JP2011242125A - ベーパーチェンバーの製造方法及びベーパーチェンバー - Google Patents

Abstract

【課題】ベーパーチェンバーが最適な構造をし、性能を高め、生産コストを削減して、更に密封口欠陥を解決できるベーパーチェンバーの構造及びその製造方法を提供する。
【解決手段】ベーパーチェンバーの製造方法は原料準備、粉詰めと焼結、予圧、支持構造を填入、圧型、封口、注液、真空処理などのステップを含む。ベーパーチェンバーの封口構造は一つの真空チェンバーを有するベーパーチェンバーとベーパーチェンバーの一側にある注液孔などと備える。ベーパーチェンバーの半製品を真空箱内の配置場所に入れて、固定するし、且つ真空箱内で注液孔をプレス加工して、密封する。このステップで生産したベーパーチェンバーは、細金属管を使わず、又は全ての後続密封工程が真空箱の中で行われる。
【選択図】図４

Description

本発明は、一種のベーパーチェンバーに関し、特にベーパーチェンバーとその支持構造及びその製造方法に関するものである。

現在の市場で、精密電子製品は多いほど性能が優れて、機械が高速で動いた結果生じた熱流密度も高くなった。然も伝統的な放熱装置では、殆どアルミ押出式とファン式のヒートシンクを用いて、これらの精密電子製品の放熱に対して、もっと困難であった。

それで、この業界で何社が新型ハットパイプ及びベーパーチェンバーなどの放熱コンポーネンツを開発し続いて、こういう放熱コンポーネンツは強い熱伝導を備えて、ベーパーチェンバーを結び合わせることができて、電子製品の放熱問題を有効に解決する。
その中、ある液体と気体が相互変化性能を備えたベーパーチェンバーが、ベーパーチェンバーの上に、もっと広いスペースを持って、熱量を生じた電子コンポーネンツに直接接触すると、この熱量を平面的放射状に拡散されていくことができる。そのゆえ、こういうベーパーチェンバーは普通の線形放熱式ハットパイプより優れた放熱効果を備えたことがある。

図１を示した通り、従来のベーパーチェンバーの構造は、主に上の外殻０１、下の外殻０２、及び前記上の外殻０１と下の外殻０２の中身に設置された支持物０３などのコンポーネンツを組み合わせた。ベーパーチェンバーを製造する場合、それぞれのコンポーネンツを外殻の中に置いて、そして外殻からプレス加工して、こういう工程はしばしば困難になった。もし外殻の壁が薄すぎると、高温で操作して、支持構造も同時に落ち込みやすいおそれがある。逆に、外殻の壁が厚すぎる場合は、総重量が設計した標準を超える一方、ベーパーチェンバーの面積が大き過ぎるし、四側の長さも長すぎるして、従って、少し圧着と溶接を均一しないと、高温操作で爆裂点になる恐れが高い。すると、伝統的なベーパーチェンバーを製造するプロセスで、製造工程のほうが複雑で、難しくて、不良品も多いほど、生産コストが高くなる。

ベーパーチェンバーの製品の基本な構造は密封された真空チェンバーを有する外殻と、前記チェンバーの中で設置される微細構造と、前記微細構造の内に封入されている作動液と、前記作動液を蒸気に凝り固まらせ、蒸発させて生じた吸熱、放熱するし、且つ前記微細構造が作動液を毛細管現象より熱伝導するベーパーチェンバーと、を備えた。

ベーパーチェンバーは密封された真空構造であり、従来の放熱装置の製造技術はいずれ上下カーバ本体によりチェンバーになっても、或いは銅管をプレス加工によりチェンバーになっても、その製造方法は図２を示した通り、ベーパーチェンバーの製造方法は前段部の金属粉を詰め込んで、焼結して毛細部を形成するステップと、前記金属粉を支持構造に詰め込んで、プレス加工するステップと、アルゴン溶接、銀溶接で密封する前、細金属管を挿しておいて注液孔とするし、且つ前記細金属管からチェンバー内に作動液を注入するステップと、後段部の定量注液、真空引き、密封溶接するステップと、を備える。

