2質量部、11質量部、14.8質量部、18.9質量部添加した以外は実施例1と同様にして、実施例2〜5の窒化珪素―窒化硼素複合セラミックスを得た。
実施例2の窒化珪素―窒化硼素複合セラミックスに対して、六方晶窒化硼素粉末にBN2及びBN3を用いた以外は、実施例2と同様にして、実施例6及び7の窒化珪素―窒化硼素複合セラミックスを得た。
実施例3の窒化珪素―窒化硼素複合セラミックスに対して、六方晶窒化硼素粉末にBN4を用いた以外は、実施例3と同様にして、実施例8の窒化珪素―窒化硼素複合セラミックスを得た。
実施例2の窒化珪素―窒化硼素複合セラミックスに対して、焼結助剤成分の配合割合を表1に示すとおりとした以外は、実施例2と同様にして、実施例9〜19の窒化珪素―窒化硼素複合セラミックスを得た。実施例17では平均粒径1.0μmのEr2O3粉末を、実施例18では平均粒径0.5μmのAl2O3粉末を、実施例19では平均粒径2.3μmのTiO2粉末を使用した。
実施例1の窒化珪素―窒化硼素複合セラミックスに対して、六方晶窒化硼素粉末BN1を、0質量部、2.5質量部、22.5質量部添加した以外は実施例1と同様にして、比較例1〜3の窒化珪素―窒化硼素複合セラミックスを得た。
実施例2の窒化珪素―窒化硼素複合セラミックスに対して、六方晶窒化硼素粉末にBN5、BN6、BN7及びBN8を用いた以外は、実施例2と同様にして、実施例4〜7の窒化珪素―窒化硼素複合セラミックスを得た。
(1)吸水率
前記焼結後の窒化珪素―窒化硼素複合セラミックスから、25mm×40mm×5mmの角中形状の試験片を製作し、110℃24時間乾燥後の試験片重量を測定、その後水中にて24h浸漬後、再度試験片重量を測定した。水中浸漬前後の重量差を乾燥後の重量で除した値を、吸水率とした。
(2)曲げ強さ
JISR1601に基づき、3mm×4mm×36mmの角柱形状をもつ試験片を製作し、荷重速度0.5mm/minの条件で4点曲げ試験を行った。測定は各実施例、比較例に対し 10個実施し、その平均値を曲げ強さとした。
(3)熱伝導率
JISR1611に基づき、直径5mm×厚さ2mmの試験片を製作し、レーザーフラッシュ法により、室温の熱伝導率を測定した。
(4)熱膨張係数
JISR1618に基づき、5×5×10mmの試験片を製作し、熱機械分析装置(TMA)により、35℃と600℃間の平均線熱膨張係数を測定した。
(5)ヤング率
JISR1602に基づき、10×10×10mmの試験片を製作し超音波パルス法にて、ヤング率を測定した。
(6)耐熱衝撃温度ΔT
耐熱衝撃温度ΔTは、25mm×25mm×4mmの試験片を製作し、700℃から50℃おきに温度を上昇させ、それぞれの温度で、水中に投下、急冷後、割れ有無を確認した。割れは、蛍光探傷で確認し、割れの発生しない温度を耐熱衝撃温度とした。
(7)溶融金属付着試験
30mm×50mm×4mmの試験片を製作し、720℃溶融金属浴(アルミニウム合金AC−4B)に試験片を浴中に3分間浸漬した後、浴上に引き上げ、3分後に再び浴中に浸漬する試験を行った。繰返し回数50回と500回の時点で表面に付着したアルミニウムの面積率を測定した。
実施例2と同様に、平均粒径0.6μm、酸素量0.9%、α化率95%の窒化珪素質粉末95質量%と、平均粒径1μmのY2O3粉末3質量%、平均粒径0.1μmのMgO粉末2質量%の合計100質量部に対して、表1に示す六方晶窒化硼素粉末BN1を7.2質量部秤量し、溶媒としてエチルアルコールを秤量し、窒化珪素質のボールを用いたボールミル中で混合する。得られたスラリーにバインダーとしてポリビニルブチラールを1%添加して混合を加えてスラリーとした後、スプレードライヤーで乾燥して、成形用の窒化珪素粉末、焼結助剤粉末、六方晶窒化硼素粉末からなる造粒粉を作成する。
実施例20の窒化珪素―窒化硼素複合セラミックスからなるストークに対して、六方晶窒化硼素を添加しなかった以外は実施例20のストークと同様にして比較例9のストークを作製した。ストークの内径面、及び外径面の表面粗さはRyで7μmであった(10測定の平均値)。
2:内径面
3:外径面
Claims (9)
- 窒化珪素粉末、焼結助剤粉末、及び六方晶窒化硼素粉末からなる原料粉末を混合、成形、焼成して窒化珪素と窒化硼素の複合セラミックスを得る窒化珪素−窒化硼素複合セラミックスの製造方法において、前記六方晶窒化硼素として、レーザ回折・散乱法で測定した平均粒径が2〜10μm、30μm以上の粒径を有する粒子が5%以下、SEM写真から測定した1次粒子の平均粒子寸法が0.01〜0.8μm、比表面積が20〜50m2/gであるものを、窒化珪素粉末と焼結助剤粉末の合計100質量部に対して3〜20質量部含有することを特徴とする窒化珪素−窒化硼素複合セラミックスの製造方法。
- 前記焼結助剤粉末として、希土類元素およびMgを酸化物換算で2〜15質量%、希土類金属(RE)とMgを酸化物換算の質量比(RE2O3/MgO)を0.1〜10となる比率で含有することを特徴とする請求項1に記載の窒化珪素−窒化硼素複合セラミックスの製造方法。
- 前記焼結助剤粉末として、Alを酸化物換算で0.5質量%以上含有しないことを特徴とする請求項2に記載の窒化珪素−窒化硼素複合セラミックスの製造方法。
- 窒化珪素粉末、焼結助剤粉末、及び六方晶窒化硼素粉末からなる原料粉末を混合、成形、焼成して得た窒化珪素−窒化硼素複合セラミックスであって、前記六方晶窒化硼素として、比表面積が20〜50m2/g、レーザ回折・散乱法で測定した平均粒径が2〜10μm、30μm以上の粒径を有する粒子が5%以下、SEM写真から測定した1次粒子の平均粒子寸法が0.01〜0.8μmであるものを、窒化珪素粉末と焼結助剤粉末の合計100質量部に対して3〜20質量部含有することを特徴とする窒化珪素−窒化硼素複合セラミックス。
- 前記焼結助剤粉末として、希土類元素およびMgを酸化物換算で2〜15質量%、希土類金属(RE)とMgを酸化物換算の質量比(RE2O3/MgO)を0.1〜10となる比率で含有することを特徴とする請求項4に記載の窒化珪素−窒化硼素複合セラミックス。
- 前記焼結助剤粉末として、Alを酸化物換算で0.5質量%以上含有しないことを特徴とする請求項5に記載の窒化珪素−窒化硼素複合セラミックス。
- 吸水率が0.1〜10%であることを特徴とする請求項4乃至6に記載の窒化珪素−窒化硼素複合セラミックス。
- 熱伝導率が30W/(m・K)以上であることを特徴とする請求項3乃至7に記載の窒化珪素−窒化硼素複合セラミックス。
- 請求項4乃至8に記載の窒化珪素−窒化硼素複合セラミックスを用いた溶融金属用部材。
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