JP2011224666A - 切削装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】被加工物を保持する保持テーブルに研削砥石73を有する端面修正治具7を位置決めして配設し、切削手段のフランジ341の端面341aと研削砥石73との少なくともX方向及びZ方向の相対位置を記憶部11が記憶し、制御部10による制御の下で、端面341aと研削砥石73との少なくともX方向及びZ方向の位置関係を調整した後に、端面341aと研削砥石73とをY方向に接近させて端面341aと研削砥石73との接触を該検出部が検出することによってY方向の端面修正開始位置を決定することにより、自動で適切な端面修正作業を遂行することができる。
【選択図】図8
Description
より詳細には、ワッシャーブレードと呼ばれる円環状に成形された砥石部からなる切削ブレードは、2つのフランジで挟持された状態でスピンドルの先端にナットで固定されている。また、ハブブレードと呼ばれる円盤状基台の外周に円環状の砥石が配設された切削ブレードは、1つのフランジに対峙した状態でスピンドルの先端にナットで固定されている。
2:保持手段
20:保持テーブル 20a:保持面 20b:収容穴 200:吸引部 201:枠体
21:回転支持部 210:支持面 210a:収容穴
211:凹部 212:吸引孔 213:凹部
214:吸引孔
22:クランプ部
3a、3b:切削手段
30:切削ブレード 31:スピンドル 310:雄ねじ
32:ハブブレード 320:基台 321:切り刃
33:ワッシャーブレード
34:フランジ 340:ボス部 340a:雄ねじ
341:拡径部 341a:端面
35:ボルト 36:ナット
4:X方向移動手段
40:ボールスクリュー 41:ガイドレール 42:モータ 43:移動基台
5a、5b:Z方向移動手段
50:ボールスクリュー 51:ガイドレール 52:パルスモータ 53:昇降基台
6a、6b:Y方向移動手段
60:ボールスクリュー 61:ガイドレール 62:パルスモータ 63:移動基台
7:端面修正治具 70:板部材 70a:上面 71:位置決めピン(位置決め部)
72:砥石支持部材 73:研削砥石
8:閉回路 80:導通検出部(検出部) 81:電源
9:端面修正治具 90:板部材 91:砥石支持部材 92:研削砥石
10:制御部 11:記憶部
Claims (1)
- 鉛直方向をZ方向とし、該Z方向に直交する方向をY方向とし、該Z方向及び該Y方向に直交する方向をX方向とした場合に、
ワークを保持する保持面を有する保持テーブルと、支持面を有し該保持テーブルを該Z方向を回転軸として回転させる回転支持部と、を有する保持手段と、
該保持手段に保持されたワークを切削加工する切削ブレードと、該切削ブレードを該Y方向を回転軸として回転させるスピンドルと、該スピンドルの先端に該切削ブレードを端面で支持するフランジと、を有する切削手段と、
該保持手段と該切削手段とを該Z方向に相対的に移動させるZ方向移動手段と、
該保持手段と該切削手段とを該Y方向に相対的に移動させるY方向移動手段と、
該保持手段と該切削手段とを該X方向に相対的に移動させるX方向移動手段と、
該フランジの該端面を研削する研削砥石と、該研削砥石を支持する砥石支持部材と、を有する端面修正治具を用いて該フランジの該端面を修正する端面修正手段と、
を有する切削装置であって、
該端面修正手段は、
該保持テーブルの該保持面又は該回転支持部の該支持面に配設される該端面修正治具の該砥石支持部材を該保持面又は該支持面に対して位置決めする位置決め部と、
該フランジの該端面と該研削砥石との少なくともX方向及びZ方向の相対位置を記憶する記憶部と、
該フランジと該研削砥石とのY方向の相対的移動による該フランジの該端面と該研削砥石との接触を検出する検出部と、
該フランジの該端面と該研削砥石との少なくともX方向及びZ方向の位置関係を調整した後に、該フランジの該端面と該研削砥石とを互いにY方向に接近させて該フランジの該端面と該研削砥石とが接触したことを該検出部が検出することによって該Y方向の端面修正開始位置を決定する制御部と、
を有する切削装置。
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Cited By (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2013220519A (ja) * | 2012-04-19 | 2013-10-28 | Disco Corp | フランジの端面修正用治具 |
CN106271936A (zh) * | 2015-06-29 | 2017-01-04 | 株式会社迪思科 | 端面接触确认器械 |
JP2017019043A (ja) * | 2015-07-09 | 2017-01-26 | 株式会社ディスコ | 端面修正治具および端面修正方法 |
