JP2011199816A5 - - Google Patents
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以下、発明を実施するための形態(以下、「実施形態」と記述する)について図面を用いて詳細に説明する。なお、説明は以下の順序で行う。
1.本発明が適用される固体撮像装置
1−1.基本的なシステム構成
1−2.他のシステム構成
2.実施形態に関する説明
2−1.電荷蓄積部を分割することによって電荷蓄積部のトータルの容量値を大きくすることが出来る理由
2−2.単位面積当たりの容量値が大きいキャパシタの説明
3.実施例
3−1.実施例1
3−2.実施例2
3−3.実施例3
3−4.実施例4
3−5.実施例5
4.参考例
5.変形例
6.電子機器(撮像装置)
1.本発明が適用される固体撮像装置
1−1.基本的なシステム構成
1−2.他のシステム構成
2.実施形態に関する説明
2−1.電荷蓄積部を分割することによって電荷蓄積部のトータルの容量値を大きくすることが出来る理由
2−2.単位面積当たりの容量値が大きいキャパシタの説明
3.実施例
3−1.実施例1
3−2.実施例2
3−3.実施例3
3−4.実施例4
3−5.実施例5
4.参考例
5.変形例
6.電子機器(撮像装置)
本適用例に係るCMOSイメージセンサ10は、図示せぬ半導体基板(チップ)上に形成された画素アレイ部11と、当該画素アレイ部11と同じ半導体基板上に集積された周辺回路部とを有する構成となっている。周辺回路部は、例えば、垂直駆動部12、カラム処理部13、水平駆動部14及びシステム制御部15から構成されている。
[2−2.単位面積当たりの容量値が大きいキャパシタの説明]
ここで、第1の電荷蓄積部を構成する埋め込み型MOSキャパシタと、第2の電荷蓄積部を構成する例えば表面型MOSキャパシタとの違いについて説明する。
ここで、第1の電荷蓄積部を構成する埋め込み型MOSキャパシタと、第2の電荷蓄積部を構成する例えば表面型MOSキャパシタとの違いについて説明する。
図4に、埋め込み型MOSキャパシタ(A)、及び、表面型MOSキャパシタ(B)について示す。また、図4(A)、(B)において、(a)は各MOSキャパシタの断面構造を、(b)は等価回路をそれぞれ示している。
図4(A)、(B)に示すように、いずれのMOSキャパシタも、半導体基板21上にゲート酸化膜22を介してゲート電極23が配置されている。そして、埋め込み型MOSキャパシタの場合は、半導体基板21の深部に信号電荷を蓄積する電荷蓄積領域24が形成され、表面型MOSキャパシタの場合は、半導体基板21の基板表面に電荷蓄積領域25が形成される構造となっている。
(表面型キャパシタの場合)
電荷蓄積領域25の単位面積当たりの容量値をCsとすると、当該容量値Csは次式(3)で表わされる。
Cs=Cox+Csi ・・・(3)
ここで、電荷蓄積領域-基板間の容量値Csiが十分に小さいと考えれば、次式(4)に示すように、ゲート酸化膜22の容量値Coxで近似できる。
Cs≒Cox ・・・(4)
電荷蓄積領域25の単位面積当たりの容量値をCsとすると、当該容量値Csは次式(3)で表わされる。
Cs=Cox+Csi ・・・(3)
ここで、電荷蓄積領域-基板間の容量値Csiが十分に小さいと考えれば、次式(4)に示すように、ゲート酸化膜22の容量値Coxで近似できる。
Cs≒Cox ・・・(4)
単位画素60Aに対して、図1の画素駆動線16として、複数の駆動線が例えば画素行毎に配線される。そして、図1の垂直駆動部12から画素駆動線16の複数の駆動線を通して、各種の駆動信号TG、FG、AG、RST、SEL、PGが供給される。これらの駆動信号TG、FG、AG、RST、SEL、PGは、上記の構成においては、各トランジスタがNMOSトランジスタであるため、高レベル(例えば、電源電圧V DD )の状態がアクティブ状態となり、低レベルの状態(例えば、負電位)が非アクティブ状態となるパルス信号である。また、駆動信号TGに関しては、前記高レベルの電位と低レベルの電位とその両者の間の中レベルの電位の3値にて適宜駆動出来るものとする。以下では、中レベルの電位を中間電位VMと記載する。
