JP2012051129A - 基板ブレーク装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】ブレークユニット85は、搬送ユニットに保持された起立姿勢の脆性材料基板7を、スクライブライン8に沿ってブレークする。第1ブレークバー86は、取付台81の挿入孔81bに沿って一方向(挿入孔81bの長手方向:延伸方向)に延伸する。複数の第2ブレークバー87は、搬送ユニット50に保持されたワーク3を挟んで、第1ブレークバー86の逆側に設けられている。各第2ブレークバー87は、第1ブレークバー86と平行な方向に延伸する。このように、第1および第2ブレークバー86、87は、起立姿勢で保持された脆性材料基板7の両側に配置される。これにより、第1および第2ブレークバー86、87毎に重力の影響を軽減するための方策を講ずる必要がなく、脆性材料基板7を良好にブレークすることができる。
【選択図】図15
Description
図1および図2は、それぞれ本発明の実施の形態における基板ブレーク装置1の構成の一例を示す正面図および背面図である。図3は、ワーク3の構成の一例を示す側面図である。基板ブレーク装置1は、スクライブライン8が形成されている脆性材料基板7(図3参照)を、スクライブライン8に沿ってブレークする(切断する)装置である。
図4および図5は、それぞれ姿勢変更ユニット10の構成の一例を示す側面図および平面図である。ここで、姿勢変更ユニット10は、上述のように、ワーク3の姿勢を変更する動作、およびワーク3を搬送ユニット50に受け渡す動作、を実行する。
図6および図7は、搬送ユニット50の構成の一例を示す正面図および背面図である。図8は、可動クランプ部61(61a〜61c)の構成の一例を示す正面図である。図9は、図8のV−V線から見たガイド爪69(69a)付近の断面図である。図10は、図7のW−W線から見たガイド爪69(69d)付近の断面図である。
固定機構60は、平板状のワーク3を起立姿勢で固定する。図6および図7に示すように、固定機構60は、主として、複数のクランプ部61(61a〜61c)、62と、複数の押さえ部71と、を有している。
図11ないし図13は、固定機構60によるワーク3の固定手順および固定解除手順を説明するための背面図である。ここでは、起立姿勢とされたワーク3を固定機構60に固定する手順について説明する。
ここでは、図11ないし図13を参照しつつ、固定機構60により起立姿勢で固定されたワーク3について、このワーク3の固定状態を解除する手順について説明する。
図14は、非接触保持ユニット80の構成の一例を示す正面図である。ここで、非接触保持ユニット80は、上述のように搬送ユニット50に接触保持されたワーク3の第1主面3aを、補助的に非接触保持する。図14に示すように、非接触保持ユニット80は、主として、取付台81と、複数の第1吸引部83と、複数の第2吸引部84と、を有している。
図15は、ブレークユニット85の構成の一例を示す平面図である。ここで、ブレークユニット85は、搬送ユニット50および非接触保持ユニット80により保持状態とされた脆性材料基板7を、スクライブライン8に沿ってブレークする。図15に示すように、ブレークユニット85は、主として、第1ブレークバー86と、複数の第2ブレークバー87と、を有している。
以上のように、本実施の形態の基板ブレーク装置1において、搬送ユニット50(保持ユニット)に脆性材料基板7が保持された場合、第1および第2ブレークバー86、87は、起立姿勢で保持された脆性材料基板7の両主面3a、3b側に配置される。
以上、本発明の実施の形態について説明してきたが、本発明は上記実施の形態に限定されるものではなく様々な変形が可能である。
3 ワーク
4 ダイシングリング
4b 開口
5 ダイシングシート
7 脆性材料基板
8 スクライブライン
9 電子部品
10 姿勢変更ユニット
20 受渡部
21 昇降台
23(23a〜23d) 把持爪
25(25a〜25d) 吸着部
27 受渡用シリンダ
30 揺動部
33 揺動用シリンダ
35 押圧部
37(37a〜37d) 押圧用シリンダ
39(39a〜39d) ローラ
40 本体ユニット
42(42a〜42c) レバー
43、44 ガイド
50 搬送ユニット
51 固定台
51a 貫通孔
52 回転台
60 固定機
60a、68a 切欠
60b 段差面
60d 対向面
61 クランプ部
61a〜61c 可動クランプ部
66、73(73a〜73d) 付勢部材
67(67a〜67c) 可動ガイド
68 固定ガイド
69(69a〜69d) ガイド爪
71 押さえ部
72 押さえ枠
75(75a〜75d) 間隙
80 非接触保持ユニット
81 取付台
81a 挿入孔
83 第1吸引部
84 第2吸引部
85 ブレークユニット
86 第1ブレークバー
86a 第1進退駆動部
87 第2ブレークバー
87a 第2進退駆動部
90 制御ユニット
D1、D2 間隔(第1および第2間隔)
P10 受渡位置
P11 解除位置
P12 固定位置
P20 ブレーク位置
Claims (4)
- スクライブラインが形成されている脆性材料基板を、前記スクライブラインに沿ってブレークする基板ブレーク装置であって、
(a) 前記脆性材料基板を起立姿勢で保持する保持ユニットと、
(b) 前記保持ユニットに保持された前記脆性材料基板を、前記スクライブラインに沿ってブレークするブレークユニットと、
を備え、
前記ブレークユニットは、
(b-1) 前記保持ユニットと対向するように設けられており、一方向に延伸する第1ブレークバーと、
(b-2) 前記保持ユニットに保持された前記脆性材料基板を挟んで前記第1ブレークバーと逆側に設けられており、前記第1ブレークバーと平行な方向に延伸する第2ブレークバーと、
を有しており、
