JP2012022135A - 共焦点顕微鏡装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】観察試料8の観察面に光を集束する少なくとも1つの対物レンズ7と、観察試料8と対物レンズ7との距離を所定間隔で変化させるZレボルバ16と、観察試料8と対物レンズ7との距離に応じて所定間隔を設定する測定条件情報指示部19と、設定された所定間隔で上記距離を変化させるようにZレボルバ16を駆動制御するZ駆動制御部22と、観察面からの反射光を検出する光検出器12と、上記所定間隔の距離毎に観察面上に光を二次元走査して光検出器12で検出される検出信号により平面画像を生成し、生成された複数の平面画像を用いて三次元画像を生成するコントローラ2を有する共焦点顕微鏡装置100により、上記課題の解決を図る。
【選択図】 図1
Description
また、前記二次元走査は、変更可能な所定の間隔で行うこともできる。
まず、第1の実施の形態による共焦点顕微鏡装置100の構成について、図1および図2を参照しながら説明する。図1は、第1の実施の形態による共焦点顕微鏡装置100の構成例を示す図である。図1に示すように、共焦点顕微鏡装置100は、顕微鏡本体1および対物レンズ7、レボルバ13、Zレボルバ16、電動XYステージ14、コントローラ2、表示部3を有している。観察試料8は、電動XYステージ14上に載置されている。顕微鏡本体1には、共焦点画像を形成する共焦点光学系と、実画像をカラー観察するカラー観察光学系との両方が備えられている。共焦点光学系は、レーザ光源4、偏光ビームスプリッタ(以下、PBSという)5、二次元走査部6、4分の1波長板9、結像レンズ10a、ピンホール11、光検出器12等を備えている。カラー観察光学系は、カラーカメラ18、結像レンズ10b、ハーフミラー52等を備えている。
ステップ415では、ステップ414で求めたZレボルバ駆動速度でZレボルバ16の高さ位置を上方へと移動させていく。そして、測定ピッチ分移動すると、再びステップ407へと進み、次のスライス画像取込みを行う。
以上のように取込みを続けて、観察試料8の面Aを対象として登録した所定測定範囲の上限位置を超えた場合は、ステップ411の判定でNoとなりステップ416へと処理が進む。
以下、図7〜図9および図10A〜図10Dを参照しながら、第2の実施の形態による共焦点顕微鏡装置について説明する。第1の実施の形態による共焦点顕微鏡装置100と同様の構成および動作については、同一の符号を付し、詳細説明を省略する。
ステップ810は、ステップ808において所定測定範囲外であるため、測定ピッチを粗い値である測定範囲外ピッチに変更し、ステップ811に進む。ステップ811では、前段処理のステップ809、またはステップ812にて決定した測定ピッチと、それぞれの測定ピッチに応じた測定範囲からZレボルバ16の駆動速度を求める。
以下、図11、図12、図13A、図13Bを参照しながら、第3の実施の形態による共焦点顕微鏡装置について説明する。第1の実施の形態または第2の実施の形態による共焦点顕微鏡装置100と同様の構成および動作については、同一の符号を付し、詳細説明を省略する。
以上説明したように、第3の実施の形態による共焦点顕微鏡装置によれば、計数部31は、ある高さ位置で取込んだスライス画像における、各画素の輝度が第1基準輝度値L1以下の画素数を輝度頻度LNとして求める。輝度頻度LNが、第1基準画素数L1以下の場合には、測定条件設定部33は、現在の高さ位置を所定測定範囲外と判定し、測定ピッチを測定範囲外ピッチに設定する。輝度頻度LNが、第1基準画素数L1を超えた場合には、現在の高さ位置が所定測定範囲内と判定し、測定ピッチを測定範囲内ピッチに設定する。
以上のように、第3の実施の形態による共焦点顕微鏡装置によれば、第1の実施の形態および第2の実施の形態と同様に、観察試料の測定対象平面に応じた所定測定範囲と、対象外の所定測定範囲外を区別してそれぞれの測定ピッチを設定できるため、複数段差のある観察試料の対象平面の三次元画像を作成することができ、かつ、スライス画像の取込み時間も短縮することができる。