第1の電荷蓄積部66は、第1の転送ゲート部62のゲート電極621を兼ねるゲート電極661を有し、当該ゲート電極661の下に埋め込み型MOSキャパシタとして形成される。すなわち、第1の電荷蓄積部66は、当該ゲート電極661の下のP型ウェル52内に形成されたN型半導体領域662と、その表層部に形成されたP−型半導体領域663とからなる埋め込み型MOSキャパシタによって構成されている。
次に、時刻t3で転送信号TGが非アクティブ状態になることで、第2の転送ゲート部63が非導通状態になり、しかる後、時刻t 4 で転送信号TGがアクティブ状態になることで、第1の転送ゲート部62が導通状態になる。これにより、フォトダイオード61に蓄積された光電荷が、第1の電荷蓄積部66に転送され、当該電荷蓄積部66に蓄積される。
本変形例1に係る単位画素60B-1も、実施例2に係る単位画素60Bと同様の回路構成素子を備えている。すなわち、本変形例1に係る単位画素60B-1は、フォトダイオード61、リセットゲート部65(以下、「リセットトランジスタ65」と記述する場合もある)、第1、第2の電荷蓄積部66、67、増幅トランジスタ68、選択トランジスタ69、及び、電荷排出ゲート部70に加えて、4つの転送ゲート部62〜64、72を有している。
上記の構成の単位画素60Cにおいて、第1の電荷蓄積部66は、回路的に、第1の転送ゲート部62と第2の転送ゲート部63との間に、埋め込み型MOSキャパシタとして設けられている。当該電荷蓄積部66のゲート電極には、転送信号SGが印加される。第2の電荷蓄積部67は、先述した各実施例と同様に、当該電荷蓄積部66よりも単位面積当たりの容量値が大きいキャパシタによって構成される。
第1の転送ゲート部62は、回路的に、フォトダイオード61と第1の電荷蓄積部66との間に接続されている。第2の転送ゲート部63は、回路的に、当該電荷蓄積部66とFD部71との間に接続されている。第5の転送ゲート部73は、回路的に、当該電荷蓄積部66と第2の電荷蓄積部67との間に接続されている。第5の転送ゲート部73のゲート電極には、転送信号CGが印加される。
上述した画素構造の実施例4に係る単位画素60Dにおいて、第5の転送ゲート部73のゲート電極731の下にオーバーフローパスを持つことで、高照度時にフォトダイオード61から溢れた光電荷を第2の電荷蓄積部67にも蓄積することができる。具体的には、第5の転送ゲート部73の非導通状態においても、第1の電荷蓄積部66から溢れた所定量以上の光電荷を第2の電荷蓄積部67に転送し、当該電荷蓄積部67に蓄積することができる。これにより、実施例3のように転送信号TGに中間電位VMを用いることなく、フォトダイオード61の飽和電荷量より第1の電荷蓄積部の飽和電荷量を小さく設定することが出来る。
実施例4に係る単位画素60Dの回路動作の場合、実施例3に係る単位画素60Cの回路動作と比較して、第5の転送ゲート部73を駆動する転送信号CGのタイミング関係が異なるのみであり、基本的な回路動作については同じである。因みに、第5の転送ゲート部73は、露光期間における時刻t 42 のタイミングで導通状態になる。
実施例5に係る単位画素60Eと異なる点は、実施例3の変形例1に係る単位画素60C-1の場合と同様に、リセットトランジスタ65の接続位置である。すなわち、リセットトランジスタ65は、第1の電荷蓄積部66、及び、第2の電荷蓄積部67とリセット電圧VDRの間に接続されている。
(処理例1)
先ず、信号の読出し時にFD部71に転送された光電荷に基づく第1の信号レベルS1と、FD部71に光電荷が転送される前のリセットレベルに基づく第1のリセットレベルN1との差分をとる。更に、FD部71、第1の電荷蓄積部66、及び、第2の電荷蓄積部67に蓄積された光電荷に基づく第2の信号レベルS2と、FD部71、第1の電荷蓄積部66、及び、第2の電荷蓄積部67をリセットした後のリセットレベルに基づく第2のリセットレベルN2との差分をとる。第1の差分をSN1、第2の差分をSN2とすると、SN1=S1−N1、SN2=S2−N2となる。
