JP2011247754A

JP2011247754A - 試験装置及び診断方法

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Publication number: JP2011247754A
Application number: JP2010121417A
Authority: JP
Inventors: Makoto Hayazaki; 誠早崎
Original assignee: Advantest Corp
Current assignee: Advantest Corp
Priority date: 2010-05-27
Filing date: 2010-05-27
Publication date: 2011-12-08

Abstract

【課題】複数の入出力ピンを一度の診断で診断するための試験装置及び試験方法を提供する。
【解決手段】被試験デバイスと信号を受け渡す複数の入出力部と、複数の入出力部におけるそれぞれの入出力部の動作を診断する場合に被試験デバイスに代えて複数の入出力部に接続され、それぞれの入出力部の出力値を入出力部と対応付けて記憶する診断用メモリと、それぞれの入出力部に、診断用メモリから対応する出力値を読み出させ、それぞれの入出力部が読み出した出力値に基づいて、それぞれの出力値に対応する入出力部を診断する診断部とを備える被試験デバイスを試験する試験装置。
【選択図】図２

Description

本発明は、試験装置及び診断方法に関する。

従来、被試験装置を試験する試験装置に備えられるドライバコンパレータ回路内のピンが正常に動作しているかどうかの診断が行われている。診断は、診断用ボード上で複数のピンを互いに接続し、ひとつのピンが出力したレベルを他のピンで測定する方法により行われる。この方法により、各ピンがレベルを正しく出力しているか、および、各ピンが入力レベルを正しく測定しているかどうかが診断される。

なお、診断用ボード上で複数のピンを互いに接続する構成として、ドライバコンパレータ回路内の各ピンの信号出力タイミングおよび信号測定タイミングをキャリブレーションするための診断用ボードが知られている（例えば特許文献１参照）。
特許文献１特開２００４−１５７１２９号公報

従来の診断方法によれば、ひとつのピンがドライバとして動作しているときに、他のピンがコンパレータとして動作する。つまり、すべてのピンをドライバまたはコンパレータのいずれかとして一括して機能させることはできず、ドライバまたはコンパレータのいずれとして機能させるかをピンごとに設定する必要がある。

このため、各ピンの制御が煩雑になってしまう。このような課題は、コストを低減する目的等により、機能を簡略化したい試験装置において顕著となる。また、例えばプログラマブルデバイス等を用いることで再構成可能な試験装置を提供する場合には、プログラマブルデバイス内の回路規模の制限により、上述したピン毎の制御を行う回路を設けることが困難である。

上記課題を解決するために、本発明の第１の態様においては、被試験デバイスを試験する試験装置であって、被試験デバイスと信号を受け渡す複数の入出力部と、複数の入出力部におけるそれぞれの入出力部の動作を診断する場合に被試験デバイスに代えて複数の入出力部に接続され、それぞれの入出力部の出力値を入出力部と対応付けて記憶する診断用メモリと、それぞれの入出力部に、診断用メモリから対応する出力値を読み出させ、それぞれの入出力部が読み出した出力値に基づいて、それぞれの出力値に対応する入出力部を診断する診断部とを備える試験装置が提供される。

なお、上記の発明の概要は、本発明の必要な特徴の全てを列挙したものではない。また、これらの特徴群のサブコンビネーションもまた、発明となりうる。

第１実施形態に係る試験装置２００の機能構成例を示すドライバ回路１００の動作を診断する場合における第１実施形態に係る試験装置２００の構成例を示す。複数の入出力部１４０の動作診断の手順の一例を示す。出力部１０の動作診断の手順の一例を示す。ドライバ回路１００の動作を診断する場合における第２実施形態に係る試験装置２００の構成例を示す。出力部１０の動作診断の手順の一例を示す。ドライバ回路１００の動作を診断する場合における第３実施形態に係る試験装置２００の構成例を示す。グループＧ１の出力部１０の動作診断の手順の一例を示す。グループＧ２の出力部１０の動作診断の手順の一例を示す。

以下、発明の実施の形態を通じて本発明を説明するが、以下の実施形態は特許請求の範囲にかかる発明を限定するものではない。また、実施形態の中で説明されている特徴の組み合わせの全てが発明の解決手段に必須であるとは限らない。

