JP2011204492A - 超高圧水銀ランプ - Google Patents

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Abstract

【課題】低電力点灯モード時における水銀の凝集を防止し、定常点灯モードへの切り換え時における光量の立ち上がり速度の向上、及び発光管内壁の黒化を防止する。
【解決手段】封入量0.15mg/mm3以上の水銀が封入された発光部2と発光部2に連設された封止部3とを備える発光管と、頭部41と軸部43とを有し頭部41が発光部2において対向するように配置された一対の電極4と、封止部3に埋設されると共に、軸部43の端部に接続された金属箔6とを備え、定常点灯モードと、定格消費電力に対して20〜50%の範囲内の電力値でランプを駆動する低電力点灯モードとを切り替え可能に駆動される超高圧水銀ランプであって、超高圧水銀ランプ1は、低電力点灯モードにおける300〜350nmの紫外波長域の放射強度が、定常点灯モードにおける該紫外波長域の放射強度に比べて高いものであり、封止部3に紫外線反射膜が形成されていることを特徴とする。
【選択図】図2

Description

本発明は、超高圧水銀ランプに関し、特に、液晶ディスプレイ装置、DMD(デジタルミラーデバイス・登録商標)を用いたDLP(デジタルライトプロセッサ・登録商標)等の投射型プロジェクタ装置のバックライトに使用する超高圧水銀ランプに関する。
近年では、プロジェクタ装置に供給する電力を必要に応じて可変することが要求されている。例えば、会議等においてスクリーンに画像を映し出すときには、プロジェクタ装置から出射する光量を高くし、スクリーンに画像を鮮明に映し出すことが必要である。一方、スクリーンに画像を映し出すことが不要なときには、プロジェクタ装置から出射する光量を低くすることが望ましい。例えば、会議等においては、参加者同士でディスカッションを行うときに、スクリーンに対する画像の投影を一時中断することがあり、中断時には消費電力をセーブするためにプロジェクタ装置の光量を落とすことが好ましい。この場合に、プロジェクタ装置に内蔵された光源に給電する電力を零にし、光源を消灯することは好ましくない。この種の光源は一旦消灯すると、再点灯するために要する時間が長いためである。したがって、プロジェクタ装置においては、定常点灯モード(定格電力での点灯)と低電力点灯モード(定格電力よりも低い電力で点灯)とを必要に応じて切り換えることが望ましい。
特許文献1には、放電ランプに交流電圧を印加して放電ランプを駆動する方法が記載されている。この駆動方法によれば、第1動作モードと第2動作モードとを備え、第2動作モードにおいて、放電ランプに供給される電力を第1動作モードに比して小さくすることが記載されている。
通常、プロジェクタ装置用の光源として使用される超高圧水銀ランプは、その放射輝度を高めるために発光部内に0.15mg/mm以上という高密度の水銀が封入されている。この種のランプの放射輝度は、発光部内の水銀蒸気圧に比例し、発光部内の水銀蒸気圧が低いほど低下する。発光部の水銀蒸気圧は発光部の温度に主として依存する。つまり、発光部が低温であるほど、水銀が発光空間において未蒸発の状態となって水銀蒸気圧が低下するため、次に説明するような問題が生じる。第1に、低電力点灯モードから定常点灯モードに切り替える際に、超高圧水銀ランプの光量の立ち上がりが遅くなり、画像が瞬時にスクリーン上に投影されない。第2に、一対の電極間の抵抗値が水銀蒸気圧が低下することに伴って低下し、電極間に電流が流れ易くなる。そのため、電極に対して電子が頻繁に衝突して電極がスパッタされることにより、電極構成物質が放電空間内に飛散すると共に発光部の管壁に付着し、発光部が黒化する。
特許文献1に示した放電ランプの駆動方法では、第2動作モードにおいて放電ランプに供給する電力を第1動作モードに比して小さくしたときに、放電ランプの発光部の温度が低下するため、発光空間において水銀が未蒸発になることが避けられず、その結果として、上記の第1及び第2の問題を引き起こす惧れがある。しかし、同文献においては、水銀が未蒸発になることが原因で発生する問題及びその解決策について何ら言及されていない。
