JP2011256242A - ポリイミド前駆体、感光性樹脂組成物及びテトラカルボン酸二無水物 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】本発明のポリイミド前駆体は、テトラカルボン酸二無水物と、ジアミンと、を反応させて得られるポリイミド前駆体であって、テトラカルボン酸二無水物成分の少なくとも1種が下記一般式(1)で表される構造を有することを特徴とする。
【化1】
(式(1)中、R1は1個以上の環状構造を有する2価の有機基であり、R2は炭素数2から炭素数10のアルキレン基である。R2の構造は単一でも異なっていてもよい。mおよびnは1以上の整数を表し、2≦m+n≦60、かつm+n個のR2に含まれる炭素数の合計が5以上である。)
【選択図】なし
Description
本発明に係るポリイミド前駆体は、下記一般式(1)で表わされる構造を有するテトラカルボン酸二無水物とジアミンを反応させて得られる。テトラカルボン酸二無水物としては、1種類のテトラカルボン酸を用いてもよく、2種類以上のテトラカルボン酸二無水物を混合して用いてもよい。2種類以上のテトラカルボン酸二無水物を用いる場合には、少なくとも1種類のテトラカルボン酸二無水物が下記一般式(1)で表わされるテトラカルボン酸二無水物を用いる。
本発明に係る感光性樹脂組成物は、上記ポリイミド前駆体と、感光剤と、を含有する。本発明における感光剤とは、光照射により樹脂組成物の溶媒に対する溶解性を変化させる性質を有する化合物である。このような化合物としては、光照射部位が不溶化する光重合開始剤などが挙げられる。
本発明に係る樹脂組成物において、感光剤としては、分子内に少なくとも2個以上の光重合可能な不飽和二重結合を有する光重合性化合物を含むことが好ましい。分子内に2個以上の光重合可能な不飽和二重結合を有する光重合性化合物としては、トリシクロデカンジメチロールジアクリレート、エチレンオキシド(EO)変性ビスフェノールAジメタクリレート、EO変性水添ビスフェノールAジアクリレート、1,6−ヘキサンジオール(メタ)アクリレート、1,4−シクロヘキサンジオールジ(メタ)アクリレート、ポリプロピレングリコールジ(メタ)アクリレート、ポリエチレングリコールジ(メタ)アクリレート、2−ジ(p−ヒドロキシフェニル)プロパンジ(メタ)アクリレート、グリセロールトリ(メタ)アクリレート、トリメチロールプロパントリ(メタ)アクリレート、ポリオキシプロピルトリメチロールプロパントリ(メタ)アクリレート、ポリオキシエチルトリメチロールプロパントリ(メタ)アクリレート、ジペンタエリスリトールペンタ(メタ)アクリレート、トリメチロールプロパントリグリシジルエーテル(メタ)アクリレート、ビスフェノールAジグリシジルエーテルジ(メタ)アクリレート、β―ヒドロキシプロピル−β’−(アクリロイルキシ)−プロピルフタレート、フェノキシポリエチレングリコール(メタ)アクリレート、ノニルフェノキシポリエチレングリコール(メタ)アクリレート、ペンタエリスリトールトリ(メタ)アクリレート、ペンタエリスリトールテトラ(メタ)アクリレート、ペンタエリスリトールトリ/テトラ(メタ)アクリレートなどが挙げられる。その中で、焼成後の反りの観点から、EO変性ビスフェノールAジメタクリレート、EO変性水添ビスフェノールAジアクリレート、ペンタエリスリトールトリ/テトラ(メタ)アクリレートが好ましい。
本発明における感光性樹脂組成物には、焼成後のフィルムの靭性や耐溶剤性、耐熱性(熱安定性)を向上させるため、熱硬化性樹脂、及びポリイミド前駆体と反応性を有する化合物からなる群から選択された少なくとも1つの反応性化合物を含有することができる。
本発明に係る感光性樹脂組成物は、リン化合物を含有することが好ましい。リン化合物は、構造中にリン原子を含む化合物であれば限定されない。このようなリン化合物として、リン酸エステル化合物、ホスファゼン化合物などが挙げられる。
