JP2012035353A - 切削液供給装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】切削液供給装置1は、切削液を貯留するタンク2と、不活性ガスを供給する不活性ガス供給部3と、供給された不活性ガスを用いてタンク2内の切削液中に微小気泡を発生させる第1のバブル発生器4と、タンク2と切削液を使用する加工機11とを接続しタンク2内の切削液を加工機11に供給するための液供給流路5aと、加工機11とタンク2とを接続し加工機11からタンク2に切削液を戻すための排液流路5bと、液供給流路5aの途中に設けられタンク2内の切削液を液供給流路5aに流す循環ポンプ6と、酸化性ガスを供給する酸化性ガス供給部7と、供給された酸化性ガスを用いて、液供給流路5aを流れる切削液中に微小気泡を発生させる第2のバブル発生器8とを備える。
【選択図】図1
Description
本発明の第1の実施形態について図1を参照して説明する。
本発明の第2の実施形態について図2を参照して説明する。
2 タンク
3 不活性ガス供給部
4 第1のバブル発生器
5 循環流路
6 循環ポンプ(ポンプ)
7 酸化性ガス供給部
8 第2のバブル発生器
8a 第1のオリフィス部材
8a1 貫通孔
8b ガス溶解部材
8c 第2のオリフィス部材
8c1 貫通孔
11 加工機
11b1 ノズル
11b2 ノズル
Claims (6)
- 切削液を貯留するタンクと、
不活性ガスを供給する不活性ガス供給部と、
前記タンク内に設けられ、前記不活性ガス供給部により供給された前記不活性ガスを用いて前記タンク内の切削液中に微小気泡を発生させる第1のバブル発生器と、
前記タンクと前記切削液を使用する加工機とを接続し、前記タンク内の切削液を前記加工機に供給するための液供給流路と、
前記加工機と前記タンクとを接続し、前記加工機から前記タンクに前記切削液を戻すための排液流路と、
前記液供給流路の途中に設けられ、前記タンク内の切削液を前記液供給流路に流すポンプと、
酸化性ガスを供給する酸化性ガス供給部と、
前記酸化性ガス供給部により供給された前記酸化性ガスを用いて、前記液供給流路を流れる切削液中に微小気泡を発生させる第2のバブル発生器と、
を備えることを特徴とする切削液供給装置。 - 前記不活性ガス供給部は、前記第1のバブル発生器に対する前記不活性ガスの供給量を前記第2のバブル発生器に対する前記酸化性ガスの供給量より多くすることを特徴とする請求項1記載の切削液供給装置。
- 前記第2のバブル発生器は、前記酸化性ガスが通過する複数の貫通孔を有する第1のオリフィス部材を具備していることを特徴とする請求項1又は2記載の切削液供給装置。
- 前記第2のバブル発生器は、
前記液供給流路を流れる切削液中に前記酸化性ガスを溶解させるガス溶解部材と、
前記酸化性ガスが溶解した前記切削液が通過する複数の貫通孔を有する第2のオリフィス部材と、
を具備していることを特徴とする請求項1、2又は3記載の切削液供給装置。 - 前記第2のオリフィス部材は、前記加工機が前記切削液を吐出するノズル内に設けられていることを特徴とする請求項4記載の切削液供給装置。
- 前記ガス溶解部材は、前記液供給流路において前記ポンプより上流側に設けられており、
前記第2のオリフィス部材は、前記液供給流路において前記ポンプの下流側に設けられていることを特徴とする請求項4又は5記載の切削液供給装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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Publication Number | Publication Date |
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JP2012035353A true JP2012035353A (ja) | 2012-02-23 |
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Cited By (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2014180744A (ja) * | 2013-03-18 | 2014-09-29 | Ito Yukio | 工作機械の加工装置 |
KR101467084B1 (ko) * | 2013-03-28 | 2014-12-01 | 이엽신 | 질소 가스를 이용한 공구 냉각 장치 및 공구 냉각 방법 |
CN105082242A (zh) * | 2015-08-03 | 2015-11-25 | 京东方科技集团股份有限公司 | 一种基板切割系统 |
WO2017203948A1 (ja) * | 2016-05-24 | 2017-11-30 | パナソニックIpマネジメント株式会社 | 三次元構造体の貫通流路を研磨するための方法およびデバイス |