図１は、第１の実施形態に係る試験装置２００の機能構成例を、被試験デバイス３００とあわせて示すブロック図である。試験装置２００は、半導体回路等の被試験デバイス３００を試験する装置であって、パターン発生部１１０、ドライバ回路１００、診断部７０、及び、判定部１２０を備える。なお、試験装置２００は、被試験デバイス３００の機能試験を行う。被試験デバイス３００は、ソケットボード等に載置されてよい。

機能試験は、所定の論理パターンを有するパターン信号を被試験デバイス３００に入力したときに被試験デバイス３００が出力する応答信号に応じて、被試験デバイス３００の良否を判定する試験である。パターン発生部１１０は、所定の論理パターンを有するパターンデータを発生してドライバ回路１００に供給する。例えば、パターン発生部１１０は、使用者等により予め与えられるデータまたはアルゴリズムに基づいて、当該パターンデータを発生する。パターン発生部１１０は、被試験デバイス３００の内部回路に所定の動作を行わせる論理パターンを有するパターンデータを発生してよい。

ドライバ回路１００は、パターン発生部１１０から与えられる入力信号に応じた論理パターンのパターン信号を、被試験デバイス３００における試験対象の各ピンに供給する。また、ドライバ回路１００は、被試験デバイス３００における試験対象の各ピンが出力する応答信号の論理パターンを測定する。

ドライバ回路１００は、複数の入出力部１４０を有する。本例において２個の入出力部１４０がドライバ回路１００に設けられているが、入出力部１４０の個数はこれに限定されない。複数の入出力部１４０のそれぞれは、パターン信号を出力するドライバ２０と、応答信号の論理値を測定するコンパレータ２２とを有する。コンパレータ２２は、測定した論理値を判定部１２０に供給する。なお、パターン発生部１１０は、ドライバ２０毎に設けられてよい。

また、ドライバ回路１００は、被試験デバイス３００に信号を出力する少なくとも１つの出力部１０を更に備えてよい。出力部１０は、コンパレータ２２を有さず、ドライバ２０のみを有してよい。入出力部１４０は、例えばデータピン等の被試験デバイス３００の入出力ピンに割り当てられる。また、出力部１０は、例えばイネーブルピン等の被試験デバイス３００の制御ピンのように、被試験デバイス３００が信号を出力しないピンに割り当てられる。

判定部１２０は、被試験デバイス３００の良否を判定する。判定部１２０は、各コンパレータ２２から受け取る応答信号の論理パターンと、所定の期待値パターンとを比較することで、被試験デバイス３００の良否を判定する論理比較器を有してよい。判定部１２０は、コンパレータ２２毎に設けられてよい。

図２は、ドライバ回路１００の動作を診断する場合における、第１の実施形態に係る試験装置２００の構成例を示す。ドライバ回路１００の動作を診断する場合、ドライバ回路１００には、被試験デバイス３００を載置するソケットボード等に代えて、診断用ボード６０が接続される。

診断用ボード６０は、診断用メモリ５０を載置する。診断用メモリ５０は、複数の入出力部１４０におけるそれぞれの動作を診断する場合に被試験デバイス３００に代えて複数の入出力部１４０に接続され、それぞれの入出力部１４０の出力値を入出力部１４０と対応付けて記憶する。診断用メモリ５０は、複数の入出力部１４０に対応する複数のデータビットＤ０、Ｄ１を有する。診断用メモリ５０は、それぞれの入出力部１４０の出力値を、対応するデータビットＤ０、Ｄ１に格納する。

診断用メモリ５０は、それぞれのアドレスにおいて、複数の入出力部１４０に対応する複数のデータビットＤ０、Ｄ１を有してよい。ここでアドレスとは、診断用メモリ５０における複数の入出力部１４０の出力値を格納する場所を指す。つまり、アドレス毎に、データビットＤ０、Ｄ１が設けられ、複数の入出力部１４０の各々とデータビットＤ０、Ｄ１の各々とが１：１で対応する。

なお、ドライバ回路１００が出力部１０を有する場合、出力部１０のドライバ２０が、診断用メモリ５０のアドレスピンに割り当てられる。診断用メモリ５０は、少なくともひとつの出力部１０に対応して、少なくともひとつのアドレスビットＡ０を有してよい。診断部７０は、診断用メモリ５０のアドレスビットＡ０に出力された出力値に基づいて、入出力部１４０の出力値を書き込むアドレスを指定してよい。