従来のベーパーチェンバーは生産製作の技術に下記の通りに欠けているものがある。

前記前段部のステップより生産したベーパーチェンバー及び半製品は、溶接密封するステップ際、一本の細金属管を使って予め取って置いた注液孔とする。その構造は図３を示した通り、その１はベーパーチェンバーの半製品、１０１は密封口の構造、１０２は細金属管である。こんな構造は後の製造及び使用する時、不注意による衝撃は、ベーパーチェンバーが破裂しやすくて、不良品になる可能性がある。

更に、ベーパーチェンバーの半製品を後段部の製造ステップを実施する際、定量な作動液を注液して、又は真空引きをしてから、封入口溶接をするなどの作業を行う。従来の製造技術方法は、注液器中の液体をベーパーチェンバーの金属注液管に注液して、液体を一定量に達してから、注液器を取り離して、それから、ベーパーチェンバーの半製品を次のワークステーションに移動して、真空引きしてから、密封と溶接という作業をする。そうすると、手間がかかって、生産コストも高くなる。

その他、チェンバー内で、高度真空により圧力を下がらせて、そして、注液すると真空引きする際、同じ開口部を使うと、注液する場合、液面に急速に気化しやすくになった。少し注意しないと、液体の注入量が不足を示して、更にドライアウトしやすくなった。

本発明の目的は、従来のベーパーチェンバーが生産製作生じた欠陥を防ぐために、最適な構造をし、性能を高めるし、生産コストを削減して、更に密封口欠陥を解決できるベーパーチェンバー構造及びその製造方法を提供する。

本発明がその技術課題を解決するための手段は：
本ベーパーチェンバーとその特徴の範囲：
丸い金属管をプレス加工した扁形の金属管と、且つ前記金属管の内表面に粉末焼結部を設置されると、前記支持構造は、前記金属管の内表面全体に覆われると、前記金属管内に封入されている作動液と、前記金属管の上面と下面は平面形になり、且つ前記上面と下面に接続する対向する２つの側面は円弧状となり、ほかの対向する２つの側面は、前記金属管の両端の開口部をプレス加工して、溶接して密封口を形成する。こういう溶接全長が最も短くて、密封信頼性も高い。

前記支持架構造は金属射出成形（メタルインジェックションモールディング、MIM）により構成する。

前記課題を改善進める手段として、前記支持構造は凸起を有する板状である。

前記課題を改善進める手段として、前記支持構造上の凸起は、複数の波形を並んで分布する。

前記ベーパーチェンバーの製造方法を下記のステップを説明する：
ステップ１：原料準備：ベーパーチェンバーの金属原料を用意して、予定寸法を切断する。

ステップ２：粉詰めと焼結：スクリーニングした金属粉末原料を金属原料のチェンバーに詰め込んで、且つ前記詰め込んだ金属原料を焼結する。

ステップ３：支持構造を填める：支持構造を金属原料のチェンバーに填める。

ステップ４：プレス加工：開口部を予め取っておいて注液孔として、金属原料を残った他の部分にプレス加工する。

ステップ５：密封口一：注液孔以外の部分を密封する。

ステップ６：注液：注液孔がら作動液をチェンバーに注入する。

ステップ７：真空処理：真空箱を用意して、前記真空箱中で真空引き装置、プレス加工装置及び溶接装置などを設置されるし、且つ真空箱の上に作業員が内部状況を観察できる観察窓を設置される。少なくとも一つの注液したベーパーチェンバーの半製品を真空箱中の配置場所に入れて、プレス加工してから、注液孔を密封する。

