JP2011192124A - タッチパネルおよびその製造方法 - Google Patents

Abstract

【課題】カバーガラスに接続したフレキシブル配線基板をカバーガラスの入力操作面側に位置する第１面とは反対側の第２面側に設けた遮光性印刷層で隠した場合でも、遮光性印刷層が原因で、入力位置検出用電極を構成する透光性導電膜の透過率が低下することを防止することのできるタッチパネルおよびその製造方法を提供すること。
【解決手段】タッチパネル１において、カバーガラス９０の第２面９０ｂ側では、フレキシブル配線基板３５が、遮光性印刷層９４上に形成された実装用導電膜２４に接続され、実装用導電膜２４は周辺配線２７に電気的に接続している。周辺配線２７と実装用導電膜２４とは別体であり、周辺配線２７を形成した後、遮光性印刷層９４を形成し、その後、実装用導電膜２４を形成する。
【選択図】図３

Description

本発明は、カバーガラスに入力位置検出用電極が形成されたタッチパネル、およびその製造方法に関するものである。

各種のタッチパネルのうち、例えば、静電容量型のタッチパネルでは、ガラス基板の一方面に透光性の入力位置検出用電極が形成されている。入力位置検出用電極は、ガラス基板中央の入力領域に形成されており、ガラス基板の入力領域より外側の周辺領域には配線が形成されている。また、静電容量型のタッチパネルでは、ガラス基板に対して入力操作が行われる側には透光性のカバーガラスが配置されている（特許文献１参照）。

特開２００９−２５９２０３号公報

タッチパネルにおいて、カバーガラス自身に入力位置検出用電極や配線を透光性導電膜により形成すれば、カバーガラスとは別体のガラス基板を省略することができるので、部品点数の削減を図ることができるとともに、薄型化や軽量化を図ることができるという利点がある。

しかしながら、カバーガラスに配線を形成した場合、カバーガラスにフレキシブル配線基板を接続することになるため、入力操作面側からみると、フレキシブル配線基板の接続部分が見えてしまい、見栄えが著しく低下するという問題点がある。かかる見栄えの低下は、フレキシブル配線基板をカバーガラスにおいて入力操作面側に位置する第１面とは反対側の第２面側に接続した場合でも、入力操作面からみると、カバーガラスを通してフレキシブル配線基板の接続部分が見えてしまうので、同様に発生する。

一方、タッチパネルでは、見栄えをよくするために、カバーガラスの入力領域より外側の周辺領域に遮光性印刷層を設けることがあり、かかる遮光性印刷層は、入力操作面側からみたときの見栄えという観点からカバーガラスの第２面側に形成される。従って、カバーガラスの第２面側において、入力位置検出用電極や配線を透光性導電膜により形成する前に遮光性印刷層を形成しておき、遮光性印刷層によってフレキシブル配線基板を隠す構造が考えられる。しかしながら、カバーガラスに遮光性印刷層を形成した状態でＩＴＯ膜等といった透光性導電膜を形成すると、透光性導電膜の成膜時に遮光性印刷層から発生したアウトガスによって透光性導電膜の透明度が大幅に低下するという問題点がある。例えば、印刷層が一切存在しない状態でＩＴＯ（Indium Tin Oxide）膜（透光性導電膜）を形成すると、透過率は９２％以上であるが、周辺領域全体に遮光性印刷層が存在すると、ＩＴＯ膜の透過率は８６％〜８８％まで低下してしまう。かかる透過率の低下は、入力位置検出用電極の存在が目立ってしまうことの原因となるとともに、タッチパネルを透過させて画像を表示する際、画像の品位が低下する原因となるため、好ましくない。

以上の問題点に鑑みて、本発明の課題は、カバーガラスに接続したフレキシブル配線基板をカバーガラスの入力操作面側に位置する第１面とは反対側の第２面側に設けた遮光性印刷層で隠した場合でも、遮光性印刷層が原因で、入力位置検出用電極を構成する透光性導電膜の透過率が低下することを防止することのできるタッチパネルおよびその製造方法を提供することにある。

上記課題を解決するために、本発明に係るタッチパネルは、カバーガラスと、該カバーガラスの入力操作面側の第１面側、および該第１面とは反対側の第２面側のうちのいずれか一方において、入力領域内の透光性の入力位置検出用電極、および前記入力領域より外側の周辺領域で延在する透光性の周辺配線を構成する透光性導電膜と、前記カバーガラスの前記第２面側において前記周辺領域に形成された遮光性印刷層と、前記遮光性印刷層上に形成され、前記周辺配線に電気的に接続する実装用導電膜と、前記カバーガラスの前記第２面側で前記実装用導電膜に電気的に接続されたフレキシブル配線基板と、を有していることを特徴とする。

