JP2012004208A - 半導体装置及び半導体装置の製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】半導体装置1の、ゲート電極20により近い方のオーミック電極(ソース電極14s)として、ゲート電極20と対向する側の少なくとも一方の隅(電子線の描画開始位置側の隅)がカットされた矩形形状のものを採用しておく。
【選択図】図2
Description
て、半導体基体の一方の面に、不活性領域によって囲まれた活性領域であって、第1オーミック電極の全域及び第2オーミック電極の全域が配置される矩形状部分と、ゲート電極下となる部分及びゲート電極下とならない部分を備えた,矩形状部分から各電極の並び方向に垂直な方向に突出した突出部分とを含む活性領域が設けられている構成を有する。
図1に、第1実施形態に係る半導体装置1の製造途中の断面図を示す。なお、この図1及び以下で説明に用いる各図は、半導体装置1(又は、半導体装置2、3)の構成を模式的に示したもの(各部のサイズ、位置を適宜変更してあるもの)であると共に、各図における各部のサイズ等も合わせていないものである。また、幾つかの図は、煩雑になるのを避けるために、符号“10”の図示を省略したものとなっている。
。なお、バッファ層12aは、SiC基板11表面の格子欠陥が電子走行層12bに伝播するのを防ぐためにSiC基板11上に形成される層である。このバッファ層12aとしては、例えば、GaN層が形成される。
I(Poly Methyl Glutarimide)層が形成される。また、レジスト層18としては、例え
ば、日本ゼオン社製のZEP520層が形成される。
純に狭くした半導体装置にて電子線が揺らぐ(図9参照。)のは、この工程である。
以下、図4を用いて、第2実施形態に係る半導体装置2の構成を、半導体装置1と異なっている部分を中心に説明する。
以下、図6及び図7を用いて、第3実施形態に係る半導体装置3の構成を、半導体装置1と異なっている部分を中心に説明する。なお、図6は、ゲート電極20の上部や窒化珪素膜15の図示を省略した半導体装置3の上面図である。また、図7は、半導体装置3の,図6にA−A′と示してある部分の断面図である。
上記した各実施形態に係る半導体装置1〜3に対しては、各種の変形を行うことが出来る。例えば、既に説明した理由から、図4に示した構成を採用した方が高性能な半導体装置2が得られるのであるが、半導体装置2を、図5に示した構成を有するものに変形することも出来る。
ーミック電極が、この順に配置された半導体装置であって、
前記第1オーミック電極と前記ゲート電極との間の距離が、前記第2オーミック電極と前記ゲート電極との間の距離よりも短く、
前記第1オーミック電極が、前記ゲート電極と対向する側の少なくとも一方の隅がカットされた矩形形状を有する
ことを特徴とする半導体装置。
ことを特徴とする付記1に記載の半導体装置。
前記第1オーミック電極の前記第1方向の長さが、前記第2オーミック電極の前記第1方向の長さよりも長く、
前記第1オーミック電極の前記第1方向の,隅がカットされている側の端部が、不活性領域上に配置され、
前記第1オーミック電極の残りの部分及び前記第2オーミック電極の全域が、前記半導体基体の前記活性領域上に配置されている
ことを特徴とする付記1に記載の半導体装置。
前記半導体基体の前記一方の面に、
不活性領域によって囲まれた活性領域であって、前記第1オーミック電極の全域及び前記第2オーミック電極の全域が配置される矩形状部分と、前記ゲート電極下となる部分及び前記ゲート電極下とならない部分を備えた,前記矩形状部分から各電極の並び方向に垂直な方向に突出した突出部分とを含む活性領域が設けられている
ことを特徴とする半導体装置。
前記活性領域の前記突出部分が、
前記ゲート電極下となる部分と、前記ゲート電極よりも前記第1オーミック電極側となる部分とからなる
ことを特徴とする付記4に記載の半導体装置。
ことを特徴とする付記1乃至付記5のいずれか一項に記載の半導体装置。
前記半導体基体の前記一方の面上に、前記第2オーミック電極を形成すると共に、前記第1オーミック電極として、前記ゲート電極と対向する側の少なくとも一方の隅がカットされた矩形形状を有する電極を形成する電極形成工程と、
ゲート電極を形成するために、前記電極形成工程後に行われる電子線描画工程と、
を含むことを特徴とする半導体装置の製造方法。
基板の一方の面上に、不活性領域と、当該不活性領域によって囲まれた活性領域であって、前記第1オーミック電極の全域及び前記第2オーミック電極の全域が配置される矩形状部分、並びに、前記ゲート電極下となる部分及び前記ゲート電極下とならない部分を備えた前記矩形状部分から各電極の並び方向に垂直な方向に突出した突出部分を含む活性領域とを形成する工程と、
前記基板の前記一方の面上に形成された前記活性領域上に、前記第1オーミック電極及び前記第2オーミック電極を形成する工程と、