本発明の有益的効果：
本発明はプレス加工した扁形金属管と、前記金属管内に金属粉末焼結装置を設置されると、前記金属管が中空状とされ、高温に耐える金属射出成形した支持構造を金属管に填められるのを提供する。その支持構造は高温に耐える能力がもっと強くて、質量も軽くて、その上、硬度も多数の金属構造を超えて、最良の支持構造材料の選択と言われる。他に、支持構造の上に、精選した凸起が複数の梯形波状を並んで分布して、ベーパーチェンバーの上に受け入れた外力を均一に分布させて、受け入れた外力をバランスさせて、ベーパーチェンバーが崩れ倒れと変形を防止することができる。本発明のベーパー・チェンバーは、従来のCPU（中央処理装置）、Graphic processor（グラフィックスプロセッサー）、或いはLED（エルイーディー）、ソーラーセル（太陽電池）などの高発熱的な電子製品の放熱問題をうまく解決する。

本発明のベーパーチェンバーの製造方法では、密封口一の工程ステップをしてから、従来の手段で一本の注液管を溶接しなくて、一つの注液孔を残して、注液をしてから、真空処理と密封を行う。即ち、ベーパーチェンバーの半製品を真空箱内の配置場所に入れて、固定するし、且つ真空箱内で注液孔をプレス加工して、密封する。こういうステップで生産したベーパーチェンバーは、細金属管を使わず、又は全ての後続密封工程が真空箱の中に行われる。更に、ベーパーチェンバー中で内、外圧力差によって不利な影響をもたらず、生産した製品が優れて、廃品率が低くて、最も良い使用効果が達成すると備える。

本発明に属する技術分野に通常常識を備える者は、本説明書を読んでから、本発明のその目的と利点が理解できる。

本発明に係わるベーパーチェンバーの構造を取り外すのコンセプト図である。 本発明に係わるベーパーチェンバーの製造工程のフローチャートのコンセプト図である。 従来のベーパーチェンバーの製造工程を用いて製造した半製品の構造のコンセプト図である。 本発明に係わる製造工程の実施例一の工程フローチャートである。 本発明に係わる製造工程の実施例二の工程フローチャートである。 本発明に係わる製造工程を用いて製造したベーパーチェンバーの半製品構造のコンセプト図である。 本発明に係わるベーパーチェンバーの半製品を真空箱内においた状態のコンセプト図である。 本発明に係わるベーパーチェンバーを密封したコンセプト図である。 本発明に係わる金属管の構造のコンセプト図である。 本発明に係わる構造のコンセプト図である。 図１０に係わるA-Aの断面的構造のコンセプト図である。 図１０に係わるB-Bの断面的構造のコンセプト図である。 本発明に係わる実施例一中の支持構造のコンセプト図である 本発明に係わる実施例二中の支持構造のコンセプト図である。

以下、前記ベーパーチェンバーは図面と実施方法を合わせて、具体的に説明する。

図４を参照すると、本発明に係わるベーパーチェンバーの製造方法に実施例一の工程フローチャートがあって、その実施例中で用いた金属原料は金属管である。前記工程に係わるプロセスの範囲について：
ステップ１、原料準備：ベーパーチェンバーの金属原料を用意して、予定寸法を切断する。又は、金属管を原料として、このステップで金属管に係わる作業を設定する。前記金属管に係わるプロセスを以下のように細分する。

ステップ1.1:切断：金属管を切断して、予定寸法の金属管を得るし、且つ製品の合格率を保証するために、前記金属管を切断する前、金属管にストレートを矯正する。更に、チェンバー中の質量を保証するため、金属管を切断してから、洗浄する。

ステップ1.2、スティック挿入：必要なチェンバー構造を形成するために、金属管のチェンバー内径の寸法に相応しい金型スティックをチェンバーに挿入し、前記金型スティックとチェンバー内の後工程の原料粉末に合わせて焼結する。