ドライバ回路１００の診断を行う場合、診断部７０は、ドライバ回路１００における全ての入出力部１４０のドライバ２０に、予め定められた論理値を出力させて、診断用メモリ５０の各データビットに書き込ませる。当該論理値は、ドライバ２０毎に異なっていてよい。また診断部７０は、それぞれのパターン発生部１１０を制御することで、それぞれのドライバ２０の出力値を制御してよい。

それぞれのドライバ２０に予め定められた論理値を出力させた後、診断部７０は、それぞれの入出力部１４０のコンパレータ２２に、診断用メモリ５０から対応する出力値を読み出させる。診断部７０は、ドライバ回路１００における全ての入出力部１４０に、対応するデータビットＤ０、Ｄ１に格納された出力値を読み出させる。読み出された出力値は複数の入出力部１４０を通じて、診断部７０に入力される。

診断部７０は、それぞれの入出力部１４０が読み出した出力値に基づいて、それぞれの出力値に対応する入出力部１４０を診断する。つまり、診断部７０は、入出力部１４０に、データビットＤ０、Ｄ１に格納された出力値を読み出させ、書き込み値と同じ値かどうかを診断する。書き込み値と同じ出力値が読み出されれば、診断部７０は、当該入出力部１４０が正常動作していると診断する。一方、書き込み値と異なる出力値が読み出されれば、診断部７０は、当該入出力部１４０が正常動作していないと診断する。

こうすることにより、診断部７０は、書き込みのときにはすべての入出力部１４０をドライバ２０として機能させて、診断用メモリ５０に出力値を書き込み、かつ、読み出しのときにはすべての入出力部１４０をコンパレータ２２として機能させて診断用メモリ５０から出力値を読み出すことができる。結果として、複数の入出力部１４０に対して簡易な制御を行うことで、すべての入出力部１４０が書き込み／読み出し動作を正常に実行することができるか否かを確認することができ、また、診断スピードを改善することができる。

図３は、複数の入出力部１４０の動作診断の手順の一例を示す。診断部７０は、複数の入出力部１４０に、診断用メモリ５０の予め定められたアドレスの各データビットに、対応する出力値を書き込ませる書込処理（Ｗ）を行う。ここで、予め定められたアドレスとは、出力部１０の出力値によって指定されるアドレスを指す。診断部７０は、複数の入出力部１４０をドライバとして機能させ、出力値の組み合わせをデータビットＤ０、Ｄ１に書き込んでよい。

本例では、ステップ１において、診断部７０は、出力部１０にアドレスビットＡ０に対して所定の出力値０を出力させ、アドレスを指定する。診断部７０は、複数の入出力部１４０に当該アドレスのデータビットＤ０、Ｄ１に対して出力値の組み合わせを書き込ませる。

診断部７０は、複数の入出力部１４０に、診断用メモリ５０の当該アドレスの各データビットから、対応する出力値を読み出させる読出処理（Ｒ）を行う。つまり、診断部７０は、複数の入出力部１４０をコンパレータとして機能させ、データビットＤ０、Ｄ１から出力値を読み出させてよい。

本例では、ステップ２において、診断部７０は出力部１０にステップ１と同一の出力値０を出力させ、アドレスを指定する。診断部７０は、複数の入出力部１４０に当該アドレスのデータビットＤ０、Ｄ１から出力値の組み合わせを読み出させる。本例では、ステップ２において読み出した出力値の組み合わせが（０，０）なので、ステップ１における書き込み値と同じとなり、診断部７０は、ステップ１における入出力部１４０の出力値の設定においては、複数の入出力部１４０が正常動作していると診断する。

診断部７０は、書込処理と読出処理とを、複数の入出力部１４０の出力値の設定を変化させる毎に繰り返して、複数の入出力部１４０を診断してよい。ここで、出力値の設定とは、複数の入出力部１４０のそれぞれの出力値の組み合わせを指す。本例では、ステップ３において、診断部７０は出力部１０に所定の出力値０を出力させ、アドレスを指定する。ステップ３において指定されるアドレスは、ステップ１と同一であってよい。