特表2009−527871号公報
通常、上記で指摘した未蒸発となった水銀は、発光空間内で最も温度が低い箇所より凝縮する。一方、超高圧水銀ランプは、電極の軸部が熱膨張することにより封止部が破損することを防止するために、封止部を構成するガラスと電極の軸部との間に軸部の周方向に微小空隙が設けられており、この微小空隙が発光空間内で最も温度が低い箇所となる。そのため、超高圧水銀ランプにおいては、ランプに供給する電力を下げたときには、未蒸発の水銀はこの微小空隙で凝縮し、上記に指摘した第1及び第2の問題を引き起こす惧れがある。
本発明の目的は、上記の従来技術の問題点に鑑みて、超高圧水銀ランプを定常点灯モードから低電力点灯モードに切り換えたときに、超高圧水銀ランプの封止部のガラスと電極の軸部との間に形成される周方向の微小空隙における水銀の凝集を防止することにより、超高圧水銀ランプの光量の立ち上がり速度の向上を図ると共に、発光管内壁の黒化を防止することを可能にした超高圧水銀ランプを提供することにある。
本発明は、上記の課題を解決するために、次のような手段を採用した。
第1の手段は、封入量0.15mg/mm以上の水銀が封入された発光部と該発光部に連設された封止部とを備える発光管と、それぞれが頭部と該頭部に連設された軸部とよりなり、それぞれの頭部が発光部の内部空間において対向するように配置された一対の電極と、それぞれが前記封止部に埋設されると共に、前記軸部の端部に接続された金属箔とを備え、定常点灯モードと、定格消費電力に対して20〜50%の範囲内の電力値でランプを駆動する低電力点灯モードとを切り替え可能に駆動される超高圧水銀ランプであって、前記超高圧水銀ランプは、前記低電力点灯モードにおける300〜350nmの紫外波長域の放射強度が、定常点灯モードにおける当該紫外波長域の放射強度に比べて高いものであり、前記封止部に紫外線反射膜が形成されていることを特徴とする超高圧水銀ランプである。
第2の手段は、第1の手段において、前記それぞれの電極の軸部がそれぞれの封止部内において微小空隙を介して配置されていることを特徴とする超高圧水銀ランプである。
第3の手段は、第1の手段又は第2の手段において、前記紫外線反射膜は、前記封止部の外表面において、少なくとも前記電極の軸部の全長に対応する領域に設けられていることを特徴とする超高圧水銀ランプである。
本発明によれば、低電力点灯モード時において、封止部のガラス内面と電極の軸部との間の微小空隙に凝集した水銀の液滴を、封止部に形成した紫外線反射膜によって反射される紫外光を利用して、電極軸部及び電極の温度を上昇させて蒸発させ、よって、放電空間における水銀蒸気圧が高いものとし、定常点灯モードに切り換えられた時の超高圧水銀ランプの光量の立ち上がりを速くすると共に、電極に対する負荷を軽減して発光部の管壁の黒化を防止する。
本発明の一実施形態に係る超高圧水銀ランプの構成を示す平面図である。 図1に示した超高圧水銀ランプの発光部と一方の封止部を拡大して示した正面断面図である。 定常点灯モード時と低電力点灯モード時のそれぞれについて超高圧水銀ランプの発光スペクトルを示す図である。 超高圧水銀ランプに紫外線反射膜を形成するための製造装置の一例を示す図である。 本発明に係る超高圧水銀ランプが適用される点灯装置の構成例を示す図である。 紫外線反射膜を封止部の外表面に形成した超高圧水銀ランプ(実施例)と、紫外線反射膜を有しない超高圧水銀ランプ(比較例)とのそれぞれについて、定常点灯モードと低電力点灯モードで点灯した時の実験結果を示す表である。
本発明の一実施形態を図1〜図6を用いて説明する。
図1は、本実施形態に係る超高圧水銀ランプの構成を示す平面図、図2は、図1に示した超高圧水銀ランプの発光部と一方の封止部を拡大して示した正面断面図である。
