JP2017209742A - 三次元構造体の貫通流路を研磨するための方法およびデバイス - Google Patents
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Abstract
Description
三次元構造体の貫通流路を研磨するための方法であって、
砥粒および液体を含んで成る研磨流体が仕込まれた仕込み密閉容器から貫通流路に研磨流体を流して貫通流路の研磨処理を行っており、
仕込み密閉容器内では研磨流体に気泡を発生させて砥粒を液体中に分散させる分散処理を行うことを特徴とする方法が提供される。
三次元構造体の貫通流路を研磨するためのデバイスであって、
砥粒および液体を含んで成る研磨流体を仕込むための仕込み密閉容器を有して成り、
仕込み密閉容器は、外部から仕込み密閉容器の内部へとガスを供給するための第一管、および、仕込み密閉容器の内部から貫通流路へと研磨流体を導くための第二管を備えており、
仕込み密閉容器内の研磨流体に気泡を発生させるための気泡発生手段を更に有して成ることを特徴とするデバイスも提供される。
本発明の一実施形態に係るデバイスは、三次元構造体の貫通流路を研磨するためのデバイス1である(図1参照)。図1に示されるように、かかるデバイス1は、砥粒と液体とを含んで成る研磨流体7を仕込むための仕込み密閉容器2を有して成る。仕込み密閉容器2は、例えばステンレスなどの金属製であって、第一管6と第二管10とを備えている。第一管6は、仕込み密閉容器2の外部からその内部へと加圧ガス5を供給するための管であり、第二管10は、仕込み密閉容器2の内部から三次元構造体8の貫通流路9へと研磨流体7を導くための管である。第一管6は、例えば仕込み密閉容器2の上部25を介して仕込み密閉容器2の外部からその内部へと延在している。一方、第二管10は、好ましくは仕込み密閉容器2の底部28から外部へと延在している。仕込み密閉容器2の内部において第一管6の先端レベル6aは研磨流体7のレベルよりも上方であってよいし、あるいは、研磨流体7のレベルよりも下方であってもよい。第一管6の上流側においては、その第一管6と接続されたガス供給ライン(図示せず)が設けられていることが好ましい。一方、第二管10の下流側においては、その第二管10と貫通流路9の流入口との間を接続する送液ライン14が設けられていることが好ましい。
本発明の一実施形態に係るデバイスは、図4に示すように、第一管6に設けられた多孔フィルター44を有して成る。つまり、仕込み密閉容器2の第一管6には多孔フィルター44が設けられている。図示するように、第一管6は、そのガス供給口6’が仕込み密閉容器2内に仕込まれる研磨流体7のレベルよりも下方に位置付けられており、かかるガス供給口6’に多孔フィルター44が設けられていることが好ましい。第一管6のガス供給口6’を介して加圧ガス5が供給されると、多孔フィルター44の存在に起因して研磨流体7に気泡42が発生することになる。
本発明の一実施形態に係るデバイスは、図5に示すように、発泡剤46を有している。発泡剤46は、研磨流体7(より具体的には研磨流体7の液体72)と接すると、研磨流体7中において発泡現象を引き起こして気泡42を生じるものが好ましい。発泡剤46は、タブレット形態を有していてよく、あるいは、粉末形態を有していてもよい。典型的な態様でいえば、タブレット形態は研磨流体7中で発泡剤46が比較的長く存在し得るので気泡42をより長い時間発生させることができるのに対して、粉末形態は発泡剤46の供給量に応じて気泡量を調整し易いといった利点を有し得る。
次に、貫通流路を備えた三次元構造体について説明する。かかる三次元構造体は、切削加工法を利用することによって得ることができる他、粉末焼結積層法を利用することによっても得ることができる。切削加工法では、基材となる部材にドリル加工等の機械的加工を施すことによって貫通流路を形成する。一方、粉末焼結積層法では、粉末層への光ビーム照射を通じて三次元構造体とその貫通流路とを並列的に形成する。粉末焼結積層法を用いると、比較的複雑な形状の貫通流路を備えた三次元構造体を製造できる。以下では、粉末焼結積層法による“造形”によって貫通流路が形成された三次元構造体(すなわち、「三次元形状造形物」)を製造する方法について詳述する。
(i)粉末層の所定箇所に光ビームを照射し、かかる所定箇所の粉末を焼結または溶融固化させて固化層を形成する工程
(ii)得られた固化層の上に新たな粉末層を敷いて同様に光ビームを照射して更に固化層を形成する工程
本発明に係る方法は、三次元構造体の貫通流路を研磨する方法である。本発明に係る方法では、研磨流体が仕込まれた仕込み密閉容器から三次元構造体の貫通流路へと研磨流体を流して貫通流路の研磨処理を行う。特に、研磨流体を流すための加圧ガスが供給される仕込み密閉容器内において研磨流体に気泡を発生させて砥粒を液体中に分散させる分散処理を行う。
気泡発生は多孔フィルターを介したガス供給によって行ってよい。具体的には、多孔フィルターを介して加圧ガスを研磨流体中へと供給することによって、研磨流体に気泡を発生させてよい。図4に示すように、多孔フィルター44を設けた第一管6から加圧ガス5を供給すると、多孔フィルター44の存在に起因して研磨流体7に気泡42を発生させることができる。このような多孔フィルター44は、仕込み密閉容器2内に仕込まれる研磨流体7のレベルよりも下方に位置付けられることになる第一管6のガス供給口6’に設けることが好ましい。