診断部７０は複数の入出力部１４０に当該アドレスのデータビットＤ０、Ｄ１のそれぞれに対して、ステップ１とは設定の異なる出力値を書き込ませる。本例の複数の入出力部１４０は、出力値の組み合わせ（１，１）をデータビットＤ０、Ｄ１に書き込む。

ステップ４において、診断部７０は出力部１０にステップ３と同一の出力値０を出力させ、アドレスを指定する。診断部７０は複数の入出力部１４０に当該アドレスのデータビットＤ０、Ｄ１から出力値の組み合わせを読み出させる。

本例では、ステップ４において読み出した出力値の組み合わせが（１，１）なので、ステップ３での書き込み値と同じとなり、診断部７０は、ステップ３における入出力部１４０の出力値の設定においても、複数の入出力部１４０が正常動作していると診断する。こうして、複数の入出力部１４０の出力値の設定を変化させる毎に、書込処理と読出処理を繰り返すことにより、診断部７０は、すべての入出力部１４０が書込処理及び読出処理を正しく行うことができるか否かを診断することができる。

尚、診断用メモリ５０のデータビットＤ０、Ｄ１に既にデータが格納されている場合であって、そのデータが何かわからない場合には、診断部７０は、診断用メモリ５０を初期化する。本例では、ステップ１の前のステップ０において、初期化処理を行ってよい。初期化は、ステップ１とは設定の異なる出力値を各データビットＤ０、Ｄ１に書込処理することにより行うことができる。

例えば、ステップ０において、診断部７０は、出力部１０に、ステップ１と同一の出力値０を出力させ、アドレスを指定する。診断部７０は複数の入出力部１４０に当該アドレスのデータビットＤ０、Ｄ１に対して出力値の組み合わせ（１，１）を書き込ませる。

診断部７０は、複数の入出力部１４０の診断を行った後に、ドライバ回路１００に設けられた少なくとも１つの出力部１０の診断を行ってよい。つまり、診断部７０は、複数の入出力部１４０が正常動作していると診断した後に、出力部１０の診断を行う。こうすることで、出力部１０の診断を正確に行うことができる。

図４は、出力部１０の動作診断の手順の一例を示す。診断用メモリ５０は、ドライバ回路１００に設けられた少なくとも１つの出力部１０の出力値の組み合わせ毎に異なるアドレスに、それぞれの入出力部１４０の出力値を格納する。例えば、診断用メモリ５０は、少なくとも１つの出力部１０に対応して設けられる少なくとも１つのアドレスピンに入力される論理値の組み合わせにより、アドレスが指定される。

本例ではステップ１において、診断部７０は、出力部１０に所定の出力値０を出力させてアドレスを指定する。このとき、診断部７０は複数の入出力部１４０に所定の出力値の組み合わせ（０，０）を出力させ、当該アドレスのデータビットＤ０、Ｄ１に書き込む。

ステップ２において、診断部７０は出力部１０に、既にデータを書き込んだアドレスとは異なるアドレスを指定する出力値の組み合わせを出力させ（本例ではＡ０＝１）てアドレスを指定する。このとき診断部７０は、既に書き込んだ出力値の組み合わせとは異なる出力値の組み合わせを、複数の入出力部１４０に出力させ（本例では（Ｄ０，Ｄ１）＝（０，１））、当該アドレスのデータビットＤ０、Ｄ１に書き込む。

診断部７０は、試験すべき出力値の組み合わせの設定の全てについて書込処理を行った後に、診断用メモリ５０の対応する各アドレスについて読出処理を行ってよい。本例では、出力部１０の出力値の設定の全ての組み合わせについて、データビットＤ０、Ｄ１にデータを書き込んだ後、診断部７０は、それぞれの入出力部１４０に、診断用メモリ５０の各アドレスから出力値を読み出させ、それぞれの入出力部１４０が読み出した出力値に基づいて、ドライバ回路１００に設けられた少なくとも１つの出力部１０を診断する。

診断部７０は、当該アドレスから読み出した出力値の組み合わせが当該アドレスに書き込んだ出力値の組み合わせと同じ場合には、当該アドレスを指定する出力部１０の出力値の設定については、出力部１０が正常動作していると診断する。