図1に示すように、超高圧水銀ランプ100は、石英ガラスからなる発光管1を有しており、発光管1は、球状の発光部2と、その両端に連設された一対の封止部3、3とで構成されている。発光部2内には、定常点灯モードで点灯したときの水銀蒸気圧が150気圧以上となるように、水銀が0.15mg/mm以上封入されていると共に、それぞれの先端が向き合うように一対の電極4、4が配置されている。更に、封止部3、3の周囲には、超高圧水銀ランプ100から放射される紫外光を反射する紫外線反射膜5、5が形成されている。
図2に示すように、電極4は、突起が形成された球状の頭部41と、頭部41の後方に連なるコイル部42と、コイル部42の後方に連なる軸部43とを備え、これらがタングステンによって一体的に構成されている。封止部3は、モリブデンからなる金属箔6が埋設されることで気密に封止されている。金属箔6は、一端に軸部43の端部が接続されると共に、他端に外部リード7が接続されている。外部リード7は封止部3の外方へと伸び出ている。
封入される水銀は、必要な可視光波長、例えば、波長380〜780nmという放射光を得るためのものであり、0.15mg/mm以上封入されている。この封入量は、温度条件によっても異なるが、点灯時15MPa以上という極めて高い蒸気圧を形成するためのものである。また、水銀をより多く封入することで点灯時の水銀蒸気圧を20MPa以上、更には30MPa以上という高い水銀蒸気圧の放電ランプを作ることができ、水銀蒸気圧が高くなるほどプロジェクタ装置に適した光源を実現することができる。
希ガスは、静圧で約10〜26kPa封入される。具体的には、アルゴンガスであり、このように希ガスを封入するのは、点灯始動性を改善するためである。また、ハロゲンは、沃素、臭素、塩素などが封入され、ハロゲンの封入量は、10−6〜10−2μmol/mmの範囲から選択される。その機能は、ハロゲンサイクルを利用した長寿命化(黒化防止)にあるが、本発明の超高圧水銀ランプ100のように極めて小型で高い内圧を有するものの場合は、発光部2の失透を防止するためでもある。
次に、図2を用いて、封止部3のガラス内面31と電極4の軸部43との間に形成される中空円筒状の微小空隙8における水銀の凝集について説明する。
同図に示すように、封止部3を構成するガラスと電極4の軸部43との間に中空円筒状の微小空隙8が形成されるが、これは、軸部43を構成するタングステンの熱膨張率が封止部3のガラスの熱膨張よりも1桁以上も大きいため、ランプ点灯時に軸部43が熱膨張して封止部3のガラスを押圧することによって、封止部3にクラックが生じないようにするためである。微小空隙8は、一対の電極4、4間に形成されるプラズマから遠方に位置するため、放電空間の内部において最冷点となる。放電空間における水銀蒸気圧は、最冷点の温度に依存するので、微小空隙8の温度が低下するにつれて低いものとなる。そして、超高圧水銀ランプ100を低電力点灯モードで点灯したときは、微小空隙8が低温状態になるので、微小空隙8に水銀の液滴が凝集する。
図3は、定常点灯モード時と低電力点灯モード時のそれぞれについて超高圧水銀ランプの発光スペクトルを示す図であり、縦軸は発光強度、横軸は波長である。
同図において、Aは定常点灯モードより低電力が超高圧水銀ランプ100に供給される低電力点灯モード時の発光スペクトルであり、Bは定常点灯モード時の発光スペクトルである。同図に示すように、例えば、定常点灯モード時の供給電力の25%の低電力点灯モード時においては、定常点灯モード時には見られなかったピークが300nm付近の短波長域の紫外光が出現しており、低電力点灯モード時の300〜350nmの波長域における放射強度が、定常点灯モード時の当該波長域の放射強度よりも高いことが分かる。
本発明の超高圧水銀ランプは、図3に示したように、低電力点灯モード時に出現する超高圧水銀ランプ100から放射される短波長域の紫外光を利用することにある。そのために、図1及び図2に示すように、超高圧水銀ランプ1の封止部3、3の周囲に、超高圧水銀ランプ1から放射される紫外光を反射する紫外線反射膜5、5を設ける。紫外線反射膜5、5は、封止部3、3の外表面において、少なくとも発光部2と封止部3、3との境界部から電極4、4の軸部43、43の金属箔に接続された端部までに対応する領域に亘り形成される。