本発明に係る感光性樹脂組成物は、任意で、有機溶剤を含有してもよい。
本発明に係る感光性樹脂組成物は感光性フィルムに好適に用いることができる。感光性フィルムを製造するという観点からは、感光性樹脂組成物におけるポリイミド前駆体の濃度は、1質量%以上、90質量%以下が好ましい。ポリイミド前駆体の濃度は、感光性フィルムの膜厚の観点から1質量%以上が好ましく、感光性樹脂組成物の粘度、膜厚の均一性の観点から90質量%以下が好ましい。得られる感光性フィルムの膜厚の観点から、2質量%以上、80質量%以下がより好ましい。
まず、感光性樹脂組成物を基材にコートする。基材としては、感光性ドライフィルム形成の際に損傷しない基材であれば、限定されない。このような基材としては、シリコンウエハ、ガラス、セラミック、耐熱性樹脂、キャリアフィルムなどが挙げられる。本発明におけるキャリアフィルムとしては、ポリエチレンテレフタレートフィルムや金属フィルムが挙げられる。取扱いの良さから、耐熱性樹脂及びキャリアフィルムが好ましく、基板圧着後の剥離性の観点から、ポリエチレンテレフタレートフィルムが特に好ましい。
次に、本発明の効果を明確にするために行った実施例について説明する。なお、本発明は、以下の実施例によって何ら限定されるものではない。
実施例及び比較例において、用いた試薬であるCRD−2(エチレンオキシド2モル付加体)、CRD−18(エチレンオキシド18モル付加体)、CRD−181(プロピレンオキシド18モル付加体)、CRD−30(エチレンオキシド30モル付加体)(下記一般式(11)、東邦化学工業社製)、TMEG(商標名:リカシッドTMEG−100(新日本理化社製)、10BTA(黒金化成社製))、BAPP(和歌山精化工業社製)、APB(商標名:APB−N(三菱化学社製))、ジェファーミンXTJ−542(商標名:ジェファーミンXTJ−542(ハンツマン社製))、シアノフェニル基を有する環状ホスファゼン化合物(商標名:FP−300(伏見製薬所社製))、EO変性ビスフェノールAジメタクリレート(商標名:BPE−500(新中村化学工業社製))、ペンタエリスリトールトリ/テトラ(メタ)アクリレート(商標名:アロニックスM−306(東亞合成社製)、エタノン1−[9−エチル−6−(2−メチルベンゾイル)−9H−カルバゾール−3−イル]−1−(O−アセチルオキシム)(商標名:IRGACURE OXE 02(チバ・ジャパン社製))、トルエン(和光純薬工業社製、有機合成用)、γ―ブチロラクトン(和光純薬工業社製)、炭酸ナトリウム(和光純薬工業社製)は特別な精製を実施せずに、反応に用いた。
重量平均分子量の測定法であるゲルパーミエーションクロマトグラフィー(GPC)は、下記の条件により測定を行った。溶媒としてN,N−ジメチルホルムアミド(和光純薬工業社製、高速液体クロマトグラフ用)を用い、測定前に24.8mmol/Lの臭化リチウム一水和物(和光純薬工業社製、純度99.5%)及び63.2mmol/Lのリン酸(和光純薬工業社製、高速液体クロマトグラフ用)を加えたものを使用した。
カラム:Shodex KD−806M(昭和電工社製)
流速:1.0mL/分
カラム温度:40℃
ポンプ:PU−2080Plus(JASCO社製)
検出器:RI−2031Plus(RI:示差屈折計、JASCO社製)
UV―2075Plus(UV−VIS:紫外可視吸光計、JASCO社製)
また、重量平均分子量を算出するための検量線は、スタンダードポリスチレン(東ソー社製)を用いて作成した。
硬化体の膜厚は、膜厚計(Mitutoyo社製、ID−C112B)を用いて測定した。
