JP2012018926A - 透過型電子顕微鏡グリッド及びその製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】本発明の透過型電子顕微鏡グリッドは、少なくとも一つのスルーホールを有する格子板と、該格子板のスルーホールを被覆して該格子板の一表面に設置した複合構造体と、を含む。前記複合構造体が、少なくとも一つのカーボンナノチューブ構造体及び一つのグラフェンシートからなり、前記カーボンナノチューブ構造体が複数の微孔を有し、前記グラフェンシートが前記カーボンナノチューブ構造体の一表面に設置して前記複数の微孔を被覆し、前記グラフェンシートの一部が該複数の微孔に懸架されている。また、本発明は、前記透過型電子顕微鏡グリッドの製造方法を提供する。
【選択図】図1
Description
図1は、本実施例の透過型電子顕微鏡グリッド100を図示する。前記透過型電子顕微鏡グリッド100は、格子板110と、該格子板110に被覆された、グラフェンシート124及びカーボンナノチューブ構造体122からなる複合構造体120と、を含む。前記透過型電子顕微鏡グリッド100は、直径が3ミリメートルであり、厚さが3マイクロメートル〜20マイクロメートルである円形のシートであることが好ましい。
図9と図10を参照すると、本実施例は、透過型電子顕微鏡グリッド200を提供する。該透過型電子顕微鏡グリッド200は、直径が3ミリメートルであり、厚さが3マイクロメートル〜20マイクロメートルである円いシートである。前記透過型電子顕微鏡グリッド200は、格子板210と、該格子板210に被覆された複合構造体220と、を含む。該複合構造体220が二つのカーボンナノチューブ構造体222及び一つのグラフェンシート224からなる。
110、210 格子板
120、220 複合構造体
112、212 スルーホール
122、222 カーボンナノチューブ構造体
124、224 グラフェンシート
126、226 微孔
128、228 カーボンナノチューブワイヤ
Claims (3)
- 少なくとも一つのスルーホールを有する格子板と、該格子板のスルーホールを被覆して該格子板の一表面に設置した複合構造体と、を含む透過型電子顕微鏡グリッドであって、
前記複合構造体が、少なくとも一つのカーボンナノチューブ構造体及び一つのグラフェンシートからなり、
前記カーボンナノチューブ構造体が複数の微孔を有し、前記グラフェンシートが前記カーボンナノチューブ構造体の一表面に設置されて前記複数の微孔を被覆していることを特徴とする透過型電子顕微鏡グリッド。 - 前記グラフェンシートにおける炭素原子と前記カーボンナノチューブ構造体における炭素原子が、sp3混成軌道によって共有結合を形成して接続されることを特徴とする請求項1に記載の透過型電子顕微鏡グリッド。
- 基板を提供して、該基板の表面にグラフェンシートを形成する第一ステップと、
複数の微孔を有するカーボンナノチューブ構造体を提供して、該カーボンナノチューブ構造体を前記グラフェンシートの表面に被覆させ、基板‐グラフェンシート‐カーボンナノチューブ構造体の三層の構造体を形成する第二ステップと、
前記基板‐グラフェンシート‐カーボンナノチューブ構造体の三層の構造体における基板を除去し、複合構造体を形成させる第三ステップと、
前記複合構造体を格子板に付着させて、前記カーボンナノチューブ構造体を前記格子板に直接接触させる第四ステップと、
を含むことを特徴とする透過型電子顕微鏡グリッドの製造方法。
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