JP2012041615A - レーザアブレーション装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 レーザアブレーション装置1では、活性粒子Aを進入させる粒子進入口11が設けられた包囲部材8が、チャンバ2内において前駆体P、支持台6及びヒータ7を包囲している。これにより、ターゲットTから発生した活性粒子Aがチャンバ2の内面に付着しても、その粒子が、ヒータ7の熱や、加熱された前駆体P及び支持台6からの輻射熱によって、再蒸発することが抑制される。さらに、当該熱によってターゲットTが蒸発することも抑制される。そして、再蒸発によって不活性粒子が発生したとしても、包囲部材8によって遮られて、その不活性粒子が前駆体Pに到達し難くなる。
【選択図】 図1
Description
Claims (5)
- レーザ光をターゲットに照射することにより、前記ターゲットから活性粒子を発生させ、前記活性粒子を前駆体に付着させるレーザアブレーション装置であって、
前記レーザ光を進入させる光進入口が設けられ、前記ターゲット及び前記前駆体を収容する筐体と、
前記筐体内において前記ターゲットを支持する第1の支持部材と、
前記筐体内において前記第1の支持部材に対向した状態で前記前駆体を支持する第2の支持部材と、
前記第2の支持部材に支持された前記前駆体を加熱する第1の加熱手段と、
前記活性粒子を進入させる粒子進入口が設けられ、前記筐体内において前記前駆体及び前記第2の支持部材を包囲する包囲部材と、を備えることを特徴とするレーザアブレーション装置。 - 前記包囲部材は、前記筐体に熱的に接続されていることを特徴とする請求項1記載のレーザアブレーション装置。
- 前記包囲部材を冷却する第1の冷却手段をさらに備えることを特徴とする請求項1又は2記載のレーザアブレーション装置。
- 一端が前記光進入口に接続されかつ他端が前記筐体外に位置した状態で前記筐体に取り付けられ、前記他端から前記一端に向かって前記レーザ光を通過させる光通路と、
前記光通路の内面に形成された複数の突起と、
前記突起を冷却する第2の冷却手段と、
前記他端を塞ぐ光透過部材と、
前記光通路の外側から前記光透過部材を加熱する第2の加熱手段と、をさらに備えることを特徴とする請求項1〜3のいずれか一項記載のレーザアブレーション装置。 - 前記ターゲットはセレンからなることを特徴とする請求項1〜4のいずれか一項記載のレーザアブレーション装置。
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