JP2011238893A - チップスケールの原子時計内の垂直共振器面発光レーザー(vcsel)を熱的に安定させる設計および方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】チップスケール原子時計100は、垂直共振器面発光レーザー110(VCSEL)と、VCSELのベースに連結されるヒーターブロック111と、光検出器140と、気相セル130と、を有する。気相セルは、VCSELと光検出器との間の、レーザー光112のための光学通路139の少なくとも一部を画定するチャンバ138を含む。チップスケール原子時計は、VCSELのすべての側部を囲む等温ケージ170を有し、この等温ケージは、熱伝導経路を介してヒーターブロック111に連結される。
【選択図】図1
Description
米国政府は、米国空軍との契約FA8650−01−C−1125により、本発明に関して一定の権利を有することがある。
一実施形態において、チップスケール原子時計は、垂直共振器面発光レーザー(VCSEL)と、VCSELのベースに連結される熱ブロックと、光検出器と、気相セルと、を有する。気相セルは、VCSELと光検出器との間のレーザー光の光通路の少なくとも一部を画定するチャンバを含む。このチップスケール原子時計はさらに、VCSELをすべての面上で囲む等温ケージを有し、等温ケージは熱伝導性通路を介してヒーターブロックに連結される。
Claims (3)
- 垂直共振器面発光レーザー(VCSEL)アセンブリであって、前記アセンブリは、
垂直共振器面発光レーザー(VCSEL)110と、
前記VCSEL110のベースに連結されるヒーターブロック111と、
前記VCSEL110の全ての側部を囲む等温ケージ170と、を有し、前記等温ケージ170は、熱伝導経路を介して前記ヒーターブロック111に連結され、
前記等温ケージ170はさらに、ケージベース256と、少なくとも1つのケージ壁272と、ケージ天井273と、を有し、
前記少なくとも1つのケージ壁272およびケージ天井273は、伝導経路を介して前記ケージベース256を通って熱的に前記ヒーターブロック111に連結され、
前記等温ケージ170はさらに、前記VCSEL110に整合するオリフィス266を有し、前記オリフィス266は、前記VCSEL110から発されるレーザー光112のための前記等温ケージ170を出る光学経路を提供する、アセンブリ。 - 請求項1に記載のアセンブリであって、さらに、
前記VCSEL110、210および前記ヒーターブロック111、211を物理パッケージ102内で支持するように構成される第1台部材250を有し、前記第1台部材250は、第1支持部材252を有し、
前記第1支持部材252は、前記ヒーターブロック111、211に連結される第1表面253と、前記ケージベース256に連結される第2表面254と、を有し、前記ケージベース256は、伝導経路を介して前記第1支持部材252を通って前記ヒーターブロック111に熱的に連結される、アセンブリ。 - 請求項1に記載のアセンブリであって、前記第1支持部材252および前記ケージベース256は第1シリコンウェハから形成され、前記少なくとも1つのケージ壁272およびケージ天井273は第2シリコンウェハから形成される、アセンブリ。
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