超高圧水銀ランプ1は、低電力点灯モードで点灯中は、発光部2の温度が低温になり、電極4、4の軸部43、43と封止部3、3のガラスとの間の微小空隙8、8において水銀の液滴が凝集し易い。そこで、紫外線反射膜5、5は、低電力点灯モード時に微小空隙8、8に凝集した水銀の液滴を蒸発させる機能を有する。つまり、低電力点灯モード時においては、超高圧水銀ランプ1から放射された紫外線が、紫外線反射膜5、5によって微小空隙8、8に向けて反射されるので、水銀の液滴は反射された紫外線を受けて蒸発する。そのため、低電力点灯モードから定常点灯モードに切り替えた際に、超高圧水銀ランプ1の放電空間における水銀蒸気圧が高いものとなっているので、光量の立ち上がりが速くなると共に、水銀蒸気圧が低下していないので、電極4、4に対する負荷が軽減され、発光部2の管壁の黒化を防止することができる。
なお、紫外線反射膜5、5は、封止部3、3の外表面だけでなく封止部3、3及び発光2部の一部に亘り形成することが好ましい。特に、紫外線反射膜5、5が発光部2内に配置される電極4、4の周囲を覆うことが理想的である。発光部2の一部にも紫外線を照射するようにすると、紫外線反射膜5、5で反射した紫外線を電極4、4外表面にも照射することができ、電極4、4を高温にすることができる。
ただし、紫外線反射膜5、5は、発光部2から放射される光を邪魔することのないように、発光部2において電極4、4の周囲のみに形成することが好ましい。
紫外線反射膜5、5は、SiOとTaとを交互に積層した多層膜によって形成される。封止部3、3の外表面に形成する第1層目はSiO層とし、第2層目をTaにすることが好ましい。SiO層は封止部3、3のガラスに密着し易いためである。なお、紫外線反射膜としては、SiOとTaを使用した多層膜は以外にも、ZrOとSiOを使用した多層膜やHfOとSiOとを使用した多層膜を使用することも可能である。SiOとTaを使用した多層膜は反射率が波長300(350)〜400nmから次第に減少する特性を有し、ZrOとSiOとを使用した多層膜は反射率が波長300(330)〜400nmから次第に減少する特性を有し、HfOとSiOとを使用した多層膜は反射率が波長200〜400nmから次第に減少する特性を有している。特性上、HfOとSiOとを使用した多層膜の方が優れているが、価格等を考慮すると、実際は、SiOとTaとを使用した多層膜が使用される。なお、紫外線照射膜5は、通常5〜20層であり、その厚さは、0.3〜1.5μmである。
図4は、超高圧水銀ランプ100に紫外線反射膜5、5を形成するための製造装置の一例を示す図である。
同図に示すように、この紫外線反射膜の製造装置は、真空チャンバ9と、超高圧水銀ランプ100を設置する基板10と、原料及びキャリアガスを給排気するための導入部11及び排出部12と、加熱用の熱源13とを有する。熱源は、例えば、ハロゲンヒータである。
紫外線反射膜5は以下の手順により作製される。まず、(1)超高圧水銀ランプ100の紫外線反射膜5を形成しない領域にマスキングする。つまり、紫外線反射膜5が必要な箇所のみが露出した状態にする。次に、(2)マスキングした超高圧水銀ランプ100を真空チャンバ9内の基板10上に配置し、真空チャンバ9を排気する。次に、(3)熱源13のハロゲンヒータを駆動し、真空チャンバ9内の温度を600〜800℃まで上昇させる。次に、(4)SiOを含む原料ガスを真空チャンバ9内に約2分間供給する。次に、(5)Taを含む原料ガスを真空チャンバ9内に約2分間供給する。次に、(6)上記(4)及び(5)の手順を繰り返すことによって、積層された紫外線反射膜5が超高圧水銀ランプ100の所定の箇所に形成される。なお、上記(4)及び(5)の手順において、原料ガスの流速および供給時間を適宜変更することによって、紫外線反射域が200nm〜420nmの範囲に制御される。
図5は、本発明に係る超高圧水銀ランプが適用される点灯装置の構成例を示す図である。