ステップ2、粉詰めと焼結：スクリーニングされた原料粉末を金属チェンバーに詰め込むし、且つその金属チェンバーを焼結してから、毛細管構造を形成される。前記粉詰めと焼結に係わるプロセスを以下のように細分する：
ステップ2.1、粉詰め：金属管の開口部に原料粉末を詰め込むこと。

ステップ2.2、焼結：原料粉末を詰め込んだ金属管を焼結すること。

ステップ2.3、スティック引き：金属管から金型スティックを引き出すこと。

ステップ3、支持構造を詰め込む：支持構造を金属原料のチェンバーに
詰め込む。本実施例で使った金属管原料はチェンバーに詰め込まれる前に、扁形にプレスされる。前記支持構造に係わるプロセスを以下のように細分する：
ステップ3.1、予圧：金属管は扁形に予圧して、板状構造になる。

ステップ3.2、支持構造を填める：プレス加工する時に支持構造として、金属管の開口部からプレス、成型、洗浄などの工程により加工された支持構造をチェンバーに填めること。

ステップ4、プレス加工一：金属管は第一と第二開口部を備えて、プレース加工一をする際、第一開口部の一部分を予めとっておいた注液孔100とされる。そして、残った部分と第二開口部をプレス加工する。

ステップ5、密封口一：第一開口部の注液孔100以外の部分を密封する。こういうステップでベーパーチェンバーの半製品が形成する。前記構造は図6に示すようである。その1はベーパーチェンバーの半製品であり、100は注液孔である。

ステップ6、注液：予定用量の作動液を第一開口部の注液孔100からチェンバーに注入する。

ステップ7、真空処理：少なくとも一つの注液したベーパーチェンバーの半製品を真空箱の配置場所に入れ、且つ注液孔を圧着と密封をする。前記真空処理に係わるプロセスは以下のように細分する。

ステップ7.1、真空箱に入れる：一つの真空箱を用いて、一つ或いは一つ以上の液体を注入したベーパーチェンバーの半製品を真空箱の配置場所に入れて、そしてベーパー・チェンバー1の半製品は真空箱に配置される四つのクランプ道具で固定される。又は、チャンバー内の作動液体は地球の重心に影響されて注液孔から流れないように、注液孔100は上向きに傾斜して仰角θとする。その構造は図7に示すようである。

ステップ7.2、プレス加工二：真空箱の中で、ベーパーチェンバーの半製品1の注液孔側の一部を圧着する。その圧着する方向は図7の矢印に示すようである。

ステップ7.3、密封口二：注液孔100はスポット溶接か、他の方法で密封するし、前記ベーパーチェンバー１の製造が完成する。その構造は図8に示すようである。

本発明のプロセスによって実施した後、後加工技が進んで行けること。ここに言うまでもないである。

上記のプロセスでは、ステップ7に係わる真空箱装置がベーパーチェンバーの真空環境で加工するという主な目的を実現する。その真空箱装置の内部に真空引き装置を設置されるし、その外部にも制御機構を備える。前記真空装置で真空箱内の空気を引いて、真空環境を形成するというさまざまな性能が実現できる制御ボタンがある。それに作業員が真空箱内の機械動作を観察できるため、観察窓を付けられる。またベーパーチェンバーのプレス加工と密封構造を圧着するステップが実現するために、真空箱の中に、制御できる圧着装置を設置される。

その他、ベーパーチェンバーを溶接するステップが実現するために、真空装置の中に、溶接を控える装置にも付けられる。

図１２を参照すると、本発明に係わる実施例二の工程フローチャートは、金属プレートを原料として、ペーパーチェンバーを製作するので、実施例一の金属管を原料とするのは違う。前記その製作プロセスは以下のようである。

