JP2009170420A - 熱電子放出素子の製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】本発明の熱電子放出装置の製造方法は、絶縁性基板を提供する第一ステップと、該絶縁性基板に複数の格子を形成する第二ステップと、各々の格子に第一電極及び第二電極を設置する第三ステップと、前記第一電極及び第二電極にカーボンナノチューブ構造体を設置する第四ステップと、前記カーボンナノチューブ構造体を加工して熱電子放出素子を形成する第五ステップと、を含む。前記カーボンナノチューブ構造体は、少なくとも一枚のカーボンナノチューブフィルム又は少なくとも一本のカーボンナノチューブワイヤを含む。
【選択図】図1
Description
145 カーボンナノチューブ
200 熱電子放出装置
202 絶縁性基板
204a 第一電極引き出し線
204b 第二電極引き出し線
206a 第三電極引き出し線
206b 第四電極引き出し線
208 熱電子放出素子
210 第一電極
212 第二電極
214 格子
216 絶縁部
218 溝
220 熱電子放出ユニット
Claims (7)
- 絶縁性基板を提供する第一ステップと、
該絶縁性基板に複数の格子を形成する第二ステップと、
各々の格子に第一電極及び第二電極を設置する第三ステップと、
前記第一電極及び第二電極にカーボンナノチューブ構造体を設置する第四ステップと、
前記カーボンナノチューブ構造体を加工して熱電子放出素子を形成する第五ステップと、
を含むことを特徴とする熱電子放出装置の製造方法。 - 前記カーボンナノチューブ構造体が、少なくとも一枚のカーボンナノチューブフィルム又は少なくとも一本のカーボンナノチューブワイヤを含むことを特徴とする、請求項1に記載の熱電子放出装置の製造方法。
- 前記第四ステップにおいて、
一枚のカーボンナノチューブフィルムを製造し、
前記カーボンナノチューブフィルムにおけるカーボンナノチューブを前記第一電極から第二電極まで進む方向に沿って、前記カーボンナノチューブフィルムを前記第一電極及び第二電極に設置することを特徴とする、請求項1又は2に記載の熱電子放出装置の製造方法。 - 前記第四ステップにおいて、
複数のカーボンナノチューブフィルムを製造し、
前記複数のカーボンナノチューブフィルムを積み重ねて、前記第一電極及び第二電極に設置することを特徴とする、請求項1又は2に記載の熱電子放出装置の製造方法。 - 前記第四ステップにおいて、
隣接するカーボンナノチューブフィルムにおけるカーボンナノチューブを、0°〜90°の角度で積み重ねることを特徴とする、請求項1から4のいずれか一項に記載の熱電子放出装置の製造方法。 - 前記第四ステップが、
支持部材を提供して、複数のカーボンナノチューブフィルムを前記支持部材に積み重ねる第一サブステップと、
所定の形状によってカーボンナノチューブフィルムを切断し、有機溶剤で前記カーボンナノチューブフィルムを浸漬させて、前記支持部材から前記カーボンナノチューブ構造体を取り外して、前記第一電極及び第二電極に設置する第二サブステップと、
を含むことを特徴とする、請求項1又は2に記載の熱電子放出装置の製造方法。 - 前記第一ステップ又は第二ステップにおいて、
前記絶縁性基板に、少なくとも一つの溝を形成することを特徴とする、請求項1に記載の熱電子放出装置の製造方法。
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