JP2011202217A5 - - Google Patents
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Description
本願発明は、ターゲットが取り付けられるカソードの裏面側に沿うように往復移動可能な磁石ユニットを配置したマグネトロンスパッタリング装置であって、前記磁石ユニットは、一つの極性の磁極面を前記カソード側に向けた永久磁石からなる内側磁石と、前記内側磁石を取り囲むように配列され、前記内側磁石と反対の極性の磁極面を前記カソード側に向けた外側磁石と、強磁性体材料からなり前記内側磁石および前記外側磁石の前記カソードに対して反対側に位置し、前記内側磁石と前記外側磁石の磁極を接続する板状のヨークと、を有しており、前記ヨークは、前記磁石ユニットの移動方向に沿って長手方向が配置された前記外側磁石と前記内側磁石の間の部分の厚さがその他の部分に比べて薄く形成されている部分を有することを特徴とする。
具体的には、上述のマグネトロンスパッタリング装置は、前記内側磁石と前記外側磁石とを固定する非磁性体を更に有することを特徴とする。或いは、上述のマグネトロンスパッタリング装置は、前記ヨークは、前記薄く形成されている部分が分離可能に構成されていることを特徴とする。
Claims (4)
- ターゲットが取り付けられるカソードの裏面側に沿うように往復移動可能な磁石ユニットを配置したマグネトロンスパッタリング装置であって、
前記磁石ユニットは、
一つの極性の磁極面を前記カソード側に向けた永久磁石からなる内側磁石と、
前記内側磁石を取り囲むように配列され、前記内側磁石と反対の極性の磁極面を前記カソード側に向けた外側磁石と、
強磁性体材料からなり前記内側磁石および前記外側磁石の前記カソードに対して反対側に位置し、前記内側磁石と前記外側磁石の磁極を接続する板状のヨークと、を有しており、
前記ヨークは、前記磁石ユニットの移動方向に沿って長手方向が配置された前記外側磁石と前記内側磁石の間の部分の厚さがその他の部分に比べて薄く形成されている部分を有することを特徴とするマグネトロンスパッタリング装置。 - 前記内側磁石と前記外側磁石とを固定する非磁性体を更に有することを特徴とする請求項１に記載のマグネトロンスパッタリング装置。
- 前記ヨークは、前記薄く形成されている部分が分離可能に構成されていることを特徴とする請求項１または２に記載のマグネトロンスパッタリング装置。
- 前記ヨークは、前記その他の部分が、前記移動方向に対して交差する方向に複数個に分割されていることを特徴とする請求項１または２に記載のマグネトロンスパッタリング装置。
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