ステップ1、原料準備。前記原料の準備を下記のように細分する。

ステップ1.1、切断：金属プレートを予定寸法を切断する。

ステップ1.2、プレス加工：切断した金属プレートを必要な形にプレスした後、その品質を確保するために洗浄する。

ステップ2、粉詰めと焼結：スクリーニングされた原料粉末を金属チェンバーに詰め込んだ後、その金属プレートを焼結する。

ステップ3、支持構造を填める：金属プレート原料のチェンバーに支持構造を填める。

ステップ4、プレス加工一：開口部を予め取っておいて注液孔１００として、金属プレート原料が残った全ての開口部をプレス加工する。

ステップ5、密封口一：注液孔100以外の圧着された開口部を密封してから、ベーパーチェンバー半製品1となる。前記密封口一に係わる構造は図6に示すようである。

ステップ6、注液：予定用量の作動液を注液孔100からチェンバーに注入する。

ステップ7、真空処理：半製品に対する真空を処理する。図7に示したように、一つ或いは一つ以上のベーパーチェンバーの半製品1を真空箱の配置場所に入れ、これからのプレス加工及び密封することは真空箱内の真空環境で完成する。前記真空処理に係わるプロセスは以下のように細分する。

ステップ7.1、真空箱に入れる：一つ或いは一つ以上の注液したベーパーチェンバー半製品1を真空箱内の配置場所に入れて、そして、ベーパーチェンバー1の半製品は真空箱に配置される四つのクランプ道具で固定される。又は、チャンバー内の作動液体は地球の重心に影響されて注液孔から流れないように、注液孔100は上向きに傾斜する仰角θとなる。その構造は図7に示すようである。

ステップ7.2、プレス加工二：ベーパーチェンバーの半製品1の注液孔側の一部を圧着する。その圧着する方向は図7の矢印に示すようである。

ステップ7.3、密封口二：注液孔100はスポット溶接か、他の方法で密封するし、前記ベーパーチェンバー１の製造が完成する。その構造は図8に示すように、これからの後工程が進んで行ける。ここに言うまでもないである。

本発明に係わる精選実施方法として、上述した各実施例のステップ6の密封口一及びステップ7.3の密封口二などに係わる密封する仕方はスポット溶接、アーク溶接、アルゴン溶接、銀溶接、或いは他の考えられる溶接的密封する方法を用いる。

前記実施例一及び実例二の中に、製品の良品率と製品の品質を確保するため、密封したモレルテストすることができる。

本発明の生産工程により、生産したベーパーチェンバーの密封構造を改善した。半製品状態の構造は図6に示すようである。然も最後に密封された完成品の構造図8を参照すると、一つの真空チェンバーを有するベーパーチェンバー１とベーパーチェンバー１の一側にある注液孔１００などと備える。前記ベーパーチェンバー１の真空チャンバーの中に、ベーパーチェンバーの外形をバックアップとする支持構造を設置される。

ベーパーチェンバー1の側にある注液孔100は圧着と密封するによって残された一体化成型という特別な密封口である。前記密封口の構造は伝統的な生産工程により生産されたベーパーチェンバーの密封口構造として区別になる特徴とする。

本発明に係わる生産プロセスにより生産したベーパーチェンバーは、従来の製品にある細金属管を使わず、又は全ての後続密封工程が真空箱の中に行われる。更に、べーパーチェンバーのチェンバー内、外圧力差によって不利な影響をもたらず、生産した製品が優れて、廃品率が低くて、最も良い使用効果が達成すると備える。

図9〜図12を参照すると、本発明に係わる実施例一の生産方法によって、生産したベーパーチェンバーは、丸い金属管をプレス加工した扁形金属管式のベーパーチェンバー１（ベーパーチェンバー製品に相当する）と、前記金属管式のベーパーチェンバー１の内表面に設置された粉末焼結部２と、前記金属管式のベーパーチェンバー１に覆われた支持構造３と、前記金属管式のベーパーチェンバー１の中に填められた作動液とを備える。

丸い金属管の両端に開口部があって、板状にプレスされた金属管式のベーパーチェンバー１の両端には、扁形の開口部になり、且つ圧着されてから溶接することによって、狭くて長い密封口14を形成する。

