JP2011501343A - 半導体テストパターン信号の逓倍装置 - Google Patents
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Abstract
Description
2:テストヘッド
3:ハンドラー
5:制御コンピューター
10:PG
30:PE部
31:ドライバー
33:コンパレータ
50:DUT
70:インターフェース部
60、100:半導体テストパターン信号の逓倍装置
61、110:第1テストパターン信号発生部
62、120:第2テストパターン信号発生部
63、140:第1フォーマッタ
64、150:第2フォーマッタ
67:XOR論理回路部
130:エンコーダー部
131:第1エンコーディング部
133:第2エンコーディング部
135:バッファー部
160:周波数逓倍部
Claims (5)
- 半導体テストパターン信号を複数個に分離して同時に出力するパターン信号分離/出力手段及び、
前記パターン信号分離/出力手段から入力される複数の分離信号を、分離される以前の前記半導体テストパターン信号に還元して被試験半導体にテストパターンを記録するドライバーに出力するが、前記分離信号の周波数帯域より予め決まった周波数帯域に逓倍して出力するパターン信号還元/逓倍手段とを含んでなる半導体テストパターン信号の逓倍装置。 - 前記パターン信号分離/出力手段は、半導体テストパターン信号で予め決まった部分を発生させて出力する第1パターン信号発生部と、
半導体テストパターン信号で前記第1パターン信号発生部で出力されるものとは異なる部分を発生させて出力する第2パターン信号発生部とを含んでなり、
前記パターン信号還元/逓倍手段は、前記第1パターン信号発生部と前記第2パターン信号発生部から入力される信号をそれぞれ異なるパターン体系に変換して出力するエンコーダー部と、
前記エンコーダー部から入力される信号にタイミング値を結合して出力する第1フォーマッタと、
前記エンコーダー部から入力される信号に前記第1フォーマッタが生成するものとは異なるタイミング値を結合して出力する第2フォーマッタ及び、
前記第1フォーマッタと前記第2フォーマッタから入力される信号を逓倍して1つの信号で出力する周波数逓倍部とを含んでなることを特徴とする請求項1に記載の半導体テストパターン信号の逓倍装置。 - 前記第1フォーマッタ及び前記第2フォーマッタで生成されるタイミング値は相互180゜の位相差を有することを特徴とする請求項2に記載の半導体テストパターン信号の逓倍装置。
- 前記エンコーダー部は、第1パターン信号発生部から入力される信号とバッファー部から入力される信号を論理演算して出力する第1エンコーディング部と、
前記第1エンコーディング部から入力される信号と前記第2パターン信号発生部から入力される信号を論理演算して出力する第2エンコーディング部及び、周期的に発生されるクロック信号に合わせて前記第2エンコーディング部から入力される信号を前記第1エンコーディング部に伝達するバッファー部とを含んでなることを特徴とする請求項2又は請求項3に記載の半導体テストパターン信号の逓倍装置。 - 前記第1エンコーディング部と前記第2エンコーディング部はXOR論理回路素子で具現され、前記バッファー部はD−フリップフロップ素子で具現されることを特徴とする請求項4に記載の半導体テストパターン信号の逓倍装置。
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Citations (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS6469973A (en) * | 1987-09-11 | 1989-03-15 | Hitachi Ltd | Testing apparatus of lsi |
JPH04213212A (ja) * | 1990-12-10 | 1992-08-04 | Ando Electric Co Ltd | 高速パターン発生器 |
JPH0943317A (ja) * | 1995-07-26 | 1997-02-14 | Advantest Corp | 高速パターン発生方法及びこの方法を用いた高速パターン発生器 |
JPH10125095A (ja) * | 1996-10-18 | 1998-05-15 | Advantest Corp | 半導体メモリ試験装置 |
JP2004030775A (ja) * | 2002-06-25 | 2004-01-29 | Advantest Corp | 半導体メモリ試験装置 |
JP2004111029A (ja) * | 2002-08-30 | 2004-04-08 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 半導体集積回路およびメモリのテスト方法 |
Family Cites Families (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE69100176T2 (de) * | 1991-11-11 | 1993-10-28 | Hewlett Packard Gmbh | Impulsformerschaltung. |
US6032275A (en) * | 1996-01-12 | 2000-02-29 | Advantest Corp. | Test pattern generator |
JP3501200B2 (ja) * | 1997-02-21 | 2004-03-02 | 株式会社アドバンテスト | Ic試験装置 |
US6092225A (en) * | 1999-01-29 | 2000-07-18 | Credence Systems Corporation | Algorithmic pattern generator for integrated circuit tester |
WO2002103379A1 (fr) * | 2001-06-13 | 2002-12-27 | Advantest Corporation | Instrument destine a tester des dispositifs semi-conducteurs et procede destine a tester des dispositifs semi-conducteurs |
KR101057742B1 (ko) * | 2003-10-31 | 2011-08-19 | 매그나칩 반도체 유한회사 | 웨이퍼 레벨의 반도체 메모리 장치의 테스트 회로 |
JP2006189336A (ja) * | 2005-01-06 | 2006-07-20 | Advantest Corp | 半導体デバイス、試験装置、及び測定方法 |
KR100657830B1 (ko) * | 2005-01-24 | 2006-12-14 | 삼성전자주식회사 | 반도체 메모리 장치의 테스트 장치 및 방법 |
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Patent Citations (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS6469973A (en) * | 1987-09-11 | 1989-03-15 | Hitachi Ltd | Testing apparatus of lsi |
JPH04213212A (ja) * | 1990-12-10 | 1992-08-04 | Ando Electric Co Ltd | 高速パターン発生器 |
JPH0943317A (ja) * | 1995-07-26 | 1997-02-14 | Advantest Corp | 高速パターン発生方法及びこの方法を用いた高速パターン発生器 |
JPH10125095A (ja) * | 1996-10-18 | 1998-05-15 | Advantest Corp | 半導体メモリ試験装置 |
JP2004030775A (ja) * | 2002-06-25 | 2004-01-29 | Advantest Corp | 半導体メモリ試験装置 |
JP2004111029A (ja) * | 2002-08-30 | 2004-04-08 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 半導体集積回路およびメモリのテスト方法 |
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