本例ではステップ３において、診断部７０は出力部１０に、ステップ１と同一の出力値０を出力させてアドレスを指定する。このとき診断部７０は複数の入出力部１４０に、当該アドレスのデータビットＤ０、Ｄ１から出力値の組み合わせを読み出させる。ステップ３において読み出した出力値の組み合わせが（０，０）なので、ステップ１における書き込み値と同じとなり、診断部７０は当該アドレスにおいて、各出力部１０が正常動作していると診断する。

ステップ４において、診断部７０は出力部１０に、ステップ２と同一の出力値１を出力させてアドレスを指定する。診断部７０は複数の入出力部１４０に、当該アドレスのデータビットＤ０、Ｄ１から出力値を読み出させる。

本例では、ステップ４において読み出した出力値の組み合わせが（０，１）なので、ステップ２での書き込み値と同じとなり、診断部７０は当該アドレスにおいて各出力部１０が正常動作していると診断する。診断部７０は、出力部１０の出力値の全ての組み合わせについて、データビットＤ０、Ｄ１からデータを読み出して、書き込み値と比較する。本例では、すべてのアドレスにおいて書き込み値と同じ出力値の組み合わせが読み出されたので、診断部７０は各出力部１０が全ての設定値に対して正常動作していると診断する。

診断部７０は、少なくとも１つの出力部１０の出力値の組み合わせの設定を変化させる毎に、複数の入出力部１４０の出力値の組み合わせを変化させて書込処理を行ってよい。より具体的には、診断部７０は、少なくとも１つの出力部１０の出力値の組み合わせの設定が異なる場合に、複数の入出力部１４０の出力値の組み合わせが異なるようにそれぞれの書込処理を行ってよい。こうすることで、異なるアドレスのデータビットＤ０、Ｄ１に同じ出力値の組み合わせが書き込まれることが防止される。したがって、診断部７０は、各出力部１０の診断を正確に行うことができる。

なお、出力部１０がｋ個存在するときの出力値の組み合わせは、２^ｋ通り存在する。本例において、少なくとも１つの出力部１０は１個なので、出力値の組み合わせは２^１＝２通り存在する。なお、ｍ個の入出力部１４０が設けられる場合、入出力部１４０の出力値の組み合わせは２^ｍ通りあるので、診断部７０は、ｍ個までの出力部１０を、同時に診断してよい。

上述したように、診断部７０は、ドライバ回路１００に設けられた少なくとも１つの出力部１０の出力値の組み合わせの全種類が設定されるように当該設定を順次変化させ、当該設定を変化させる毎に書込処理を行う。こうすることで、出力部１０の出力値の組み合わせの全設定について診断を行うことができる。

図５は、ドライバ回路１００の動作を診断する場合における、第２の実施形態に係る試験装置２００の構成例を示す。第１の実施形態と同様の機能を有する部材には同一符号を付し、説明を省略する。第２の実施形態に係るドライバ回路１００は、出力部１０を２個備える点で第１の実施形態に係るドライバ回路１００と異なる。診断用メモリ５０は、２個の出力部１０に対応して、アドレスビットＡ１、Ａ２を有してよい。診断部７０は、診断用メモリ５０のアドレスビットＡ１、Ａ２に出力された出力値に基づいて、入出力部１４０の出力値を書き込むアドレスを指定してよい。

図６は、出力部１０の動作診断の手順の一例を示す。診断用メモリ５０は、ドライバ回路１００に設けられた出力部１０の出力値の組み合わせ毎に異なるアドレスに、それぞれの入出力部１４０の出力値を格納する。本例では、診断部７０は出力部１０の出力値の組み合わせ（０，０）、（０，１）、（１，０）、（１，１）のそれぞれに対して、入出力部１４０の出力値を書き込むアドレスを指定し、それぞれのアドレスのデータビットＤ１、Ｄ２に入出力部１４０の出力値を書き込む。

診断部７０は、ドライバ回路１００に設けられた出力部１０の出力値の組み合わせの全種類が設定されるように当該設定を順次変化させ、当該設定を変化させる毎に書込処理を行ってよい。より具体的には、診断部７０は、ドライバ回路１００に設けられた出力部１０の出力値の組み合わせの設定を変化させる毎に、複数の入出力部１４０の出力値の組み合わせを変化させて書込処理を行ってよい。こうすることで、異なるアドレスのデータビットＤ１、Ｄ２に同じ出力値の組み合わせが書き込まれることが防止される。したがって、診断部７０は、各出力部１０の診断を正確に行うことができる。