JP2018187694A (ja) * | 2017-04-28 | 2018-11-29 | 株式会社ディスコ | 切削装置 |
JP2019089182A (ja) * | 2017-11-16 | 2019-06-13 | 株式会社ディスコ | 切削装置 |
CN112440166A (zh) * | 2019-09-03 | 2021-03-05 | 东和株式会社 | 法兰盘端面修正装置及方法、切断装置及切断方法 |
DE102021206463A1 (de) | 2020-06-24 | 2021-12-30 | Disco Corporation | Schneidmaschine |
Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0489636U (ja) * | 1990-12-17 | 1992-08-05 | ||
JPH1187279A (ja) * | 1997-09-04 | 1999-03-30 | Disco Abrasive Syst Ltd | 電鋳ブレード |
JP2009297855A (ja) * | 2008-06-16 | 2009-12-24 | Disco Abrasive Syst Ltd | フランジの端面修正方法 |
-
2010
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Patent Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0489636U (ja) * | 1990-12-17 | 1992-08-05 | ||
JPH1187279A (ja) * | 1997-09-04 | 1999-03-30 | Disco Abrasive Syst Ltd | 電鋳ブレード |
JP2009297855A (ja) * | 2008-06-16 | 2009-12-24 | Disco Abrasive Syst Ltd | フランジの端面修正方法 |
Cited By (13)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2013220519A (ja) * | 2012-04-19 | 2013-10-28 | Disco Corp | フランジの端面修正用治具 |
CN106271936A (zh) * | 2015-06-29 | 2017-01-04 | 株式会社迪思科 | 端面接触确认器械 |
JP2017019043A (ja) * | 2015-07-09 | 2017-01-26 | 株式会社ディスコ | 端面修正治具および端面修正方法 |
JP2018187694A (ja) * | 2017-04-28 | 2018-11-29 | 株式会社ディスコ | 切削装置 |
JP7060943B2 (ja) | 2017-11-16 | 2022-04-27 | 株式会社ディスコ | 切削装置 |
JP2019089182A (ja) * | 2017-11-16 | 2019-06-13 | 株式会社ディスコ | 切削装置 |
US11351651B2 (en) * | 2017-11-16 | 2022-06-07 | Disco Corporation | Cutting apparatus |
CN112440166A (zh) * | 2019-09-03 | 2021-03-05 | 东和株式会社 | 法兰盘端面修正装置及方法、切断装置及切断方法 |
KR20210028128A (ko) * | 2019-09-03 | 2021-03-11 | 토와 가부시기가이샤 | 플랜지 단부면 수정 장치, 절단 장치, 플랜지 단부면 수정 방법 및 절단품의 제조 방법 |
KR102418893B1 (ko) * | 2019-09-03 | 2022-07-11 | 토와 가부시기가이샤 | 플랜지 단부면 수정 장치, 절단 장치, 플랜지 단부면 수정 방법 및 절단품의 제조 방법 |
DE102021206463A1 (de) | 2020-06-24 | 2021-12-30 | Disco Corporation | Schneidmaschine |
KR20210158787A (ko) | 2020-06-24 | 2021-12-31 | 가부시기가이샤 디스코 | 절삭 장치 |
US11826879B2 (en) | 2020-06-24 | 2023-11-28 | Disco Corporation | Cutting machine |
Also Published As
Publication number | Publication date |
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