前記その構造は図９と図11に示すようである。更に、板状にプレスした前記金属管式のベーパーチェンバー１の上面11と下面12とはもっと広い平面になる。同時に、上面11と下面12との接続した両相対側13は継ぎ目なし円弧状となる。前記その構造は図９と図10に示すようである。

前記その構造の利点は、ベーパーチェンバーの外殻の原材料は二つの別々な金属板を使わず、直接的丸い金属管式のベーパーチェンバーを用いて製造できるし、また、圧着する時より簡単で、原材料コストを削減され、製造上の困難度にも減軽できる。更に、丸い金属管を板状にプレスした外殻は両端だけに開口部があったので、二つの対向する二つの側面13は一体接続で密封である。すると、ベーパー・チェンバーを密封する時、両端の開口部だけを密封して、圧着してから、溶接すると密封口14を形成する。

図９に示すように、金属管式のベーパーチェンバー１の何れの端の密封長さはＬで、元の金属円管の内径円周の半分と等しいである。尚、金属管式のベーパーチェンバー１の両端を密封する溶接全長は２Ｌとして、金属管式のベーパーチェンバー１の内表面の一周長と同じである。そうすると、最短の溶接長という設計になり、密封の信頼性が保証できるし、又、ベーパーチェンバーを密封する工程の難しさを大いに簡単化にすると、良品率を高めて、生産コストも削減できる。一方、最終的ベーパーチェンバー製品は、より良い密封性を備えて、作動液漏洩という問題が発生しにくい。

本発明の精選実施する方法としては、前記支持構造３は金属射出成形されたものである。前記支持構造３は、形状特性により、金属射出成形を用いて、支持構造３の生産時間とコストを削減することだけでなく、生産した製品が高温に耐えると、質量が軽いと、硬度にも大部分の金属構造に超えると、を備える。それは支持構造にとって、最良な材料選択といわれる。

支持構造というバックアップする信頼性を高めるため、前記精選した支持構造３は凸起31を有する板状を選ぶ。その凸起31は支持構造３をプレスで作られて、或いは他の工程との一体化成型によって形成された。従って、支持構造３の強度とバックアップ能力が保証できる。

図13に示すように、実施例一の中に、凸起31は複数の梯形波状を並んで、支持構造3の上にバランスするので、各ピークは同じ側の金属管式のベーパーチェンバー１の内表面に相応しい部分をバックアップする。それで、ベーパーチェンバーが外力を受ける際、何れの支持構造３にバックアップされる所が受けた圧力を均一に分布させ、ベーパーチェンバーの上面11と下面12に受けられた圧力は基本的に同じで、平均になった。こういう優れたバックアップ能力は、ベーパーチェンバーが崩れ倒れと変形を防止することができる。

図14に示すように、本発明のもう一つの実施例の中に、前記凸起31は梯形のように凸起して、且つ波状のような形で、均一に支持構造３に分布する。梯形の上面はちょうど金属管式のベーパーチェンバー１の内表面に対応し、接触面に接することができる。更に、実施例一と同じように、ベーパーチェンバーに受けられる圧力を均一に分布させるというメリットがあり、最も良い使用効果が達成する。

又、精選提案としては、製品の信頼性を高めるため、前記密封口14の以外に補強溶接とする半田層を設けられた。

以下、本発明に係わる各構造の精選仕様、又、より多く使用される仕様を挙げる。前記金属管式のベーパーチェンバー１の管壁の厚さは、1.0〜5.0 mm、前記粉末焼結部２の厚さは0.3〜1.0 mm、さらに、全ベーパーチェンバーの厚さは3〜12 mmである。その仕様のベーパーチェンバーは多数の電子コンポーネンツの構造に適用され、強度にも日常仕事のニーズに満たされる。尚、その構造は軽薄短小で、コストが安い範囲に制御できる。