本例ではステップ１において、診断部７０は出力部１０に所定の出力値の組み合わせ（０，０）を出力させてアドレスを指定する。このとき、診断部７０は複数の入出力部１４０に所定の出力値の組み合わせ（０，０）を出力させ、当該アドレスのデータビットＤ１、Ｄ２に出力値を書き込む。

ステップ２において、診断部７０は出力部１０に、既にデータを書き込んだアドレスとは異なるアドレスを指定する出力値の組み合わせ（０，１）を出力させて、アドレスを指定する。このとき診断部７０は、既に書き込んだ出力値の組み合わせとは異なる出力値の組み合わせ（０，１）を複数の入出力部１４０に出力させ、当該アドレスのデータビットＤ１、Ｄ２に書き込む。

ステップ３において、診断部７０は出力部１０に、既にデータを書き込んだアドレスとは異なるアドレスを指定する出力値の組み合わせ（１，０）を出力させて、アドレスを指定する。このとき診断部７０は、既に書き込んだ出力値の組み合わせとは異なる出力値の組み合わせ（１，０）を複数の入出力部１４０に出力させ、当該アドレスのデータビットＤ１、Ｄ２に書き込む。

ステップ４において、診断部７０は出力部１０に、既にデータを書き込んだアドレスとは異なるアドレスを指定する出力値の組み合わせ（１，１）を出力させて、アドレスを指定する。このとき診断部７０は、既に書き込んだ出力値の組み合わせとは異なる出力値の組み合わせ（１，１）を複数の入出力部１４０に出力させ、当該アドレスのデータビットＤ１、Ｄ２に書き込む。

書込処理の終了後、診断部７０は、診断用メモリ５０の対応するアドレスについて読出処理を行う。具体的には、診断部７０は、試験すべき出力部１０の出力値の組み合わせの設定の全てについて書込処理を行った後に、診断用メモリ５０の対応する各アドレスについて読出処理を行ってよい。

本例では、出力部１０の出力値の設定の全ての組み合わせについて、データビットＤ１、Ｄ２にデータを書き込んだ後、診断部７０は、それぞれの入出力部１４０に、診断用メモリ５０の各アドレスから出力値を読み出させ、それぞれの入出力部１４０が読み出した出力値に基づいて、ドライバ回路１００に設けられた出力部１０を診断する。診断部７０は、それぞれのアドレスから読み出した出力値の組み合わせが、それぞれのアドレスに書き込んだ出力値の組み合わせと同じ場合には、当該アドレスを指定する出力部１０の出力値の設定については、出力部１０が正常動作していると診断する。

本例では、ステップ５において、診断部７０は出力部１０にステップ１と同一の出力値の組み合わせ（０，０）を出力させて、アドレスを指定する。このとき診断部７０は複数の入出力部１４０に当該アドレスのデータビットＤ１、Ｄ２から出力値の組み合わせを読み出させる。ステップ５において読み出した出力値の組み合わせが（０，０）なので、ステップ１における書き込み値と同じとなり、診断部７０は当該アドレスにおいて出力部１０は正常動作していると診断する。

ステップ６において、診断部７０は出力部１０にステップ２と同一の出力値の組み合わせ（０，１）を出力させて、アドレスを指定する。診断部７０は複数の入出力部１４０に、当該アドレスのデータビットＤ１、Ｄ２から出力値を読み出させる。本例ではステップ６において読み出した出力値の組み合わせが（０，１）なので、ステップ２での書き込み値と同じとなり、診断部７０は、当該アドレスにおいて出力部１０は正常動作していると診断する。

ステップ７において、診断部７０は出力部１０にステップ３と同一の出力値の組み合わせ（１，０）を出力させて、アドレスを指定する。診断部７０は複数の入出力部１４０に、当該アドレスのデータビットＤ１、Ｄ２から出力値を読み出させる。本例ではステップ７において読み出した出力値の組み合わせが（１，０）なので、ステップ３での書き込み値と同じとなり、診断部７０は、当該アドレスにおいて出力部１０は正常動作していると診断する。

