JP2011507206A - 特にeuv放射のためのガス放電光源 - Google Patents
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Abstract
Description
2 真空室
3 回転軸
4 槽
5 液体金属
6 ガス放電
7 レーザパルス
8 屑を減らすための装置
9 金属スクリーン
10 スクリーン
11 かき取り器
12 コンデンサバンク
13 導電体
14 金属ブロック
15 槽
16 供給経路
17 戻り経路
18 光源点
19 ギャップ
20 入口
21 出口
100 陰極ホイール
110 陰極体
120 陽極体
130 回転ドライブ
140 液体錫を供給するための装置
150 軸
160 ギャップ
170 セラミックのリング
180 絶縁体リング
190 レーザパルス
200 コンデンサバンク
210 軸
220 ディスク
240 放電領域
250 錫の槽
260 中間板
270 電流経路
280 陽極ホイール
290 絶縁体リング
Claims (14)
- 特にEUV放射及び/又は軟X線放射を生成するためのガス放電光源であって、少なくとも、
2つの電極体であって、そのうちの第1の電極体が回転可能に装着された電極ディスクを有する、2つの電極体と、
前記電極ディスクのための回転ドライブと、
前記電極ディスクの径方向外側の表面に目標物質の液体膜を塗布するための装置と、
前記液体膜から目標物質を蒸発させるために、放電領域において、前記電極ディスクの径方向外側の表面に、フォーカスされたレーザビームを発するためのレーザと、
を有するガス放電光源において、前記電極体の間に、中間の空間が形成され、前記空間の幅は、前記放電領域の外において、前記放電領域における距離に比べて、5mm未満に低減されたことを特徴とする、ガス放電光源。 - 第2の電極体が、前記放電領域において、前記ディスクの径方向外側の表面に対して垂直な方向に、前記電極ディスクの上に突出しないことを特徴とする、請求項1に記載のガス放電光源。
- 前記電極ディスクは、前記放電領域において、前記ディスクの径方向外側の表面に対して垂直な方向に、前記第2の電極体よりも上に突出することを特徴とする、請求項2に記載のガス放電光源。
- 前記第2の電極体は、前記第1の電極体を横方向に囲むことを特徴とする、請求項1乃至3のいずれか一項に記載のガス放電光源。
- 前記第2の電極体は、前記電極ディスクの通過を可能とするための、前記放電領域に面する部分におけるギャップを有し、又は、前記第1の電極体を中心に回転対称となるように構成されたことを特徴とする、請求項4に記載のガス放電光源。
- 前記第2の電極体はドーム型であることを特徴とする、請求項4又は5に記載のガス放電光源。
- 前記回転ドライブはベルトを有し、前記ベルトを介してモータが前記電極ディスクを駆動することを特徴とする、請求項1乃至6のいずれか一項に記載のガス放電光源。
- 前記電極体は、1Pa以上のガス圧が設定された真空容器のなかに配置されたことを特徴とする、請求項1乃至7のいずれか一項に記載のガス放電光源。
- 前記中間の空間が、前記電極体の間のギャップとなるように構成されたことを特徴とする、請求項1乃至8のいずれか一項に記載のガス放電光源。
- 前記中間の空間は、絶縁物質により部分的に又は完全に満たされることを特徴とする、請求項1乃至8のいずれか一項に記載のガス放電光源。
- 前記放電領域の位置において、前記電極ディスクの通過を可能とするためのスロットと、前記電極体の間の電流経路を規定するための1つ以上の開口と、を持つ中間板が配置されたことを特徴とする、請求項1乃至10のいずれか一項に記載のガス放電光源。
- 前記第2の電極体は固定されるように構成されることを特徴とする、請求項1乃至11のいずれか一項に記載のガス放電光源。
- 前記第2の電極体は、前記放電領域まで延在する1つ以上の回転可能な構成要素を有することを特徴とする、請求項1乃至11のいずれか一項に記載のガス放電光源。
- 前記放電領域に存在するガスを予めイオン化するための装置を有することを特徴とする、請求項1乃至13のいずれか一項に記載のガス放電光源。
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