KR100738956B1 - 웨이퍼 레벨 번인 테스트 장치 - Google Patents
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Abstract
Description
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- 웨이퍼 레벨의 번인 테스트 장치로서,복수의 펑션 테스트 신호를 입력받아, 상기 복수의 펑션 테스트 신호의 조합에 의해 복수의 펑션 테스트 제어 신호를 출력하고, 상기 복수의 펑션 테스트 제어 신호를 순차적으로 선택하여 테스트 대상 웨이퍼로 제공하기 위한 핀 선택부를 포함하는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 레벨 번인 테스트 장치.
- 제 1 항에 있어서,상기 핀 선택부는 복수의 펑션 테스트 신호를 입력받아, 기 설정된 세팅 신호에 의해 상기 복수의 펑션 테스트 신호를 조합한 복수의 펑션 테스트 제어 신호를 출력하는 제 1 셀렉터;핀 선택 제어 신호에 응답하여, 상기 제 1 셀렉터에서 출력되는 복수의 펑션 테스트 제어 신호 중에서 상기 테스트 대상 웨이퍼에 입력하고자 하는 펑션 테스트 제어 신호를 주어진 조건에 따라 순차적으로 선택하여 핀 선택 신호로 출력하는 멀티플렉서;스트레스 테스트 제어 신호를 출력하는 제 2 셀렉터; 및상기 제 2 셀렉터로부터 출력되는 스트레스 테스트 제어 신호 및 상기 멀티플렉서에서 출력되는 핀 선택 신호를 입력받아, 상기 두 입력 신호 중 어느 하나를 선택하여 출력하는 제 3 셀렉터;를 포함하는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 레벨 번인 테스트 장치.
- 제 2 항에 있어서,상기 제 1 셀렉터는 병렬 접속되는 복수의 셀렉터로 구성하는 것을 특징으로하는 웨이퍼 레벨 번인 테스트 장치.
- 제 2 항에 있어서,상기 복수의 펑션 테스트 제어 신호 각각은 데이터 및 어드레스 신호를 포함하는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 레벨 번인 테스트 장치.
- 운용자의 조작에 의해 웨이퍼 번인 테스트를 위한 실행 조건 및 복수의 명령이 입력되는 컴퓨터;상기 컴퓨터를 통해 번인 테스트 실행 조건 및 복수의 명령을 입력받아 스트레스 테스트 제어 신호를 생성하여 스테이션으로 출력하는 한편, 상기 복수의 펑션 테스트 제어 신호를 생성하고 상기 생성된 펑션 테스트 제어 신호 중 상기 테스트 대상 웨이퍼에 입력하고자 하는 펑션 테스트 제어 신호를 주어진 조건에 따라 순차적으로 선택하여 상기 스테이션으로 제공하며, 상기 스테이션으로부터 스트레스 테스트 결과 또는 펑션 테스트 결과를 전송받아 상기 컴퓨터로 제공하는 메인 테스트 장치; 및상기 메인 테스트 장치로부터 제공되는 스트레스 테스트 제어 신호 또는 펑 션 테스트 제어 신호에 의해 웨이퍼 로딩부에 로딩된 테스트 대상 웨이퍼에 대한 테스트를 수행하고, 상기 테스트 결과를 상기 메인 테스트 장치로 출력하는 스테이션;을 포함하는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 레벨 번인 테스트 장치.
- 제 5 항에 있어서,상기 메인 테스트 장치는,인터페이스;상기 스테이션으로부터 스트레스 테스트 결과를 전송받아 전류 및 전압 스트레스 테스트 파라미터를 측정하기 위한 DC/VS 보드;테스트 패턴을 출력하는 패턴 발생부;상기 테스트 패턴에 따라 복수의 펑션 테스트 신호를 출력하는 펑션 테스트 신호 발생부; 및상기 복수의 펑션 테스트 신호로부터 출력되는 펑션 테스트 신호를 입력받아 상기 펑션 테스트 신호의 조합에 의해 복수의 펑션 테스트 제어 신호를 출력하고, 상기 복수의 펑션 테스트 제어 신호 중에서 상기 테스트 대상 웨이퍼에 입력하고자 하는 펑션 테스트 제어 신호를 주어진 조건에 따라 순차적으로 선택하여 상기 스테이션으로 제공하기 위한 핀 선택부;를 포함하는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 레벨 번인 테스트 장치.
- 제 6 항에 있어서,상기 펑션 테스트 제어 신호는 어드레스 신호, 데이터 신호 및 클럭 신호를 포함하는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 레벨 번인 테스트 장치.
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Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
KR1020060046034A KR100738956B1 (ko) | 2006-05-23 | 2006-05-23 | 웨이퍼 레벨 번인 테스트 장치 |
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Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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KR1020060046034A KR100738956B1 (ko) | 2006-05-23 | 2006-05-23 | 웨이퍼 레벨 번인 테스트 장치 |
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KR100738956B1 true KR100738956B1 (ko) | 2007-07-12 |
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ID=38504185
Family Applications (1)
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KR1020060046034A KR100738956B1 (ko) | 2006-05-23 | 2006-05-23 | 웨이퍼 레벨 번인 테스트 장치 |
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KR (1) | KR100738956B1 (ko) |
Citations (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR20000035434A (ko) * | 1998-11-13 | 2000-06-26 | 포만 제프리 엘 | 반도체 구조물 및 반도체 웨이퍼 테스트 방법 |
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2006
- 2006-05-23 KR KR1020060046034A patent/KR100738956B1/ko active IP Right Grant
Patent Citations (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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KR20000035434A (ko) * | 1998-11-13 | 2000-06-26 | 포만 제프리 엘 | 반도체 구조물 및 반도체 웨이퍼 테스트 방법 |
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