ステップ８において、診断部７０は出力部１０にステップ４と同一の出力値の組み合わせ（１，１）を出力させて、アドレスを指定する。診断部７０は複数の入出力部１４０に、当該アドレスのデータビットＤ１、Ｄ２から出力値を読み出させる。本例ではステップ８において読み出した出力値の組み合わせが（１，１）なので、ステップ４での書き込み値と同じとなり、診断部７０は、当該アドレスにおいて出力部１０は正常動作していると診断する。

診断部７０は、出力部１０の出力値の全ての組み合わせについて、データビットＤ１、Ｄ２からデータを読み出して、書き込み値と比較する。本例では、すべてのアドレスにおいて書き込み値と同じ出力値の組み合わせが読み出されたので、診断部７０は各出力部１０がすべての設定値に対して正常動作していると診断する。

図７は、ドライバ回路１００の動作を診断する場合における、第３の実施形態に係る試験装置２００の構成例を示す。図７では、パターン発生部１１０、判定部１２０、診断部７０の記載を省略して示す。第２の実施形態と同様の機能を有する部材には同一の符号を付し、説明を省略する。第３の実施形態に係るドライバ回路１００は、出力部１０の個数が複数の入出力部１４０の個数より多い点で第２の実施形態に係るドライバ回路１００と異なる。

診断部７０は、ドライバ回路１００に設けられた少なくとも１つの出力部１０の個数が、複数の入出力部１４０の個数よりも多い場合に、各グループＧ１、Ｇ２に含まれる出力部１０の個数が複数の入出力部１４０の個数以下となるように、少なくとも１つの出力部１０を複数のグループＧ１、Ｇ２に分割する。本例のドライバ回路１００は、３個の出力部１０及び２個の入出力部１４０を有する。つまり、本例において出力部１０の個数が、複数の入出力部１４０の個数より１個多い。

上記したように、ｍ個の入出力部１４０が設けられる場合、入出力部１４０の出力値の組み合わせは２^ｍ通りあるので、診断部７０が同時に診断できる出力部１０の個数はｍ個までである。すなわち、診断部７０が同時に診断できる出力部１０の個数は入出力部１４０の個数以下となる。

したがって本例では、出力部１０の個数が入出力部１４０の個数以下となるように、複数の出力部１０を２つのグループＧ１、Ｇ２に分割する。グループＧ１は、１個の出力部１０を有する。一方グループＧ２は、２個の出力部１０を有する。

このようにして、複数の出力部１０を複数のグループＧ１、Ｇ２に分割することにより、多数の出力部１０を診断することができる。また、グループに含まれる入出力部１４０の個数を適宜選択（本例では、２個）することにより、診断に必要な診断用メモリ５０のアドレス領域を小さくすることができる。すなわち、出力部１０の数が増えた場合であっても小さい容量の診断用メモリ５０で診断を行うことができる。

診断部７０は、グループ毎に出力部１０の診断を行う。つまり、グループＧ１とグループＧ２を別々に診断する。本例では、グループＧ１に含まれる出力部１０を診断した後、グループＧ２に含まれる出力部１０を診断する。

図８はグループＧ１の出力部１０の動作診断の手順の一例を示す。グループＧ１の出力部１０の診断は、図８に示すように、図４に関連して説明した方法で行ってよい。

図９はグループＧ２の出力部１０の動作診断の手順の一例を示す。グループＧ１の出力部１０の診断は、図９に示すように、図６に関連して説明した方法で行ってよい。このように、複数の出力部１０を複数のグループに分割することで、入出力部１４０よりも多い出力部１０の診断を行うことができる。

以上、本発明を実施の形態を用いて説明したが、本発明の技術的範囲は上記実施の形態に記載の範囲には限定されない。上記実施の形態に、多様な変更または改良を加えることが可能であることが当業者に明らかである。その様な変更または改良を加えた形態も本発明の技術的範囲に含まれ得ることが、特許請求の範囲の記載から明らかである。

特許請求の範囲、明細書、および図面中において示した装置、システム、プログラム、および方法における動作、手順、ステップ、および段階等の各処理の実行順序は、特段「より前に」、「先立って」等と明示しておらず、また、前の処理の出力を後の処理で用いるのでない限り、任意の順序で実現しうることに留意すべきである。特許請求の範囲、明細書、および図面中の動作フローに関して、便宜上「まず、」、「次に、」等を用いて説明したとしても、この順で実施することが必須であることを意味するものではない。

