JP2012043916A - 半導体ウエハ冷却装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】本発明の半導体ウエハ冷却装置は、半導体ウエハ10を載置する載置面を有するトレイ1と、トレイ1内に配置され、載置面上に載置された半導体ウエハ10を冷却する冷媒が流れる冷却配管2と、載置面に開口を有してトレイ1に設けられ、載置面上に載置された半導体ウエハ10を吸着する真空配管3と、を備える。
【選択図】図1
Description
図1は、実施の形態1の半導体ウエハ冷却装置の構成図であり、図1(a)は平面図、図1(b)は図1(a)におけるA−A断面図である。
本実施の形態の半導体ウエハ冷却装置によれば、既に述べた通り以下の効果を奏する。すなわち、本実施の形態の半導体ウエハ冷却装置は、半導体ウエハ10を載置する載置面を有するトレイ1と、トレイ1内に配置され、載置面上に載置された半導体ウエハ10を冷却する冷媒が流れる冷却配管2と、載置面に開口を有してトレイ1に設けられ、載置面上に載置された半導体ウエハ10を吸着する真空配管3とを備える。真空配管3で真空吸着されることにより、半導体ウエハ10はトレイ1に対して隙間を設けることなくその全面がトレイ1と接触するため、半導体ウエハ10は全面がムラなくトレイ1によって冷却され、ウエハ面内での温度ムラが小さくなるという効果を奏する。
図2は、実施の形態2の半導体ウエハ冷却装置の構成図である。本実施の形態の半導体ウエハ冷却装置において、トレイ1にはその載置面に複数の半導体ウエハ10(図1参照)が載置される。トレイ1の内部には冷却配管2が形成されており、冷却配管2を流れる例えば冷却水などの冷媒によって半導体ウエハ10の冷却が行われる。冷却配管2はトレイ1の両端間で折り返し状に配置(蛇行配置)された1本の冷却配管である。
本実施の形態の半導体ウエハ冷却装置によれば、既に述べたとおり以下の効果を奏する。すなわち、本実施の形態の半導体ウエハ冷却装置において、冷却配管2はトレイ1内に両端間で折り返し状に配置された一の冷却配管であり、半導体ウエハ10から切り出す正方形チップの一辺をa(mm)とし、冷却配管2の側壁厚みをb(mm)とした場合に、冷却配管2の隣り合う配管との距離c(mm)が式(1)を満たすことにより、少なくとも正方形チップの1/2以上の範囲の直下に冷却配管2が構成されるため、冷却効率が向上する。
図3、図4は実施の形態3の半導体ウエハ冷却装置の構成図である。本実施の形態の半導体ウエハ冷却装置において、トレイ1にはその載置面に複数の半導体ウエハ10(図1参照)が載置される。トレイ1の内部には一対の冷却配管2a,2bが形成されており、冷却配管2a,2bを互いに逆方向に流れる例えば冷却水などの冷媒によって半導体ウエハ10の冷却が行われる。
本実施の形態の半導体ウエハ冷却装置は、半導体ウエハ10を載置する載置面を有するトレイ1と、トレイ1内に配置され、載置面上に載置された半導体ウエハ10を冷却する冷媒が互いに逆方向に流れる一対の冷却配管2a,2bとを備え、冷却配管2a,2bの夫々は複数の枝配管を並列接続した構成であり、一方の冷却配管2aを構成する枝配管は前記載置面に平行な面内で他方の冷却配管2bを構成する枝配管と交互に配置される。これにより、トレイ1上の温度ムラが抑制されるためウエハ間やウエハ面内での温度ばらつきが減少する。
図5は、実施の形態4の半導体ウエハ冷却装置の構成図である。図5(a)はトレイ1の平面図、図5(b)は図5(a)のB−B断面図である。本実施の形態の半導体ウエハ冷却装置において、トレイ1にはその載置面に複数の半導体ウエハ10が載置される。トレイ1の内部には冷却配管2が形成されており、冷却配管2を流れる例えば冷却水などの冷媒によって半導体ウエハ10の冷却が行われる。冷却配管2は例えばトレイ1の両端間で折り返し状に配置(蛇行配置)された1本の冷却配管である。
本実施の形態の半導体ウエハ冷却装置は、半導体ウエハ10を載置する載置面を有するトレイ1と、トレイ1内に配置され、載置面上に載置された半導体ウエハ10を冷却する冷媒が流れる冷却配管2と、載置面上に載置された半導体ウエハ10の外周部に載置面の反対側から当接して半導体ウエハ10を載置面に押圧するクランプリング4と、を備える。これにより半導体ウエハ10とトレイ1の載置面との密着性が向上するため、半導体ウエハ10は全面がムラなくトレイ1によって冷却され、ウエハ面内での温度ムラが小さくなるという効果を奏する。
図7は実施の形態5の半導体ウエハ冷却装置の構成図である。図7(a)は半導体ウエハ冷却装置の平面図、図7(b),(c)は図7(a)のC−C断面図である。本実施の形態の半導体ウエハ冷却装置において、トレイ1にはその載置面に複数の半導体ウエハ10(図1参照)が載置される。図7(a)に示すように本実施の形態の半導体ウエハ冷却装置ではトレイ1の内部が中空形状となっている。