前記第1および第2ブレークバーの延伸方向と、が前記スクライブラインと、が略平行とされた状態で、前記第1および第2ブレークバーがそれぞれ前記脆性材料基板の第1および第2主面に接近し、前記脆性材料基板が前記第1および第2ブレークバーにより挟み込まれることによって、起立姿勢とされた前記脆性材料基板が前記スクライブラインに沿ってブレークされることを特徴とする基板ブレーク装置。 - 請求項1に記載の基板ブレーク装置において、
前記第1および第2ブレークバーが前記脆性材料基板に接近する方向は、重力方向に対して略垂直であることを特徴とする基板ブレーク装置。 - 請求項1または請求項2に記載の基板ブレーク装置において、
前記第1ブレークバーは、前記スクライブラインが形成されている前記第2主面とは逆側の前記第1主面側から、前記スクライブラインに沿って荷重を付与することを特徴とする基板ブレーク装置。 - 請求項1ないし請求項3のいずれかに記載の基板ブレーク装置において、
前記保持ユニットは、前記脆性材料基板の授受が実行される受渡位置と、前記ブレークユニットにより脆性材料基板のブレークが実行されるブレーク位置と、の間で、起立姿勢の前記脆性材料基板を搬送することを特徴とする基板ブレーク装置。
Priority Applications (4)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2010193461A JP5187366B2 (ja) | 2010-08-31 | 2010-08-31 | 基板ブレーク装置 |
TW100118357A TWI452021B (zh) | 2010-08-31 | 2011-05-25 | 基板分斷裝置 |
KR1020110067597A KR101278053B1 (ko) | 2010-08-31 | 2011-07-08 | 기판 브레이크 장치 |
CN201110219292.4A CN102431097B (zh) | 2010-08-31 | 2011-07-28 | 基板折断装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2010193461A JP5187366B2 (ja) | 2010-08-31 | 2010-08-31 | 基板ブレーク装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2012051129A true JP2012051129A (ja) | 2012-03-15 |
JP5187366B2 JP5187366B2 (ja) | 2013-04-24 |
Family
ID=45905091
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2010193461A Expired - Fee Related JP5187366B2 (ja) | 2010-08-31 | 2010-08-31 | 基板ブレーク装置 |
Country Status (4)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP5187366B2 (ja) |
KR (1) | KR101278053B1 (ja) |
CN (1) | CN102431097B (ja) |
TW (1) | TWI452021B (ja) |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2011254111A (ja) * | 2010-03-29 | 2011-12-15 | Tokyo Seimitsu Co Ltd | ダイシング装置及びダイシング方法 |
KR20160019849A (ko) * | 2014-08-12 | 2016-02-22 | 미쓰보시 다이야몬도 고교 가부시키가이샤 | 취성재료 기판의 분단방법 및 분단장치 |
CN105382944A (zh) * | 2014-08-21 | 2016-03-09 | 三星钻石工业股份有限公司 | 基板裂断装置 |
Families Citing this family (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN104891801B (zh) * | 2015-05-21 | 2017-07-28 | 江苏比微曼智能科技有限公司 | 一种采用玻璃裂解装置的玻璃裂解方法 |
JP6540272B2 (ja) * | 2015-06-26 | 2019-07-10 | 三星ダイヤモンド工業株式会社 | ブレイク装置及びブレイク方法 |
JP2017177452A (ja) * | 2016-03-29 | 2017-10-05 | 三星ダイヤモンド工業株式会社 | 端材除去装置及び端材除去方法 |
CN106057979B (zh) * | 2016-07-29 | 2017-09-05 | 无锡嘉瑞光伏有限公司 | 一种用于太阳能电池片的裂片装置 |
JP6851067B2 (ja) * | 2016-11-22 | 2021-03-31 | 三星ダイヤモンド工業株式会社 | 基板分断装置 |
KR102167999B1 (ko) | 2019-07-09 | 2020-10-20 | 김유철 | 기능성 발가락 양말 |
Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2004167833A (ja) * | 2002-11-20 | 2004-06-17 | Kawaju Plant Kk | 板材の分断設備 |
JP2006124194A (ja) * | 2004-10-26 | 2006-05-18 | Nippon Electric Glass Co Ltd | ガラス板の切断分離方法及びその装置 |
JP2006289625A (ja) * | 2005-04-05 | 2006-10-26 | Sony Corp | 貼り合わせ基板の基板ブレイク装置及びその基板ブレイク方法 |