気泡発生には発泡剤46を用いてよい。具体的には、発泡剤46によって気泡42を研磨流体7に発生させてよい(図5参照)。発泡剤46は、研磨流体7(より具体的には研磨流体7の液体72)と接することによって研磨流体7中で発泡現象を引き起こすものである。発泡剤46を用いる場合、研磨流体7中で発生した気泡42は、あくまでもガスであるので、仕込み密閉容器2内の加圧にも寄与し得る。つまり、発泡剤46は、仕込み密閉容器2内に供給される“加圧ガス”の一部としても作用し得る。
・研磨流体への投入:発泡剤46は仕込み密閉容器2内の研磨流体7に直接的に投入する。例えば、仕込み密閉容器2内に研磨流体7を仕込んだ後、タブレット形態または粉末形態の発泡剤46を研磨流体7に投入する。投入された発泡剤46は液体との反応に起因して研磨流体7中で発泡する。
・仕込み密閉容器への予めの設置:発泡剤46は仕込み密閉容器2内に予め設けておく。例えば、研磨流体7の仕込みに先立って、タブレット形態または粉末形態の発泡剤46を予め仕込み密閉容器2内に設けておく。これにより、研磨処理に際して仕込み密閉容器2内に研磨流体7が導入されるに伴って、発泡剤46が液体との反応により研磨流体7中で発泡する。
・加圧ガスへの供給:発泡剤46は加圧ガス5に供給する。具体的には、加圧ガス5と共に発泡剤46を仕込み密閉容器2に供給する(図8参照)。例えば、研磨処理に際しては第一管6を介して仕込み密閉容器2内に加圧ガス5が供給されるが、かかる加圧ガス5の供給時に第一管6を介して発泡剤46を並列的に研磨流体7に供給してよい。第一管6から供給される発泡剤46は液体72との反応に起因して研磨流体7中で発泡する。
本発明に係る研磨方法では、砥粒材質の好適な選択によって、気泡による分散処理をより好適に促進することができる。
本発明に係る研磨方法は、回収密閉容器を用いて実施してもよい。具体的には、図9に示すように、貫通流路9から流出した研磨流体7を回収密閉容器3に回収してよい。つまり、貫通流路9を通るように仕込み密閉容器2から回収密閉容器3へと研磨流体7を流してよい。図示されるように、貫通流路9から流出した研磨流体7は、回収密閉容器3の第三管11を介して回収密閉容器3へと導かれることになる。
本発明に係る研磨方法に際しては乾燥用ガスを使用してよい。具体的には、図10に示すように、研磨流体による研磨処理後において乾燥用ガス18を貫通流路9に流してよい。乾燥用ガス18を流すことによって、研磨処理後に貫通流路9に残存した研磨流体の液体が気化し易くなり、貫通流路9を好適に乾燥させることができる。
2 仕込み密閉容器
3 回収密閉容器
5 加圧ガス
6 第一管
7 研磨流体
8 三次元構造体
9 貫通流路
10 第二管
11 第三管
12 第四管
40 気泡発生手段
42 気泡
44 多孔フィルター
46 発泡剤
71 砥粒
72 液体
Claims (11)
- 三次元構造体の貫通流路を研磨するための方法であって、
砥粒および液体を含んで成る研磨流体が仕込まれた仕込み密閉容器から前記貫通流路に該研磨流体を流して該貫通流路の研磨処理を行っており、
前記仕込み密閉容器内では前記研磨流体に気泡を発生させて前記砥粒を前記液体中に分散させる分散処理を行うことを特徴とする、方法。 - 前記研磨流体中で前記砥粒を前記気泡に同伴させることによって前記分散処理を行うことを特徴とする、請求項1に記載の方法。
- 前記研磨処理においては、前記仕込み密閉容器内に供給した加圧ガスによって前記研磨流体を該仕込み密閉容器内で加圧し、それによって、該仕込み密閉容器から該貫通流路へと該研磨流体を流入させることを特徴とする、請求項1または2に記載の方法。
- 多孔フィルターを介して前記加圧ガスを前記研磨流体中へと供給することによって、該研磨流体に前記気泡を前記発生させることを特徴とする、請求項3に記載の方法。
- 発泡剤によって前記気泡を前記研磨流体に前記発生させることを特徴とする、請求項1〜3のいずれかに記載の方法。
- 前記気泡がマイクロバブルであることを特徴とする、請求項1〜5のいずれかに記載の方法。
- 前記貫通流路から流出した前記研磨流体を回収密閉容器に回収しており、
前記回収では前記回収密閉容器内のガスを外部へと排気することを特徴とする、請求項1〜6のいずれかに記載の方法。 - 前記三次元構造体として、粉末焼結積層法によって製造された三次元形状造形物を用いることを特徴とする、請求項1〜7のいずれかに記載の方法。
- 三次元構造体の貫通流路を研磨するためのデバイスであって、
砥粒および液体を含んで成る研磨流体を仕込むための仕込み密閉容器を有して成り、
前記仕込み密閉容器は、外部から該仕込み密閉容器の内部へとガスを供給するための第一管、および、該仕込み密閉容器の前記内部から前記貫通流路へと前記研磨流体を導くための第二管を備えており、
前記仕込み密閉容器内の前記研磨流体に気泡を発生させるための気泡発生手段を更に有して成ることを特徴とする、デバイス。 - 前記気泡発生手段が、発泡剤および前記第一管に設けられた多孔フィルターの少なくとも一方であることを特徴とする、請求項9に記載のデバイス。
- 前記貫通流路から流出した前記研磨流体を回収するための回収密閉容器を更に有して成り、
前記回収密閉容器が、前記貫通流路から流出した前記研磨流体を前記回収密閉容器内に導くための第三管、および、該回収密閉容器内のガスを外部へと排気するための第四管を備えていることを特徴とする、請求項9または10に記載のデバイス。
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