JP2012026890A - 表面欠陥検査装置及びその方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】断面円弧状の外周面を有するOリング100を所定の張力で引っ張りながら回転させ、Oリング100における直線状に伸びた検査対象部位Aの周囲に照射光を照射する複数のLED15を円環状に配置し、照射光によって検査対象部位Aの法線Yに対して斜方向から検査対象部位Aを照明し、検査対象部位Aからの正反射光を複数のラインセンサカメラ20で撮像し、複数のラインセンサカメラ20で得られた各画像データを加工して処理し、検査対象部位Aの欠陥を検査する。
【選択図】図1
Description
上記環状被検査体の直線状に伸びた検査対象部位における中心軸を延長した軸の周囲に照射光を照射する複数の照射部が円環状に配置され、該照射光によって上記検査対象部位の法線に対して斜方向から該検査対象部位を照明する照射装置と、
上記照射装置に対向する位置に配置され、上記検査対象部位からの正反射光を撮像する複数の撮像装置と、
上記複数の撮像装置で得られた各画像データを加工して処理し、上記検査対象部位の欠陥を検査する欠陥検出手段と、
を備えている。
上記照射装置は、円環状本体を備え、該円環状本体の内周に上記複数の照射部が均等に配置されている。
上記円環状本体は、分割可能に構成され、上記環状被検査体を挟み込むように開閉可能に構成されている。
上記分割された分割部をそれぞれ開閉可能に支持し、各分割部をアクチュエータにより開閉させる開閉機構を備えている。
上記複数の照射部は、上記検査対象部位が隙間なく照明されるように、上記円環状本体での配置間隔と、指向特性とが設定されている。
上記照射装置の上記法線に対する傾斜角は、45°以上70°以下である。
上記複数の撮像装置は、上記検査対象部位までの焦点距離が等しくなるようにそれぞれ変位可能に構成されている。
上記複数の撮像装置は、それぞれ撮像素子が直線状に並んだラインセンサカメラよりなる。
上記被検査体送り装置は、上記複数のプーリ間の距離を調整するためのプーリ移動機構を備えている。
上記複数のプーリは、外周断面が略V字状の溝を有するVプーリよりなる。
上記各撮像装置で撮像されて上記欠陥検出手段で処理された各画像を一度に映し出す表示装置を備えている。
上記環状被検査体は、Oリングである。
上記環状被検査体における直線状に伸びた検査対象部位の周囲に照射光を照射する複数の照射部を円環状に配置し、
上記照射光によって上記検査対象部位の法線に対して斜方向から該検査対象部位を照明し、
上記検査対象部位からの正反射光を複数の撮像装置で撮像し、
上記複数の撮像装置で得られた各画像データを加工して処理し、上記検査対象部位の欠陥を検査する構成とする。
次に、本実施形態にかかる表面欠陥検査方法について説明する。
本発明は、上記実施形態について、以下のような構成としてもよい。
5 被検査体送り装置
7 回転機構
8 駆動プーリ
8a,10a プーリ溝
10 従動プーリ
11 プーリ移動機構
13 LEDライト(照射装置)
14 円環状本体
14a 分割部
15 LED(照射部)
16 開閉機構
18 エアアクチュエータ
20 ラインセンサカメラ(撮像装置)
52 パソコン(欠陥検出手段)
53 液晶モニター(表示装置)
100 Oリング(環状被検査体)
A 検査対象部位
B 欠陥
X 中心軸
Y 法線
α 傾斜角
Claims (13)
- 断面円弧状の外周面を有する環状被検査体が外周に掛けられる複数のプーリ及び該環状被検査体を所定の張力で引っ張りながら回転させる回転機構を有する被検査体送り装置と、
上記環状被検査体の直線状に伸びた検査対象部位における中心軸を延長した軸の周囲に照射光を照射する複数の照射部が円環状に配置され、該照射光によって上記検査対象部位の法線に対して斜方向から該検査対象部位を照明する照射装置と、
上記照射装置に対向する位置に配置され、上記検査対象部位からの正反射光を撮像する複数の撮像装置と、
上記複数の撮像装置で得られた各画像データを加工して処理し、上記検査対象部位の欠陥を検査する欠陥検出手段と、
を備えている
ことを特徴とする表面欠陥検査装置。 - 請求項1に記載の表面欠陥検査装置において、
上記照射装置は、円環状本体を備え、該円環状本体の内周に上記複数の照射部が均等に配置されている
ことを特徴とする表面欠陥検査装置。 - 請求項2に記載の表面欠陥検査装置において、
上記円環状本体は、分割可能に構成され、上記環状被検査体を挟み込むように開閉可能に構成されている
ことを特徴とする表面欠陥検査装置。 - 請求項3に記載の表面欠陥検査装置において、
上記分割された円環状本体の分割部をそれぞれ開閉可能に支持し、各分割部をアクチュエータにより開閉させる開閉機構を備えている
ことを特徴とする表面欠陥検査装置。 - 請求項2乃至4のいずれか1つに記載の表面欠陥検査装置において、
上記複数の照射部は、上記検査対象部位が隙間なく照明されるように、上記円環状本体での配置間隔と、指向特性とが設定されている
ことを特徴とする表面欠陥検査装置。 - 請求項1乃至5のいずれか1つに記載の表面欠陥検査装置において、
上記照射装置の上記法線に対する傾斜角は、45°以上70°以下である
ことを特徴とする表面欠陥検査装置。 - 請求項1乃至6のいずれか1つに記載の表面欠陥検査装置において、
上記複数の撮像装置は、上記検査対象部位までの焦点距離が等しくなるようにそれぞれ変位可能に構成されている
ことを特徴とする表面欠陥検査装置。 - 請求項1乃至7のいずれか1つに記載の表面欠陥検査装置において、
上記複数の撮像装置は、それぞれ撮像素子が直線状に並んだラインセンサカメラよりなる
ことを特徴とする表面欠陥検査装置。 - 請求項1乃至8のいずれか1つに記載の表面欠陥検査装置において、
上記被検査体送り装置は、上記複数のプーリ間の距離を調整するためのプーリ移動機構を備えている
ことを特徴とする表面欠陥検査装置。 - 請求項1乃至9のいずれか1つに記載の表面欠陥検査装置において、
上記複数のプーリは、外周断面が略V字状の溝を有するVプーリよりなる
ことを特徴とする表面欠陥検査装置。 - 請求項1乃至10のいずれか1つに記載の表面欠陥検査装置において、
上記各撮像装置で撮像されて上記欠陥検出手段で処理された各画像を一度に映し出す表示装置を備えている
ことを特徴とする表面欠陥検査装置。 - 請求項1乃至11のいずれか1つに記載の表面欠陥検査装置において、
上記環状被検査体は、Oリングである
ことを特徴とする表面欠陥検査装置。 - 断面円弧状の外周面を有する環状被検査体を所定の張力で引っ張りながら回転させ、
上記環状被検査体における直線状に伸びた検査対象部位の周囲に照射光を照射する複数の照射部を円環状に配置し、
上記照射光によって上記検査対象部位の法線に対して斜方向から該検査対象部位を照明し、
上記検査対象部位からの正反射光を複数の撮像装置で撮像し、
上記複数の撮像装置で得られた各画像データを加工して処理し、上記検査対象部位の欠陥を検査する
ことを特徴とする表面欠陥検査方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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Applications Claiming Priority (1)
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JP5373714B2 JP5373714B2 (ja) | 2013-12-18 |
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JP (1) | JP5373714B2 (ja) |
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RD02 | Notification of acceptance of power of attorney |
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A131 | Notification of reasons for refusal |
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