JP2012009888A - ステージ装置及びステージ装置におけるステージの位置決め制御方法 - Google Patents
ステージ装置及びステージ装置におけるステージの位置決め制御方法 Download PDFInfo
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Abstract
【解決手段】ステージ機構1は、Xベース120の上に固定されるX方向の案内機構としてのXガイド121と、これに拘束されてX方向に移動可能なXテーブル122と、これに可動部を固定されたXアクチュエータ123と、Xベース120の上に固定されたXテーブル122の制動機構であるXブレーキ124などから構成される。制御装置2は、ステージ停止時にXブレーキ124をXテーブル122の下面に押し付けて制動力を発生させ、ステージ停止後にはXアクチュエータをサーボ制御をオフにする位置決め制御を行う。
【選択図】 図1
Description
2 制御装置
3 レーザ干渉計
100 ベース
110 Yベース
111 Yガイド
112 Yテーブル
113 Yアクチュエータ
114 Yブレーキ
115 Xサブガイド
116 サブテーブル
120 Xベース
121 Xガイド
122 Xテーブル
123 Xアクチュエータ
124 Xブレーキ
125 Yサブガイド
130 トップテーブル
131 Xミラー
132 Yミラー
133 試料ホルダ
Claims (3)
- 固定されたベースと、
前記ベースに設けられた案内機構と、
前記案内機構に沿って移動する可動テーブルと、
前記可動テーブルを駆動する駆動機構と、
前記ベースに設けられ、前記可動テーブルを制動する制動機構とで構成されるステージ機構と、
前記可動テーブルの位置を測定する位置検出器と、
前記位置検出器により測定される前記可動テーブルの位置と予め設定される目標位置の偏差に基づき、前記駆動機構のサーボ制御を行うとともに、前記制動機構の制動力の発生を制御し、前記可動テーブルの位置決め制御を行う制御装置とを備え、当該制御装置は、前記可動テーブルの移動開始とともに、前記制動機構の制動力を解除し、前記可動テーブルの位置と前記目標位置との偏差が予め設定される位置決め幅よりも小さくなったとき、前記制動機構の制動力を発生して、前記可動テーブルを停止させ、前記可動テーブルが停止した直後に前記駆動機構のサーボ制御をオフにすることを特徴とするステージ装置。 - 請求項1に記載のステージ装置において、
前記制動機構は、
前記ベースに固定され、前記可動テーブルの前記ベースとの対向面に対して、一定のばね力により面部材を押し付けることにより制動力を発生するとともに、前記一定のばね力よりも大きい制動力により前記面部材と前記可動テーブルとを非接触として前記制動力を解除することを特徴とするステージ装置。 - 固定されたベースと、前記ベースに設けられた案内機構と、前記案内機構に沿って移動する可動テーブルと、前記可動テーブルを駆動する駆動機構と、前記ベースに設けられて前記可動テーブルを制動する制動機構とから構成されるステージ機構と、前記可動テーブルの位置を測定する位置検出器と、前記ステージ機構の位置決め制御を行う制御装置とを備えたステージ装置におけるステージの位置決め制御方法であって、
前記制御装置は、位置検出器により測定される前記可動テーブルの位置と予め設定される目標位置との偏差に基づき、前記駆動機構のサーボ制御を行うステップと、
前記偏差が予め設定される位置決め幅よりも小さくなったとき、前記制動機構の制動力を発生して、前記可動テーブルを停止させるステップと、
前記可動テーブルが停止した直後に前記駆動機構のサーボ制御をオフにするステップとを備えたことを特徴とするステージ装置におけるステージの位置決め制御方法。
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