ポリイミド前駆体溶液をFILMCOATER(TESTER SANGYO社製、PI1210)を用いるドクターブレード法によりPETフィルム(帝人デュポンフィルム社製、G2)にクリアランス150μmでコートを行った。ポリイミド前駆体溶液をコートしたPETフィルムを、乾燥器(ESPEC社製、SPHH−10l)を用いて95℃で12分間乾燥し、得られたポリイミド前駆体膜を剥離した。剥離したポリイミド前駆体膜を、表面処理したPETフィルム(帝人デュポンフィルム社製、N152Q)に高耐熱粘着テープで貼り付け、上記乾燥器を用いて120℃で1時間、続いて180℃で1時間焼成を行った。焼成によって得られたポリイミド膜を剥離し、示差熱熱重量同時測定装置(エスアイアイ・ナノテクノロジー社製、TG/DTA6200)を用いて、260℃で1時間保持したときの熱重量減少を測定した。重量減少が5%未満の場合を○、5%以上の場合を×とした。
感光性樹脂組成物のコート方法は、FILMCOATER(TESTER SANGYO社製、PI1210)を用いるドクターブレード法により行った。PETフィルム(帝人デユポンフィルム社製、N152Q)に上記感光性樹脂組成物を滴下し、クリアランス150μmでコートを行った。コートした上記フィルムを、乾燥器(ESPEC社製、SPHH−10l)を用いて95℃で12分間乾燥することにより、感光性ドライフィルムを得た。
本発明におけるラミネートは、真空プレス機(名機製作所社製)を用いて行った。プレス温度80℃、プレス圧0.5MPa、プレス時間60秒間にて行った。
得られた感光性ドライフィルムを、カプトン(登録商標)に上記ラミネート条件にてラミネートした後に、160℃から180℃で1時間焼成を行った。該フィルムを5cm角に切り出し、端部の浮き高さが10mm以内のものを○、それ以上に浮き高さがあるものを×とした。
難燃性評価は、ポリイミドフィルム(Kapton EN−100 商品名 東レ・デュポン社製)上に、感光性ドライフィルムを用いて、上記のラミネート条件でラミネートした後に、120℃で1時間、続いて180℃で1時間焼成を行った。
本発明における熱塩基発生剤1の合成は、下記のように実施した。
3,4’―ジアミノジフェニルエーテル(250mmol)をテトラヒドロフラン(140g)に溶解させ、二炭酸ジ−t−ブチル(550mmol)のテトラヒドロフラン溶液を3時間かけて滴下した。滴下終了後、50℃にて5時間撹拌した後に、室温まで冷却し、反応液を蒸留水(1000g)に注ぎ、析出した固体を酢酸エチル(300mL)にて3回抽出し、続いて有機層を5質量%の炭酸水素ナトリウム水溶液(200mL)で3回洗浄し、蒸留水(200mL)で3回洗浄し、硫酸マグネシウムで乾燥後、減圧濃縮することに白色固体を得た。本固体をエタノール−ヘキサン混合溶媒から再結晶することにより、熱塩基発生剤1を得た。
窒素雰囲気下、セパラブルフラスコにCRD−18(5.48g(4mmol))とTMEG(2.46g(6mmol))を入れ、γ−ブチロラクトン(19.63g)を加えて攪拌した。窒素気流下、室温で攪拌しながらAPB(2.63g(9mmol))を加え、40℃のオイルバスで5時間加熱攪拌し、ポリイミド前駆体(1)溶液を得た。得られたポリイミド前駆体(1)の重量平均分子量を下記表1、耐熱性評価結果を下記表2に示す。
実施例1で合成したポリイミド前駆体(1)溶液に、ポリイミド前駆体(1)100質量部に対して、BPE−500(30質量部)、M−306(5質量部)、IRGACURE OXE 02(1質量部)、FP−300(40質量部)を混合し、感光性樹脂組成物を調整した。上記感光性樹脂組成物の難燃性試験、焼成後のフィルムの反り測定を行った。結果を下記表2に示す。
実施例1で合成したポリイミド前駆体(1)溶液に、ポリイミド前駆体(1)100質量部に対して、BPE−500(30質量部)、M−306(5質量部)、IRGACURE OXE 02(1質量部)、FP−300(40質量部)、熱塩基発生剤1(2.5質量部)を混合し、感光性樹脂組成物を調整した。上記感光性樹脂組成物の難燃性試験、焼成後のフィルムの反り測定を行った。結果を下記表2に示す。