ここで、上記第1から第3の実施の形態の変形例について説明する。上記実施の形態と同様の部分については詳細説明を省略する。本変形例は、第1から第3の実施の形態において、測定範囲外ピッチを用いる際に、図1で説明した共焦点顕微鏡装置100における二次元走査部6において、観察試料に照射されるレーザ光を二次元に走査する間隔を、XY方向のどちらか一方、または両方向に間引いて取込む。このようにすることで、画像サイズが小さくなり、取得する画像データ量を減らすことができ、かつ取込み時間が短縮できる。
2 コントローラ
3 表示部
4 レーザ光源
5 偏光ビームスプリッタ
6 二次元走査部
7 対物レンズ
8 観察試料
10a、10b 結像レンズ
11 ピンホール
13 レボルバ
16 Zレボルバ
12 光検出器
19 測定条件情報指定部
20 測定ピッチ取得部
21 測定条件記憶部
22 Z駆動制御部
Claims (18)
- 観察試料の観察面に光を集束して二次元走査するとともに、前記光の光軸方向に集束位置を移動しながら共焦点画像を取得する共焦点顕微鏡装置であって、
前記観察試料を載置するステージと、
前記光軸上に配置され、所定の倍率で前記光を前記観察面に集束する少なくとも1つの対物レンズと、
前記観察試料の所望の前記観察面に前記光を集束させるために前記ステージと前記対物レンズとの距離を所定間隔で変化させる移動手段と、
前記距離に応じて前記所定間隔を設定する測定条件設定手段と、
前記測定条件設定手段が設定した前記所定間隔で前記距離を変化させるように前記移動手段を駆動制御する駆動制御手段と、
前記観察面からの反射光を検出する光検出手段と、
前記所定間隔で変化させた前記距離毎に前記観察面上に前記光を二次元走査することにより前記光検出手段が検出した検出信号に基づき複数の画素よりなる二次元画像を生成する二次元画像生成手段と、
前記二次元画像生成手段で生成された複数の前記二次元画像を用いて三次元画像を生成する三次元画像生成手段と、
を有することを特徴とする共焦点顕微鏡装置。 - 前記測定条件設定手段は、
前記距離の所定の上限および所定の下限と、前記距離が前記上限から下限までの所定距離範囲内において前記距離を変化させる第1の間隔と、前記第1の間隔より大きい第2の間隔とを少なくとも1組設定し、
前記駆動制御手段は、
前記所定距離範囲内では前記第1の間隔で前記距離を変化させ、前記所定距離範囲外では前記第2の間隔で前記距離を変化させるように前記移動手段を駆動制御することを特徴とする請求項1に記載の共焦点顕微鏡装置。 - 前記対物レンズの倍率に応じた第1のレンズ依存間隔と第1のレンズ依存間隔より大きい第2のレンズ依存間隔とを保持する測定間隔記憶手段と、
前記光軸上に配置された前記対物レンズの倍率を検出し、前記測定間隔記憶部から前記対物レンズの倍率に応じた前記第1のレンズ依存間隔と前記第2のレンズ依存間隔とを取得する測定間隔取得手段と、
をさらに有し、
前記測定条件設定手段は、
前記測定間隔取得手段が取得した前記第1のレンズ依存間隔を前記第1の間隔として設定し、前記第2のレンズ依存間隔を前記第2の間隔として設定することを特徴とする請求項2に記載の共焦点顕微鏡装置。 - 前記測定条件設定手段は、
前記距離の前記上限、前記下限、前記第1の間隔、および前記第2の間隔を設定するための画面を表示する設定画面表示手段、
を有することを特徴とする請求項2に記載の共焦点顕微鏡装置。 - 前記設定画面表示手段で設定された前記上限、前記下限、前記第1の間隔、および前記第2の間隔を測定条件として記憶する測定条件記憶手段、
をさらに備えることを特徴とする請求項4に記載の共焦点顕微鏡装置。 - 前記測定条件設定手段は、前記測定条件記憶手段から前記測定条件を読込み、
前記駆動制御手段は、読込んだ前記測定条件に応じて前記移動手段を駆動制御することを特徴とする請求項5に記載の共焦点顕微鏡装置。 - 前記観察試料において、少なくとも一点の測定指示点を指定する測定指示点指定手段と、
各々の前記測定指示点に前記光を集束させる場合の前記距離を少なくとも1つの合焦距離として計測する合焦距離計測手段と、
をさらに有し、
前記測定条件設定手段は、