本発明の主旨は、CPU、グラフィックスプロセッサー、又はエルイーディー、ソーラーセルなどの高発熱性の電子製品に応用して、又は、これらの電子製品の放熱問題を解決する。その上、製品構造の強度、丸い金属管の原料により生産工程を簡略化して、より合理的な設計構造を通し、適切な寸法で、最良な使用効果が達成できる。

本発明のベーパーチェンバー構造は非常に優れる性能を備えると言われる。

勿論、上述本発明に係わるよりよい実施例への参照例のみを説明するが、本発明の精神と範囲を逸脱しない範囲において、本発明に属する技術の領域に通常常識を備える者にとって、種々の変更と修正が可能になることを理解すべきである。従って、本発明が開示した実施例に限らず、特許請求した文字の記載範囲から決まる。即ち、本発明の特許請求範囲に関する変更と文字の編集を逸脱しない範囲において、本発明の範囲に所属する。

Claims (4)

1. ベーパーチェンバーの製造方法、その特徴について下記のステップを含まれ：
   ステップ１、原料準備：ベーパーチェンバーの金属原料を準備して、予定寸法を切断する；
   ステップ2、粉詰めと焼結：スクリーニングされた原料粉末を金属チェンバーに詰め込んだ後、その金属プレートを焼結する；
   ステップ3、支持構造を填める：金属プレート原料のチェンバーに支持構造を填める；
   ステップ4、プレス加工一：開口部を予め取っておいて注液孔として、金属プレート原料が残った全ての開口部をプレス加工する。
   ステップ５、密封口一：注液口以外の部分は密封する。
   ステップ６、注液：注液口からチェンバーに作動液を注入する。
   ステップ７、真空処理：真空箱を用意して、前記真空箱中で真空引き装置、プレス加工装置及び溶接装置などを設置されるし、且つ真空箱の上に作業員が内部状況を観察できる観察窓を設置される。少なくとも一つの注液したベーパーチェンバーの半製品を真空箱中の配置場所に入れて、プレス加工してから、注液孔を密封する。
2. 権利要求１によって、前記のベーパーチェンバー製造方法の特徴についてはステップ７の真空処理は下記ステップと組み合わせ：
   ステップ7.1、真空箱に入れる：少なくとも一つベーパーチェンバー
   半製品を真空箱に設置し、注液孔は上向きに傾斜する仰角θと固定される。
   ステップ7.2、プレス加工二：真空箱内の圧着装置でベーパーチェンバー半製品の注液孔側の一部を圧着する。
   ステップ7.3、密封口二：真空箱内の溶接装置でベーパーチェンバーの半製品圧着後の注液孔を密封する。
3. 権利要求１或は２で陳述のベーパーチェンバーの製造方法その特徴は使用の金属原料は金属円管である。
   その中、ステップ１の原料準備は下記の技ステップを含まれ：
   ステップ1.1、切断：金属管のストレートを矯正して裁断する。
   ステップ1.2、スティック挿入：金属管のチェンバー内径の寸法に相応金型スティックをチェンバーに挿入する。
   陳述ステップ２の粉詰めと焼結は下記の技ステップを含まれ：
   ステップ2.1、粉詰め：金属管の開口部から原料粉を填入する。
   ステップ2.2、焼結：粉末を填入後の管を燒結する。
   テップ2.3、スティック引き：金属管から金型スティックを引き出すこと。
   前記のステップ３の支持構造を詰め込みは下記の技ステップを含まれ：
   ステプ３.１予圧：金属管は扁形に予圧する。
   ステプ３.２、支持構造を填める：扁平状になる金属管チェンバーに支持構造を填める。
4. 権利要求１或は２で陳述のベーパーチェンバーの製造方法の特徴は使ってる金属原料は金属プレートである。ステップ１の原料準備は下記の技ステップを含まれ：
   ステップ1.1、切断：金属プレートを切断して、予定寸法を得る。
   ステップ1.2、プレス成型、金属プレートをプレスして、必要な形状になる。

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