同図に示すように、この点灯装置14は、直流電圧が供給される降圧チョッパ回路15と、降圧チョッパ回路15の出力側に接続され、直流電圧を交流電圧に変換して超高圧水銀ランプ100に供給するフルブリッジ型インバータ回路16(以下、「フルブリッジ回路」ともいう。)と、超高圧水銀ランプ100に直列接続されたコイルL1、コンデンサC1、及びスタータ回路17と、フルブリッジ回路16のスイッチング素子Q1〜Q4を駆動するドライバ18と、制御部19とから構成される。制御部19は、例えば、マイクロプロセッサ等の処理装置で構成される。
降圧チョッパ回路15は、直流電圧が供給される+側電源端子に接続されたスイッチング素子QxとリアクトルLxと、スイッチング素子QxとリアクトルLxの接続点と−側電源端子間にカソード側が接続されたダイオードDxと、リアクトルLxの出力側に接続された平滑コンデンサCxと、平滑コンデンサCxの−側端子とダイオードDxのアノード側の間に接続された電流検出用の抵抗Rxから構成される。スイッチング素子Qxを所定のデューティで駆動することにより、入力直流電圧VDCを、デューティに応じた電圧に降圧する。降圧チョッパ回路15の出力側には、電圧検出用の抵抗R1、R2の直列回路が設けられている。フルブリッジ回路16は、ブリッジ状に接続したスイッチング素子Q1〜Q4から構成され、スイッチング素子Q1、Q4、スイッチング素子Q2、Q3を交互にオンにすることにより、スイッチング素子Q1、Q2の接続点と、スイッチング素子Q3、Q4の接続点間に矩形波状の交流電圧が発生する。
スタータ回路17は、抵抗R3とスイッチング素子Q5の直列回路と、コンデンサC2とトランスT1から構成される。スイッチング素子Q5をオンにすると、コンデンサC2に充電されていた電荷がスイッチング素子Q5、トランスT1の一次側巻線を介して放電し、トランスT1の2次側にパルス状の高電圧が発生する。この高電圧は、超高圧水銀ランプ100の補助電極171に印加され、超高圧水銀ランプ100は点灯する。
出力電力の制御は、降圧チョッパ回路15のスイッチング素子Qxの動作デューティを調整することで達成される。つまり、降圧チョッパ回路15のスイッチング素子Qxのゲート信号Gxをデューティに応じてオン/オフすることによって、超高電圧水銀ランプ1に供給される電力が変化する。
制御部19は、駆動信号発生部191とコントローラ192から構成される。駆動信号発生部191は、フルブリッジ回路16のスイッチング素子Q1〜Q4を駆動するための駆動信号を発生する。コントローラ192は、超高圧水銀ランプ100の点灯動作を制御し、外部からの点灯電力指令に応じて、降圧チョッパ回路15のスイッチング素子Qxを設定されたデューティで駆動する機能を備える。また、コントローラ192は、電流検出用の抵抗Rxの両端電圧と、電圧検出用の抵抗R1,R2により検出された電圧から、ランプ電流I、ランプ電圧Vを求めてランプ電力を演算し、この電力が点灯電力指令により指令された電力と一致するように降圧チョッパ回路15のスイッチング素子Qxのデューティを制御する。駆動信号発生部191は、スイッチング素子Q1〜Q4を駆動するための駆動信号を発生し、ドライバ18に送信する。フルブリッジ回路16は、ドライバ18からのドライブ信号に応じた極性反転動作を行う。
次に、点灯装置14の動作を図5を用いて説明する。
まず、コントローラ192に点灯指令が与えられると、超高圧水銀ランプ100への給電が開始されると共に、コントローラ192は、始動回路駆動信号を発生し、スタータ回路17をトリガして超高圧水銀ランプ100を点灯させる。次に、超高圧水銀ランプ100が点灯すると、コントローラ192は、分圧抵抗R1、R2により検出される電圧値Vと、抵抗Rxにより検出される電流値Iにより点灯電力を演算する。次に、コントローラ192は、点灯電力指令信号により指令された電力値と、上記演算された電力値に基き、降圧チョッパ回路15のスイッチング素子Qxを制御して、点灯電力を制御する。すなわち、降圧チョッパ回路15のスイッチング素子Qxは、ゲート信号Gxのデューティに応じて変化し、外部から点灯電力指令に応じて、電力アップならスイッチング素子Qxのデューティを上げ、電力ダウンならスイッチング素子Qxのデューティを下げて、入力された点灯電力指令に合致する電力値になるようにゲート信号Gxの制御を行う。
