JP2008156735A5 - - Google Patents
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Description
上記目的は以下のマグネトロンスパッタリング用磁気回路により達成される。すなわち、本発明のマグネトロンスパッタリング用磁気回路は、非磁性体からなるベースと、その表面に設置された長方形状の中央磁極片と、その周囲に設けられた長円形状の外周磁極片と、前記中央磁極片と前記外周磁極片との間の長方形状空間に設置された複数の直線部用永久磁石と、前記中央磁極片と前記外周磁極片との間の円弧状又は多角形状空間に設置された複数のコーナー部用永久磁石とを有し、前記直線部用永久磁石及び前記コーナー部用永久磁石は水平方向に磁化されかつ同極性の磁極が前記中央磁極片に対向するように配置されているとともに、前記中央磁極片の高さ及び前記外周磁極片の高さは前記直線部用永久磁石及び前記コーナー部用永久磁石の高さ以上に形成されていることを特徴とするものである。
Claims (2)
- 非磁性体からなるベースと、その表面に設置された長方形状の中央磁極片と、その周囲に設けられた長円形状の外周磁極片と、前記中央磁極片と前記外周磁極片との間の長方形状空間に長手方向に沿って連設された複数の直線部用永久磁石と、前記中央磁極片と前記外周磁極片との間の円弧状又は多角形状空間に設置された複数のコーナー部用永久磁石とを有し、前記直線部用永久磁石及び前記コーナー部用永久磁石は水平方向に磁化されかつ同極性の磁極が前記中央磁極片に対向するように配置されているとともに、前記中央磁極片及び前記外周磁極片の高さは前記直線部用永久磁石及び前記コーナー部用永久磁石の高さ以上に形成されていることを特徴とするマグネトロンスパッタリング用磁気回路。
- 前記コーナー部用永久磁石の高さは、前記直線部用永久磁石の高さよりも低く形成されていることを特徴とする請求項１に記載のマグネトロンスパッタリング用磁気回路。
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| JP2006349496A JP4509097B2 (ja) | 2006-12-26 | 2006-12-26 | マグネトロンスパッタリング用磁気回路 |
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