JP2011228284A - 透過型電子顕微鏡グリッド - Google Patents
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Abstract
【解決手段】本発明の透過型電子顕微鏡グリッドは、キャリヤーと、カーボンナノチューブ支持体と、固定体と、を含む。前記キャリヤーが少なくとも一つの第一スルーホールを有し、前記固定体が少なくとも一つの第二スルーホールを有し、前記第一スルーホールと前記第二スルーホールとが対向して設置され、前記カーボンナノチューブ支持体が前記キャリヤーと前記固定体との間に設置され、前記第一スルーホールと前記第二スルーホールとの間に位置する。
【選択図】図1
Description
図1及び図2を参照すると、本実施形態は、透過型電子顕微鏡グリッド10を提供する。該透過型電子顕微鏡グリッド10は、キャリヤー110と、カーボンナノチューブ支持体120と、固定体130と、を含む。前記カーボンナノチューブ支持体120は、前記キャリヤー110と前記固定体130との間に設置される。好ましくは、前記透過型電子顕微鏡グリッド10は、外径が3ミリメートルであり、厚さが3マイクロメートル〜20マイクロメートルである円形のシートである。
図3及び図4を参照すると、本実施形態は、透過型電子顕微鏡グリッド20を提供する。該透過型電子顕微鏡グリッド20は、キャリヤー210と、カーボンナノチューブ支持体220と、固定体230と、を含む。前記カーボンナノチューブ支持体220は、前記キャリヤー210と前記固定体230との間に設置される。好ましくは、前記透過型電子顕微鏡グリッド20は、外径が3ミリメートルであり、厚さが3マイクロメートル〜20マイクロメートルである円形のシートである。
図5及び図6を参照すると、本実施形態は、透過型電子顕微鏡グリッド30を提供する。該透過型電子顕微鏡グリッド30は、キャリヤー310と、カーボンナノチューブ支持体320と、固定体330と、を含む。前記カーボンナノチューブ支持体320は、前記キャリヤー310と前記固定体330との間に設置される。好ましくは、前記透過型電子顕微鏡グリッド30の外径は、3ミリメートルであり、厚さが3マイクロメートル〜20マイクロメートルである円形のシートである。
図7と図8を参照すると、本実施形態は、透過型電子顕微鏡グリッド40を提供する。該透過型電子顕微鏡グリッド40は、キャリヤー410と、カーボンナノチューブ支持体420と、固定体430と、を含む。前記カーボンナノチューブ支持体420は、前記キャリヤー410と前記固定体430との間に設置される。好ましくは、前記透過型電子顕微鏡グリッド40の外径が3ミリメートルであり、厚さが3マイクロメートル〜20マイクロメートルである円形のシートである。
図9と図10を参照すると、本実施形態は、透過型電子顕微鏡グリッド50を提供する。該透過型電子顕微鏡グリッド50は、キャリヤー510と、カーボンナノチューブ支持体520と、固定体530と、を含む。前記カーボンナノチューブ支持体520は、前記キャリヤー510と前記固定体530との間に設置される。好ましくは、前記透過型電子顕微鏡グリッド50の外径が3ミリメートルであり、厚さが3マイクロメートル〜20マイクロメートルである円形のシートである。
図12及び図13を参照すると、本実施形態は、透過型電子顕微鏡グリッド60を提供する。該透過型電子顕微鏡グリッド60は、キャリヤー610と、カーボンナノチューブ支持体620と、固定体630と、を含む。前記カーボンナノチューブ支持体620は、前記キャリヤー610と前記固定体630との間に設置される。好ましくは、前記透過型電子顕微鏡グリッド60の外径が3ミリメートルであり、厚さが3マイクロメートル〜20マイクロメートルである円形のシートである。
110、210、310、410、510、610 キャリヤー
111、211、511、611 第一円形のシート本体
112、212、312、412、512、612 第一リング
114、314、514、614 第一網状構造
116、216、316、416、516、616 第一スルーホール
118、218、318、418、518 スリット
120、220、320、420、520、620 カーボンナノチューブ支持体
130、230、330、430、530、630 固定体
131、231、531、631 第二円形のシート本体
132、232、332、432、532、632 第二リング
134、534、634 第二網状構造
136、236、336、436、536、636 第二スルーホール
138、238、338、438、538 凸部
150、250 第三スルーホール
214 第一帯状構造
234 第二帯状構造
522、622 カーボンナノチューブ構造体
550 折り畳み部
560、660 容器
562、662 有機溶剤
618 第一表面
638 第二表面
640 溶接部品
Claims (4)
- キャリヤーと、カーボンナノチューブ支持体と、固定体と、を含む透過型電子顕微鏡グリッドにおいて、
前記キャリヤーが少なくとも一つの第一スルーホールを有し、
前記固定体が少なくとも一つの第二スルーホールを有し、
前記第一スルーホールと前記第二スルーホールとが対向して設置され、
前記カーボンナノチューブ支持体が前記キャリヤーと前記固定体との間に設置され、前記第一スルーホールと前記第二スルーホールとの間に位置することを特徴とする透過型電子顕微鏡グリッド。 - 前記キャリヤー及び前記固定体がリングであることを特徴とする請求項1に記載の透過型電子顕微鏡グリッド。
- 前記キャリヤーが第一リング及び第一網状構造を含み、前記第一リングが一つのスルーホールを有し、前記第一網状構造が複数の第一スルーホールを有し、該第一網状構造が前記第一リングのスルーホールを被覆していることを特徴とする請求項1に記載の透過型電子顕微鏡グリッド。
- 前記固定体が第二リング及び第二網状構造を含み、前記第二リングが一つのスルーホールを有し、前記第二網状構造が複数の第二スルーホールを有し、該第二網状構造が前記第二リングのスルーホールを被覆していることを特徴とする請求項1に記載の透過型電子顕微鏡グリッド。
Applications Claiming Priority (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
CN201010146200.XA CN101866803B (zh) | 2010-04-14 | 2010-04-14 | 透射电镜微栅 |
CN201010146200.X | 2010-04-14 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2011228284A true JP2011228284A (ja) | 2011-11-10 |
JP5622631B2 JP5622631B2 (ja) | 2014-11-12 |
Family
ID=42958466
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2011067647A Active JP5622631B2 (ja) | 2010-04-14 | 2011-03-25 | 透過型電子顕微鏡グリッド |
Country Status (3)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US8772736B2 (ja) |
JP (1) | JP5622631B2 (ja) |
CN (1) | CN101866803B (ja) |
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---|---|
US20110253908A1 (en) | 2011-10-20 |
CN101866803A (zh) | 2010-10-20 |
US8772736B2 (en) | 2014-07-08 |
JP5622631B2 (ja) | 2014-11-12 |
CN101866803B (zh) | 2013-03-13 |
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
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A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20130118 |
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A131 | Notification of reasons for refusal |
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