Family Cites Families (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
EP1350769A1 (de) * | 2002-04-04 | 2003-10-08 | Bystronic Maschinen AG | Vorrichtung und Verfahren zum Teilen von vertikalen Glasplatten |
WO2004067243A1 (ja) * | 2003-01-29 | 2004-08-12 | Mitsuboshi Diamond Industrial Co., Ltd. | 基板分断装置および基板分断方法 |
EP1666221A4 (en) * | 2003-09-24 | 2010-09-08 | Mitsuboshi Diamond Ind Co Ltd | SUBSTRATE CUTTING SYSTEM, SUBSTRATE MANUFACTURER AND SUBSTRATE CUTTING METHOD |
JP5058451B2 (ja) * | 2005-06-02 | 2012-10-24 | コーニングジャパン株式会社 | 板材の分断ユニット、この分断ユニットを有する分断装置、および、この分断装置を有する分断設備 |
JP5330845B2 (ja) * | 2009-01-30 | 2013-10-30 | 三星ダイヤモンド工業株式会社 | 基板ブレーク装置 |
-
2010
- 2010-08-31 JP JP2010193461A patent/JP5187366B2/ja not_active Expired - Fee Related
-
2011
- 2011-05-25 TW TW100118357A patent/TWI452021B/zh not_active IP Right Cessation
- 2011-07-08 KR KR1020110067597A patent/KR101278053B1/ko not_active IP Right Cessation
- 2011-07-28 CN CN201110219292.4A patent/CN102431097B/zh not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2004167833A (ja) * | 2002-11-20 | 2004-06-17 | Kawaju Plant Kk | 板材の分断設備 |
JP2006124194A (ja) * | 2004-10-26 | 2006-05-18 | Nippon Electric Glass Co Ltd | ガラス板の切断分離方法及びその装置 |
JP2006289625A (ja) * | 2005-04-05 | 2006-10-26 | Sony Corp | 貼り合わせ基板の基板ブレイク装置及びその基板ブレイク方法 |
Cited By (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2011254111A (ja) * | 2010-03-29 | 2011-12-15 | Tokyo Seimitsu Co Ltd | ダイシング装置及びダイシング方法 |
KR20160019849A (ko) * | 2014-08-12 | 2016-02-22 | 미쓰보시 다이야몬도 고교 가부시키가이샤 | 취성재료 기판의 분단방법 및 분단장치 |
CN105365060A (zh) * | 2014-08-12 | 2016-03-02 | 三星钻石工业股份有限公司 | 脆性材料基板的分断方法及分断装置 |
KR102474314B1 (ko) | 2014-08-12 | 2022-12-06 | 미쓰보시 다이야몬도 고교 가부시키가이샤 | 취성재료 기판의 분단방법 및 분단장치 |
CN105382944A (zh) * | 2014-08-21 | 2016-03-09 | 三星钻石工业股份有限公司 | 基板裂断装置 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP5187366B2 (ja) | 2013-04-24 |
TWI452021B (zh) | 2014-09-11 |
KR101278053B1 (ko) | 2013-06-24 |
TW201221487A (en) | 2012-06-01 |
CN102431097B (zh) | 2016-08-17 |
KR20120021178A (ko) | 2012-03-08 |
CN102431097A (zh) | 2012-05-02 |
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20120719 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20120731 |
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A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20120924 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
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|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
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FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
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