より詳細には、点灯電力指令により定常点灯モードが指令された時は、コントローラ192は、降圧チョッパ回路15のスイッチング素子Qxのデューティを制御して定格電力の70%以上の電力が出力されるように制御し、また、点灯電力指令により低電力点灯モードが指令された時は、コントローラ192は、降圧チョッパ回路15のスイッチング素子Qxのデューティを制御して定格電力の20〜50%の電力が出力されるように制御する。ここで、低電力点灯モードにおいて指令された電力値が定格電力の20〜50%の範囲とするのは、20%以下では超高圧水銀ランプが不点灯となってしまい、また50%以下とするのは、定常点灯モード時に比べて紫外線の出力が顕著に増大するためである。
図6は、紫外線反射膜を封止部の外表面に形成した超高圧水銀ランプ(実施例)と、紫外線反射膜を有しない超高圧水銀ランプ(比較例)とのそれぞれについて、定常点灯モードと低電力点灯モードで点灯した時の実験結果を示す表である。
なお、実験条件は以下のとおりである。(1)紫外線反射膜の材質:SiOとTa、(2)定常点灯モード:定格電力の100%の電力を供給、(3)低電力点灯モード:定格電力の25%の電力を供給、(4)温度測定箇所:電極の軸部周囲の封止部、(5)冷却条件:定常点灯モード時の封止部温度が900℃になるように設定。
同図に示すように、紫外線反射膜を有する実施例の超高圧水銀ランプは、低電力点灯モード時において、紫外線反射膜を有しない比較例の超高圧水銀ランプよりも、電極の軸部周囲の封止部の温度が高くなることが確認された。
つまり、紫外線反射膜を有する実施例の超高圧水銀ランプは、低電力点灯モード時において、封止部を構成するガラスと電極の軸部との間の微小空隙への水銀の凝縮が防止されるため、超高圧水銀ランプの光量の立ち上がり速度が向上すると共に、発光管内壁の黒化を防止することができると考えられる。
100 超高圧水銀ランプ
1 発光管
2 発光部
3 封止部
31 内面
4 電極
41 頭部
42 コイル部
43 軸部
5 紫外線反射膜
6 金属箔
7 外部リード
8 微小空隙
9 真空チャンバ
10 基板
11 導入部
12 排出部
13 熱源(ハロゲンヒータ)
14 点灯装置
15 降圧チョッパ回路
16 フルブリッジ回路
17 スタータ回路
171 補助電極
18 ドライバ
19 制御部
191 駆動信号発生部
192 コントローラ

Claims (3)

  1. 封入量0.15mg/mm以上の水銀が封入された発光部と該発光部に連設された封止部とを備える発光管と、それぞれが頭部と該頭部に連設された軸部とよりなり、それぞれの頭部が発光部の内部空間において対向するように配置された一対の電極と、それぞれが前記封止部に埋設されると共に、前記軸部の端部に接続された金属箔とを備え、定常点灯モードと、定格消費電力に対して20〜50%の範囲内の電力値でランプを駆動する低電力点灯モードとを切り替え可能に駆動される超高圧水銀ランプであって、
    前記超高圧水銀ランプは、前記低電力点灯モードにおける300〜350nmの紫外波長域の放射強度が、定常点灯モードにおける当該紫外波長域の放射強度に比べて高いものであり、
    前記封止部に紫外線反射膜が形成されていることを特徴とする超高圧水銀ランプ。
  2. 前記それぞれの電極の軸部がそれぞれの封止部内において微小空隙を介して配置されていることを特徴とする請求項1に記載の超高圧水銀ランプ。
  3. 前記紫外線反射膜は、前記封止部の外表面において、少なくとも前記電極の軸部の全長に対応する領域に設けられていることを特徴とする請求項1又は請求項2に記載の超高圧水銀ランプ。
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