１０・・・出力部、２０・・・ドライバ、２２・・・コンパレータ、５０・・・診断用メモリ、６０・・・診断用ボード、７０・・・診断部、１００・・・ドライバ回路、１１０・・・パターン発生部、１２０・・・判定部、１４０・・・入出力部、２００・・・試験装置、３００・・・被試験デバイス

Claims

被試験デバイスを試験する試験装置であって、
前記被試験デバイスと信号を受け渡す複数の入出力部と、
前記複数の入出力部におけるそれぞれの入出力部の動作を診断する場合に前記被試験デバイスに代えて前記複数の入出力部に接続され、それぞれの前記入出力部の出力値を前記入出力部と対応付けて記憶する診断用メモリと、
それぞれの前記入出力部に、前記診断用メモリから対応する前記出力値を読み出させ、それぞれの前記入出力部が読み出した前記出力値に基づいて、それぞれの前記出力値に対応する前記入出力部を診断する診断部と
を備える試験装置。
前記診断用メモリは、それぞれのアドレスにおいて、前記複数の入出力部に対応する複数のデータビットを有し、
前記診断部は、
前記複数の入出力部に、前記診断用メモリの予め定められたアドレスの各データビットに、対応する前記出力値を書き込ませる書込処理と、
前記複数の入出力部に、前記診断用メモリの当該アドレスの各データビットから、対応する前記出力値を読み出させる読出処理とを、
前記複数の入出力部の前記出力値の設定を変化させる毎に繰り返して、前記複数の入出力部を診断する
請求項１に記載の試験装置。
前記被試験デバイスに信号を出力する少なくとも１つの出力部を更に備え、
前記診断用メモリは、前記少なくとも１つの出力部の前記出力値の組み合わせ毎に異なるアドレスに、それぞれの前記入出力部の出力値を格納し、
前記診断部は、それぞれの前記入出力部に、前記診断用メモリの当該アドレスから前記出力値を読み出させ、それぞれの前記入出力部が読み出した前記出力値に基づいて、前記少なくとも１つの出力部を診断する
請求項２に記載の試験装置。
前記診断部は、
前記少なくとも１つの出力部の前記出力値の組み合わせの設定を変化させる毎に、前記複数の入出力部の前記出力値の組み合わせを変化させて前記書込処理を行い、
試験すべき前記出力値の組み合わせの設定の全てについて前記書込処理を行った後に、前記診断用メモリの対応する各アドレスについて前記読出処理を行う
請求項３に記載の試験装置。
前記診断部は、前記少なくとも１つの出力部の前記出力値の組み合わせの全種類が設定されるように当該設定を順次変化させ、当該設定を変化させる毎に前記書込処理を行う
請求項４に記載の試験装置。
前記診断部は、前記少なくとも１つの出力部の前記出力値の組み合わせの設定が異なる場合に、前記複数の入出力部の前記出力値の組み合わせが異なるようにそれぞれの前記書込処理を行う
請求項４または５に記載の試験装置。
前記診断部は、前記少なくとも１つの出力部の個数が、前記複数の入出力部の個数よりも多い場合に、各グループに含まれる出力部の個数が前記複数の入出力部の個数以下となるように、前記少なくとも１つの出力部を複数のグループに分割し、前記グループ毎に前記出力部の診断を行う
請求項６に記載の試験装置。
前記診断部は、前記複数の入出力部の診断を行った後に、前記少なくとも１つの出力部の診断を行う
請求項３から７のいずれか一項に記載の試験装置。
被試験デバイスと信号を受け渡す複数の入出力部を用いて前記被試験デバイスを試験する試験装置を診断する診断方法であって、
前記複数の入出力部におけるそれぞれの入出力部の出力値を、それぞれの前記入出力部と対応付けて記憶する診断用メモリを、前記被試験デバイスに代えて前記複数の入出力部に接続するメモリ接続段階と、
それぞれの前記入出力部に、前記診断用メモリに予め定められた出力値を書き込ませ、且つ、前記診断用メモリから対応する前記出力値を読み出させ、それぞれの前記入出力部が読み出した前記出力値に基づいて、それぞれの前記出力値に対応する前記入出力部を診断する診断段階と
を備える診断方法。