前記活性領域の前記矩形状部分及び前記突出部分を横切る形状の前記ゲート電極を形成するために行われる電子線描画工程と、
を含むことを特徴とする半導体装置の製造方法。
それぞれ、少なくとも一隅がカットされた矩形形状を有する2つのオーミック電極であって、カットされている隅が対向するように所定間隔をおいて前記半導体基体の一方の面上に配置された2つのオーミック電極と、
前記半導体基体の前記一方の面上の,前記2つのオーミック電極の間隙部分に配置されたゲート電極と、
を備えることを特徴とする半導体装置。
10 半導体基体
11 基板
12 活性領域
12a バッファ層
12b GaN電子走行層
12c AlGaN電子供給層
12d GaN表面層
13 不活性領域
14s ソース電極
14d ドレイン電極
15 窒化珪素膜
16,17,18 レジスト層
19 ゲートメタル
20 ゲート電極
Claims (7)
- 半導体基体の一方の面上に、第1オーミック電極、ゲート電極及び第2オーミック電極が、この順に配置された半導体装置であって、
第1オーミック電極とゲート電極との間の距離が、第2オーミック電極とゲート電極との間の距離よりも短く、
第1オーミック電極が、ゲート電極と対向する側の少なくとも一方の隅がカットされた矩形形状を有する
ことを特徴とする半導体装置。 - 第1オーミック電極の全域及び第2オーミック電極の全域が、半導体基体の一方の面に設けられている活性領域上に配置されている
ことを特徴とする請求項1に記載の半導体装置。 - 半導体基体の一方の面に、活性領域、及び、当該活性領域を囲む不活性領域が、各電極の並び方向である第1方向に平行又は垂直な境界を有するように設けられており、
第1オーミック電極の第1方向の長さが、第2オーミック電極の第1方向の長さよりも長く、
第1オーミック電極の第1方向の,隅がカットされている側の端部が、不活性領域上に配置され、
第1オーミック電極の残りの部分及び第2オーミック電極の全域が、半導体基体の活性領域上に配置されている
ことを特徴とする請求項1に記載の半導体装置。 - 半導体基体の一方の面上に、第1オーミック電極、ゲート電極及び第2オーミック電極が、この順に配置された半導体装置であって、
半導体基体の一方の面に、
不活性領域によって囲まれた活性領域であって、第1オーミック電極の全域及び第2オーミック電極の全域が配置される矩形状部分と、ゲート電極下となる部分及びゲート電極下とならない部分を備えた,矩形状部分から各電極の並び方向に垂直な方向に突出した突出部分とを含む活性領域が設けられている
ことを特徴とする半導体装置。 - 第1オーミック電極とゲート電極との間の距離が、第2オーミック電極とゲート電極との間の距離よりも短く、
活性領域の突出部分が、
ゲート電極下となる部分と、ゲート電極よりも第1オーミック電極側となる部分とからなる
ことを特徴とする請求項4に記載の半導体装置。 - 半導体基体の一方の面上に、第1オーミック電極、ゲート電極及び第2オーミック電極が、この順に、第1オーミック電極とゲート電極との間の距離が、第2オーミック電極とゲート電極との間の距離よりも短くなるように配置された半導体装置の製造方法であって、
半導体基体の一方の面上に、第2オーミック電極を形成すると共に、第1オーミック電極として、ゲート電極と対向する側の少なくとも一方の隅がカットされた矩形形状を有する電極を形成する電極形成工程と、
ゲート電極を形成するために、電極形成工程後に行われる電子線描画工程と、
を含むことを特徴とする半導体装置の製造方法。 - 第1オーミック電極、ゲート電極及び第2オーミック電極を備えた半導体装置の製造方法であって、
基板の一方の面上に、不活性領域と、当該不活性領域によって囲まれた活性領域であって、第1オーミック電極の全域及び第2オーミック電極の全域が配置される矩形状部分、並びに、ゲート電極下となる部分及びゲート電極下とならない部分を備えた矩形状部分から各電極の並び方向に垂直な方向に突出した突出部分を含む活性領域とを形成する工程と、
基板の一方の面上に形成された活性領域上に、第1オーミック電極及び第2オーミック電極を形成する工程と、
活性領域の矩形状部分及び突出部分を横切る形状のゲート電極を形成するために行われる電子線描画工程と、
を含むことを特徴とする半導体装置の製造方法。
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CN106098563A (zh) * | 2016-08-25 | 2016-11-09 | 武汉华星光电技术有限公司 | 窄边框显示面板、薄膜晶体管及其制备方法 |
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- 2010-06-15 JP JP2010135943A patent/JP5672785B2/ja active Active
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