CN111285455A (zh) * | 2020-02-20 | 2020-06-16 | 苏州微凯流体设备有限公司 | 一种废切削液乳化液的氧化处理装置 |
JP2020146786A (ja) * | 2019-03-12 | 2020-09-17 | 日本タングステン株式会社 | 加工用クーラント供給機構、および、加工用クーラントの供給方法 |
US11369926B2 (en) * | 2020-02-12 | 2022-06-28 | Canon Kabushiki Kaisha | Ultra fine bubble generation apparatus |
Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH08112588A (ja) * | 1994-10-18 | 1996-05-07 | Daioo Eng Kk | 加圧浮上分離装置 |
JP2003039274A (ja) * | 2001-07-30 | 2003-02-12 | Aisin Seiki Co Ltd | 切削液供給装置 |
JP2005097454A (ja) * | 2003-09-26 | 2005-04-14 | Enomoto Bea Co Ltd | 切削液及び切削液供給装置 |
JP2008254075A (ja) * | 2007-03-30 | 2008-10-23 | Yamaguchi Prefecture | 微粉体回収装置 |
-
2010
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Patent Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH08112588A (ja) * | 1994-10-18 | 1996-05-07 | Daioo Eng Kk | 加圧浮上分離装置 |
JP2003039274A (ja) * | 2001-07-30 | 2003-02-12 | Aisin Seiki Co Ltd | 切削液供給装置 |
JP2005097454A (ja) * | 2003-09-26 | 2005-04-14 | Enomoto Bea Co Ltd | 切削液及び切削液供給装置 |
JP2008254075A (ja) * | 2007-03-30 | 2008-10-23 | Yamaguchi Prefecture | 微粉体回収装置 |
Cited By (11)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2014180744A (ja) * | 2013-03-18 | 2014-09-29 | Ito Yukio | 工作機械の加工装置 |
KR101467084B1 (ko) * | 2013-03-28 | 2014-12-01 | 이엽신 | 질소 가스를 이용한 공구 냉각 장치 및 공구 냉각 방법 |
CN105082242A (zh) * | 2015-08-03 | 2015-11-25 | 京东方科技集团股份有限公司 | 一种基板切割系统 |
US10059021B2 (en) | 2015-08-03 | 2018-08-28 | Boe Technology Group Co., Ltd. | Substrate cutting system |
WO2017203948A1 (ja) * | 2016-05-24 | 2017-11-30 | パナソニックIpマネジメント株式会社 | 三次元構造体の貫通流路を研磨するための方法およびデバイス |
JP2017209742A (ja) * | 2016-05-24 | 2017-11-30 | パナソニックIpマネジメント株式会社 | 三次元構造体の貫通流路を研磨するための方法およびデバイス |
CN109195744A (zh) * | 2016-05-24 | 2019-01-11 | 松下知识产权经营株式会社 | 用于对三维构造体的贯通流路进行研磨的方法和装置 |
JP2020146786A (ja) * | 2019-03-12 | 2020-09-17 | 日本タングステン株式会社 | 加工用クーラント供給機構、および、加工用クーラントの供給方法 |
JP7165079B2 (ja) | 2019-03-12 | 2022-11-02 | 日本タングステン株式会社 | 加工用クーラント供給機構、および、加工用クーラントの供給方法 |
US11369926B2 (en) * | 2020-02-12 | 2022-06-28 | Canon Kabushiki Kaisha | Ultra fine bubble generation apparatus |
CN111285455A (zh) * | 2020-02-20 | 2020-06-16 | 苏州微凯流体设备有限公司 | 一种废切削液乳化液的氧化处理装置 |
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