先ず、信号の読出し時にFD部71に転送された光電荷に基づく第1の信号レベルS1と、FD部71に光電荷が転送される前のリセットレベルに基づく第1のリセットレベルN1との差分をとる。更に、FD部71、第1の電荷蓄積部66、及び、第2の電荷蓄積部67に蓄積された光電荷に基づく第2の信号レベルS2と、FD部71、第1の電荷蓄積部66、及び、第2の電荷蓄積部67をリセットした後のリセットレベルに基づく第2のリセットレベルN2との差分をとる。第1の差分をSN1、第2の差分をSN2とすると、SN1=S1−N1、SN2=S2−N2となる。
具体的には、先ず、信号の読出し時にFD部71に転送された光電荷に基づく電圧信号(第1の信号レベル)S1と、FD部71に光電荷が転送される前のリセットレベルに基づく電圧信号(第1のリセットレベル)N1との差分をとる。次に、FD部71、第1の電荷蓄積部66、及び、第2の電荷蓄積部67に蓄積された光電荷に基づく電圧信号(第2の信号レベル)S2と、前フレームにおける電圧信号N2Aとの差分をとる。この電圧信号N2Aは、前フレームにおけるFD部71、第1の電荷蓄積部66、及び、第2の電荷蓄積部67に蓄積された光電荷をリセットした後のリセットレベルに基づく信号である。第1の差分をSN1、第2の差分をSN2とすると、SN1=S1−N1、SN2=S2−N2Aとなる。
Claims (20)
- 受光した光量に応じた光電荷を生成しかつ蓄積する光電変換部、埋め込み型MOSキャパシタからなる第1の電荷蓄積部、及び、前記第1の電荷蓄積部よりも単位面積当たりの容量値が大きいキャパシタからなる第2の電荷蓄積部を有する単位画素が複数配置されてなる画素アレイ部と、
前記光電変換部から全画素同時に光電荷を転送する際に、前記第1の電荷蓄積部の飽和電荷量以下の光電荷については前記第1の電荷蓄積部に蓄積し、前記第1の電荷蓄積部の飽和電荷量を超える光電荷については前記第1の電荷蓄積部及び前記第2の電荷蓄積部に蓄積する駆動を行う駆動部と
を備える固体撮像装置。 - 前記駆動部は更に、光電変換部において光電荷を生成しかつ蓄積する際に、前記光電変換部の飽和電荷量以下の光電荷については前記光電変換部に蓄積し、前記光電変換部の飽和電荷量を超える光電荷については前記第1の電荷蓄積部及び前記第2の電荷蓄積部に蓄積する駆動を行う
請求項1に記載の固体撮像装置。 - 前記第1の電荷蓄積部は、前記光電変換部の飽和電荷量よりも少ない飽和電荷量を持ち、
前記第2の電荷蓄積部は、前記第1の電荷蓄積部の飽和電荷量との飽和電荷量の合計が前記光電変換部の飽和電荷量以上となる飽和電荷量を持つ
請求項1または請求項2に記載の固体撮像装置。 - 前記単位画素は、
前記光電変換部に蓄積された光電荷を前記第1の電荷蓄積部に転送する第1の転送ゲート部と、
前記第1の電荷蓄積部に蓄積された光電荷を、電荷を電気信号として出力するフローティングディフュージョン部に転送する第2の転送ゲート部とを有する
請求項1乃至請求項3のいずれか1項記載の固体撮像装置。 - 前記単位画素は、前記第1の転送ゲート部の非導通状態において、前記光電変換部から溢れた光電荷を前記第1の電荷蓄積部に転送する第1のオーバーフローパスを有する
請求項4に記載の固体撮像装置。 - 前記第1のオーバーフローパスは、前記第1の転送ゲート部のゲート下に形成されている
請求項5に記載の固体撮像装置。 - 前記単位画素は、前記フローティングディフュージョン部と前記第2の電荷蓄積部との間に接続された第3の転送ゲート部を有し、
前記第3の転送ゲート部は、前記フローティングディフュージョン部と前記第2の電荷蓄積部のポテンシャルを結合または分割する
請求項4乃至請求項6のいずれか1項に記載の固体撮像装置。 - 前記単位画素は、前記光電変換部から溢れた光電荷を、前記第2の電荷蓄積部に転送する第2のオーバーフローパスを有する
請求項4に記載の固体撮像装置。 - 前記単位画素は、前記光電変換部と前記第2の電荷蓄積部との間に接続された第4の転送ゲート部を有し、
前記第2のオーバーフローパスは、前記第4の転送ゲート部のゲート下に形成される
請求項8に記載の固体撮像装置。 - 前記単位画素は、前記第1の電荷蓄積部から溢れた光電荷を、前記第2の電荷蓄積部に転送する第3のオーバーフローパスを有する