窒素雰囲気下、セパラブルフラスコにCRD−30(5.12g(2.7mmol))と10BTA(2.62g(5mmol))を入れ、γ−ブチロラクトン(24.72g)を加えて攪拌した。窒素気流下、室温で攪拌しながらBAPP(2.85g(6.9mmol))を加え、50℃のオイルバスで5時間加熱攪拌し、ポリイミド前駆体(2)溶液を得た。得られたポリイミド前駆体(2)の重量平均分子量を下記表1に示す。
窒素雰囲気下、セパラブルフラスコにCRD−181(6.49g(4mmol))とTMEG(2.46g(6mmol))を入れ、γ−ブチロラクトン(21.51g)を加えて攪拌した。窒素気流下、室温で攪拌しながらAPB(2.63g(9mmol))を加え、40℃のオイルバスで5時間加熱攪拌し、ポリイミド前駆体(3)溶液を得た。得られたポリイミド前駆体(3)の重量平均分子量を下記表1に示す。
窒素雰囲気下、セパラブルフラスコに下記一般式(12)で表されるリン含有テトラカルボン酸二無水物1(5.86g(4mmol))とTMEG(2.46g(6mmol))を入れ、γ−ブチロラクトン(20.34g)を加えて攪拌した。窒素気流下、室温で攪拌しながらAPB(2.63g(9mmol))を加え、40℃のオイルバスで5時間加熱攪拌し、ポリイミド前駆体(4)溶液を得た。得られたポリイミド前駆体(4)の重量平均分子量を下記表1に示す。
窒素雰囲気下、セパラブルフラスコに上記一般式(12)で表されるリン含有テトラカルボン酸二無水物1(5.86g(4mmol))とTMEG(2.46g(6mmol))を入れ、γ−ブチロラクトン(20.34g)を加えて攪拌した。窒素気流下、室温で攪拌しながら下記式(13)で表されるリン含有ジアミン化合物1(5.06g(9mmol))を加え、40℃のオイルバスで5時間加熱攪拌し、ポリイミド前駆体(5)溶液を得た。得られたポリイミド前駆体(5)の重量平均分子量を下記表1、耐熱性評価結果を下記表2に示す。
窒素雰囲気下、セパラブルフラスコにCRD−2(5.32g(8mmol))とTMEG(4.92g(12mmol))を入れ、γ−ブチロラクトン(28.79g)を加えて攪拌した。窒素気流下、室温で攪拌しながらAPB(5.26g(18mmol))を加え、40℃のオイルバスで5時間加熱攪拌し、ポリイミド前駆体(6)溶液を得た。得られたポリイミド前駆体(6)の重量平均分子量を下記表1に示す。
窒素雰囲気下、セパラブルフラスコに下記式(14)で表されるリン含有テトラカルボン酸二無水物2(5.38g(8mmol))とTMEG(4.92g(12mmol))を入れ、γ−ブチロラクトン(28.90g)を加えて攪拌した。窒素気流下、室温で攪拌しながらAPB(5.26g(18mmol))を加え、40℃のオイルバスで5時間加熱攪拌し、ポリイミド前駆体(7)溶液を得た。得られたポリイミド前駆体(7)の重量平均分子量を下記表1に示す。
窒素雰囲気下、ディーンシュタルク装置及び還流器をつけたセパラブルフラスコに、ジェファーミンXTJ−542(5.47g(5.4mmol))、γブチロラクトン(25g)、TMEG(8.21g(20mmol))、トルエン(25g)を入れ、180℃まで昇温し、180℃で1時間加熱撹拌した。共沸溶媒であるトルエンを除去した後に、25℃まで冷却し、続いてAPB(3.68g(12.6mmol))を加え、25℃で5時間撹拌し、ポリイミド前駆体(8)溶液を得た。得られたポリイミド前駆体(8)の重量平均分子量を下記表1、耐熱性評価結果を下記表2に示す。柔軟性を付与するアルキルエーテル構造がジアミン由来であるため、ポリイミド前駆体(8)の熱重量減少が大きいことが分かった。
Claims (18)
- 前記一般式(1)におけるR1が下記一般式(2)、下記一般式(3)及び下記一般式(4)から選ばれる1種で表される構造であることを特徴とする請求項1に記載のポリイミド前駆体。
- 前記一般式(1)におけるR1がリン原子を含むことを特徴とする請求項1に記載のポリイミド前駆体。
- 前記一般式(1)におけるR1が下記一般式(5)、下記一般式(6)、下記一般式(7)から選ばれる1種で表される構造を有することを特徴とする請求項3に記載のポリイミド前駆体。