少なくとも1つの前記合焦距離に応じて前記所定間隔を設定することを特徴とする請求項1に記載の共焦点顕微鏡装置。 - 前記測定条件設定手段は、
前記距離の上限および下限と、前記距離が前記上限から下限までの所定距離範囲内において前記距離を変化させる第1の間隔と、前記第1の間隔より大きい第2の間隔とを少なくとも1組設定し、
前記駆動制御手段は、
前記所定距離範囲内では前記第1の間隔で前記距離を変化させ、前記所定距離範囲外では前記第2の間隔で前記距離を変化させるように前記移動手段を駆動制御することを特徴とする請求項7に記載の共焦点顕微鏡装置。 - 前記対物レンズの倍率に応じた第1のレンズ依存間隔と第2のレンズ依存間隔とを保持する測定間隔記憶手段と、
前記光軸上に配置された前記対物レンズの倍率を検出し、前記測定間隔記憶部から前記対物レンズの倍率に応じた前記第1のレンズ依存間隔と前記第2のレンズ依存間隔とを取得する測定間隔取得手段と、
をさらに有し、
前記測定条件設定手段は、
前記測定間隔取得手段が取得した前記第1のレンズ依存間隔を前記第1の間隔として設定し、前記第2のレンズ依存間隔を前記第2の間隔として設定することを特徴とする請求項7または請求項8に記載の共焦点顕微鏡装置。 - 前記観察面を表示する観察面表示手段と、
前記観察面表示手段において、前記観察面上の少なくとも1点を特定する測定指示点特定手段と、
をさらに有し、
前記測定指示点指定手段は、前記測定指示点特定手段により特定された前記点を測定指示点として指定することを特徴とする請求項7から請求項9のいずれか一項に記載の共焦点顕微鏡装置。 - 前記測定指示点を記憶する測定指示点記憶手段、
をさらに備えることを特徴とする請求項7から請求項10に記載の共焦点顕微鏡装置。 - 前記合焦距離を記憶する合焦距離記憶手段、
をさらに備えることを特徴とする請求項7から請求項11のいずれか一項に記載の共焦点顕微鏡装置。 - 前記合焦距離を含む前記距離の範囲であって、合焦状態である範囲を合焦範囲として検出する合焦範囲検出手段、
をさらに有し、
前記測定条件設定手段は、
前記合焦範囲の最大距離に所定距離を加えた距離を前記上限として設定し、
前記合焦範囲の最大距離から所定距離を減じた距離を前記下限として設定することを特徴とする請求項8に記載の共焦点顕微鏡装置。 - 前記三次元画像生成手段が前記三次元画像を生成可能な最低数の前記平面画像を得るために必要な最低の前記所定距離範囲を最低距離範囲として記憶する最低距離範囲記憶手段、
をさらに有し、
前記測定条件設定手段は、
設定された前記所定距離範囲が前記最低距離範囲記憶手段に記憶された前記最低距離範囲より小さい場合には、前記所定距離範囲を前記最低距離範囲に一致させるように、前記上限および前記下限を設定変更することを特徴とする請求項7から請求項13のいずれか一項に記載の共焦点顕微鏡装置。 - 前記平面画像を構成する各前記画素の輝度を所定の輝度しきい値と比較し、前記輝度しきい値以下の画素数を輝度しきい値以下画素数として計数する画素数計数手段、
をさらに有し、
前記測定条件設定手段は、
前記輝度しきい値以下画素数に応じて、前記距離を変化させる所定間隔を設定することを特徴とする請求項1に記載の共焦点顕微鏡装置。 - 前記輝度しきい値以下画素数と所定の画素数しきい値とを比較する画素数比較手段、
をさらに有し、
前記測定条件設定手段は、
前記画素数比較手段の比較結果に応じて、前記距離を変化させる所定間隔を設定することを特徴とする請求項15に記載の共焦点顕微鏡装置。 - 前記測定条件設定手段は、
前記輝度しきい値以下画素数が前記画素数しきい値以下の場合には、前記距離を変化させる所定間隔を第1の間隔に設定し、
前記輝度しきい値以下画素数が前記画素数しきい値より大きい場合には、前記所定間隔を第1の間隔より大きい第2の間隔に設定することを特徴とする請求項16に記載の共焦点顕微鏡装置。 - 前記二次元走査は、変更可能な所定の間隔で行うことを特徴とする請求項1から請求項17のいずれか一項に記載の共焦点顕微鏡装置。
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