請求項4乃至請求項6のいずれか1項に記載の固体撮像装置。 - 前記単位画素は、前記第1の電荷蓄積部と前記第2の電荷蓄積部との間に接続された第5の転送ゲート部を有し、
前記第3のオーバーフローパスは、前記第5の転送ゲート部のゲート下に形成される
請求項10に記載の固体撮像装置。 - 前記第5の転送ゲート部は、前記第2の転送ゲート部及び前記第1の電荷蓄積部のゲート電極と共に、前記フローティングディフュージョン部、前記第1の電荷蓄積部、及び、前記第2の電荷蓄積部のポテンシャルを結合または分割する
請求項11に記載の固体撮像装置。 - 前記単位画素は、前記光電変換部で光電荷の蓄積を行わない期間において、前記光電変換部内の電荷を選択的に排出する電荷排出ゲート部を有する
請求項4乃至請求項12のいずれか1項に記載の固体撮像装置。 - 前記単位画素は、
互いにポテンシャル結合した前記フローティングディフュージョン部、前記第1の電荷蓄積部、及び、前記第2の電荷蓄積部の光電荷をリセットするリセットゲート部と、
互いにポテンシャル結合した前記フローティングディフュージョン部、前記第1の電荷蓄積部、及び、前記第2の電荷蓄積部の光電荷を電気信号に変換する増幅トランジスタと、
前記増幅トランジスタに接続されて画素選択を行う選択トランジスタとを有する
請求項4乃至請求項13のいずれか1項に記載の固体撮像装置。 - 前記フローティングディフュージョン部、前記リセットゲート部、前記増幅トランジスタ、及び、前記選択トランジスタを複数の画素間で共有する
請求項14記載の固体撮像装置。 - 前記単位画素は、
互いにポテンシャル結合した前記フローティングディフュージョン部、前記第1の電荷蓄積部、及び、前記第2の電荷蓄積部の光電荷をリセットするリセットゲート部と、
互いにポテンシャル結合した前記フローティングディフュージョン部、前記第1の電荷蓄積部、及び、前記第2の電荷蓄積部の光電荷を電気信号に変換する増幅トランジスタとを有し、
前記リセットゲート部に駆動電圧を印加することによって画素選択を行う
請求項4乃至請求項13のいずれか1項に記載の固体撮像装置。 - 前記フローティングディフュージョン部、前記リセットゲート部、及び、前記増幅トランジスタを複数の画素間で共有する
請求項16記載の固体撮像装置。 - 前記第1乃至第5の転送ゲート部、及び、前記第1の電荷蓄積部のゲート電極の非導通状態におけるゲート電位は、基板表面をピニング状態にする電位に設定され、
前記第2、第3、第5の転送ゲート部、及び、前記第1の電荷蓄積部のゲート電極の導通状態における基板の表面電位は、前記リセットゲート部に印加される電位よりも高い
請求項4乃至請求項17のいずれか1項に記載の固体撮像装置。 - 受光した光量に応じた光電荷を生成しかつ蓄積する光電変換部、埋め込み型MOSキャパシタからなる第1の電荷蓄積部、及び、前記第1の電荷蓄積部よりも単位面積当たりの容量値が大きいキャパシタからなる第2の電荷蓄積部を有する単位画素が複数配置されてなる固体撮像装置の駆動に当たって、
前記光電変換部から全画素同時に光電荷を転送する際に、前記第1の電荷蓄積部の飽和電荷量以下の光電荷は前記第1の電荷蓄積部に蓄積し、前記第1の電荷蓄積部の飽和電荷量を超える光電荷については前記第1の電荷蓄積部及び前記第2の電荷蓄積部に蓄積する
固体撮像装置の駆動方法。 - 受光した光量に応じた光電荷を生成しかつ蓄積する光電変換部、埋め込み型MOSキャパシタからなる第1の電荷蓄積部、及び、前記第1の電荷蓄積部よりも単位面積当たりの容量値が大きいキャパシタからなる第2の電荷蓄積部を有する単位画素が複数配置されてなり、
前記光電変換部から全画素同時に光電荷を転送する際に、前記第1の電荷蓄積部の飽和電荷量以下の光電荷については前記第1の電荷蓄積部に蓄積し、前記第1の電荷蓄積部の飽和電荷量を超える光電荷については前記第1の電荷蓄積部及び前記第2の電荷蓄積部に蓄積する固体撮像装置と、
前記単位画素から出力される信号に対してノイズ除去及び演算等の信号処理を行う信号処理部と
を備える電子機器。
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