図8は、本実施の形態の半導体ウエハ冷却装置の変形例の構成を示す平面図である。変形例では、冷却配管6に冷媒を導入する供給経路と、冷却配管6を通過した冷媒が外部に流出する流出経路をそれぞれ複数設ける。図8ではそれぞれ3つの経路を設けた場合を例示している。このように冷媒の供給経路と流出経路を複数に分岐することによって、冷却配管6内に冷媒が滞留することを防ぐ。
本実施の形態の半導体ウエハ冷却装置は、半導体ウエハ10を載置する載置面を有するトレイ1と、トレイ1内に載置面に渡って面状に設けられ、載置面上に載置された半導体ウエハ10を冷却する冷媒が流れる冷却配管6とを備えるため、トレイ1の全面がムラなく冷却され、ウエハ面内の温度差を抑制することが出来る。
図9は、本実施の形態の半導体ウエハ冷却装置の構成図である。本実施の形態の半導体ウエハ冷却装置において、トレイ1にはその載置面に複数の半導体ウエハ10が載置される。トレイ1の内部には冷却配管2が形成されており、冷却配管2を流れる例えば冷却水などの冷媒によって半導体ウエハ10の冷却が行われる。例えば、冷却配管2は図9に示すようにトレイ1の両端間で折り返し状に配置(蛇行配置)された1本の冷却配管である。
本実施の形態の半導体ウエハ冷却装置は、半導体ウエハを載置する載置面を有するトレイ1と、トレイ1内に配置され、載置面上に載置された半導体ウエハ10を冷却する冷媒が流れる冷却配管2と、冷却配管2内における冷媒の流れる方向を切り替える冷媒流方向切替手段とを備える。これにより、冷媒流の上流側と下流側で生じる温度差を緩和し、ウエハ間の温度差を抑制することが出来る。
以上、本発明を種々の実施例について説明したが、これらの実施例を適宜に組み合わせて本発明を実施することが可能である。
Claims (12)
- 半導体ウエハを載置する載置面を有するトレイと、
前記トレイ内に配置され、前記載置面上に載置された前記半導体ウエハを冷却する冷媒が流れる冷却配管と、
前記載置面に開口を有して前記トレイに設けられ、前記載置面上に載置された前記半導体ウエハを吸着する真空配管と、を備える半導体ウエハ冷却装置。 - 前記冷却配管は前記冷媒が互いに逆方向に流れる一対の冷却配管であり、
前記冷却配管の夫々は複数の枝配管を並列接続した構成であり、
一方の前記冷却配管を構成する枝配管は前記載置面に平行な面内で他方の前記冷却配管を構成する枝配管と交互に配置される請求項1に記載の半導体ウエハ冷却装置。 - 半導体ウエハを載置する載置面を有するトレイと、
前記トレイ内に配置され、前記載置面上に載置された前記半導体ウエハを冷却する冷媒が互いに逆方向に流れる一対の冷却配管とを備え、
前記冷却配管の夫々は複数の枝配管を並列接続した構成であり、
一方の前記冷却配管を構成する枝配管は前記載置面に平行な面内で他方の前記冷却配管を構成する枝配管と交互に配置される半導体ウエハ冷却装置。 - 前記載置面上に載置された前記半導体ウエハの外周部に前記載置面の反対側から当接して前記半導体ウエハを前記載置面に押圧するクランプリングをさらに備える、請求項1〜5のいずれかに記載の半導体ウエハ冷却装置。
- 半導体ウエハを載置する載置面を有するトレイと、
前記トレイ内に配置され、前記載置面上に載置された前記半導体ウエハを冷却する冷媒が流れる冷却配管と、
前記載置面上に載置された前記半導体ウエハの外周部に前記載置面の反対側から当接して前記半導体ウエハを前記載置面に押圧するクランプリングと、を備える半導体ウエハ冷却装置。 - 半導体ウエハを載置する載置面を有するトレイと、
前記トレイ内に前記載置面に渡って面状に設けられ、前記載置面上に載置された前記半導体ウエハを冷却する冷媒が流れる冷却配管と、を備える半導体ウエハ冷却装置。 - 前記冷却配管は、
前記載置面側に設けられた第一の冷却配管と、
前記第一の冷却配管に対し前記載置面とは反対の側に設けられた第二の冷却配管とを備え、
前記第一、第二の冷却配管内を前記冷媒が互いに逆方向に流れる請求項8に記載の半導体ウエハ冷却装置。 - 前記冷媒を前記冷却配管に導入する複数の供給経路と、
前記冷媒を前記冷却配管から外部に流出させる複数の流出経路とをさらに備える請求項8又は9に記載の半導体ウエハ冷却装置。 - 前記冷却配管内における冷媒の流れる方向を切り替える冷媒流方向切替手段をさらに備える、請求項1〜3,7〜10のいずれかに記載の半導体ウエハ冷却装置。
- 半導体ウエハを載置する載置面を有するトレイと、
前記トレイ内に配置され、前記載置面上に載置された前記半導体ウエハを冷却する冷媒が流れる冷却配管と、
前記冷却配管内における冷媒の流れる方向を切り替える冷媒流方向切替手段と、を備える半導体ウエハ冷却装置。
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