- 前記一般式(8)におけるR18が下記一般式(5)、下記一般式(6)、下記一般式(7)から選ばれる1種で表される構造を有することを特徴とする請求項5に記載のテトラカルボン酸二無水物。
- 請求項5又は請求項6に記載のテトラカルボン酸二無水物と、ジアミンと、を反応させて得られることを特徴とするポリイミド前駆体。
- 請求項1から請求項4又は請求項7のいずれかに記載のポリイミド前駆体と、感光剤と、を含有することを特徴とする感光性樹脂組成物。
- 前記感光剤が光重合開始剤であり、さらに、分子内に少なくとも2個以上の光重合可能な不飽和二重結合を有する光重合性化合物を含むことを特徴とする請求項8に記載の感光性樹脂組成物。
- 前記光重合性化合物として、分子内に光重合可能な二重結合を2個有する化合物と分子内に光重合可能な二重結合を3個以上有する化合物とを共に含むことを特徴とする請求項8又は請求項9に記載の感光性樹脂組成物。
- 熱硬化性樹脂及び/又はポリイミド前駆体との反応性を有する反応性化合物を含むことを特徴とする請求項8から請求項10のいずれかに記載の感光性樹脂組成物。
- リン化合物を含むことを特徴とする請求項8から請求項11のいずれかに記載の感光性樹脂組成物。
- 前記リン化合物として、リン酸エステル化合物及び/又はホスファゼン化合物を含むことを特徴とする請求項12に記載の感光性樹脂組成物。
- 基材と、前記基材上に設けられた請求項8から請求項13のいずれかに記載の感光性樹脂組成物と、を備えたことを特徴とする感光性フィルム。
- カバーフィルムを具備することを特徴とする請求項14に記載の感光性フィルム。
- 請求項8から請求項13のいずれかに記載の感光性樹脂組成物をイミド化して得られたことを特徴とするカバーレイ。
- 請求項8から請求項13のいずれかに記載の感光性樹脂組成物をイミド化して得られたことを特徴とするフレキシブルプリント配線板。
- 請求項16に記載のカバーレイと、銅張積層板と、を有することを特徴とする積層体。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2010130311A JP5485802B2 (ja) | 2010-06-07 | 2010-06-07 | ポリイミド前駆体、感光性樹脂組成物及びテトラカルボン酸二無水物 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2010130311A JP5485802B2 (ja) | 2010-06-07 | 2010-06-07 | ポリイミド前駆体、感光性樹脂組成物及びテトラカルボン酸二無水物 |
Publications (3)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2011256242A true JP2011256242A (ja) | 2011-12-22 |
JP2011256242A5 JP2011256242A5 (ja) | 2013-07-25 |
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ID=45472790
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2010130311A Expired - Fee Related JP5485802B2 (ja) | 2010-06-07 | 2010-06-07 | ポリイミド前駆体、感光性樹脂組成物及びテトラカルボン酸二無水物 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP5485802B2 (ja) |
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