また、本発明に係るタッチパネルの製造方法は、カバーガラスの入力操作面側の第１面側、および該第１面とは反対側の第２面側のうちのいずれか一方に、入力領域内の透光性の入力位置検出用電極、および前記入力領域より外側の周辺領域で延在する周辺配線を構成する透光性導電膜を形成する透光性導電膜形成工程と、前記カバーガラスの前記第２面側において前記周辺領域に遮光性印刷層を形成する遮光性印刷工程と、前記遮光性印刷層上に前記周辺配線に電気的に接続する実装用導電膜を形成する実装用導電膜形成工程と、前記遮光性印刷層上で前記実装用導電膜にフレキシブル配線基板を電気的に接続するフレキシブル配線基板接続工程と、を有していることを特徴とする。

本発明おける「上層側」「下層側」とは、タッチパネルの上下方向の向きにかかわらず、カバーガラスに形成された複数の層の互いの位置関係を意味する。このため、「下層側」とは、カバーガラスに近い側（前の工程で形成される側）を意味し、「上層側」とは、カバーガラスから遠い側（後の工程で形成される側）を意味する。

本発明では、カバーガラスに入力位置検出用電極および配線が形成されており、カバーガラスと別体のガラス基板に入力位置検出用電極および配線が形成された構造になっていない。このため、カバーガラスと別体のガラス基板を必要としないので、部品点数の削減を図ることができるとともに、タッチパネルの薄型化や軽量化を図ることができる。また、遮光性印刷層は、カバーガラスの第２面側に形成されているため、入力操作面側からみたとき、遮光性印刷層は平滑面として見え、見栄えがよい。また、カバーガラスにおいて第２面側にはフレキシブル配線基板が接続されているが、フレキシブル配線基板は、遮光性印刷層上に実装されている。このため、フレキシブル配線基板に対して入力操作面側に遮光性印刷層が存在するので、カバーガラスの入力操作面側（第１面側）からはフレキシブル配線基板が見えない。さらに、遮光性印刷層上には、周辺配線に電気的に接続する実装用導電膜が形成されているため、遮光性印刷層上にフレキシブル配線基板を実装した場合でも、フレキシブル配線基板と配線とを電気的に接続することができる。さらにまた、周辺配線と実装用導電膜とは別体であり、周辺配線を形成した後、遮光性印刷層を形成し、その後、実装用導電膜を形成する構造になっている。このため、カバーガラス上に遮光性印刷層を形成する前に透光性導電膜を成膜することができるので、透光性導電膜は、遮光性印刷層から発生するアウトガスの影響を受けない。従って、透明性の高い透光性導電膜を形成することができるので、入力位置検出用電極の存在が目立たないとともに、タッチパネルを透過させて画像を表示する際、品位の高い画像を表示することができる。また、周辺配線は、遮光性印刷層より入力操作面側に位置するが、周辺配線は、入力位置検出用電極と同様、透明性の高い透光性導電膜により構成することができるので、周辺配線の存在も目立たない。

本発明において、前記入力位置検出用電極および前記周辺配線は、前記カバーガラスの前記第１面側に形成されている構成を採用でき、この場合、前記実装用導電膜と前記配線とは、前記カバーガラスの側端面を経由して電気的に接続されている構成を採用する。

この場合、前記カバーガラスは、前記第１面と前記側端面とが連接する角部分、および前記第２面と前記側端面とが連接する角部分が面取りされていることが好ましい。このように構成すると、カバーガラスの側端面での断線を防止することができるとともに、面取りにより側方に突き出た部分を実装用導電膜の形成領域として利用することができる。

本発明において、前記入力位置検出用電極および前記周辺配線は、前記カバーガラスの前記第２面側に形成されている構成を採用してもよい。

この場合、前記周辺配線は、前記遮光性印刷層の下層側を通って前記カバーガラスの側端面側まで延在し、前記実装用導電膜は、前記遮光性印刷層より前記側端面側で前記周辺配線に電気的に接続している構成を採用することができる。

この場合、前記カバーガラスは、前記第２面と前記側端面とが連接する角部分が面取りされていることが好ましい。このように構成すると、面取りにより側方に突き出た部分を実装用導電膜の形成領域として利用することができる。

本発明において、前記遮光性印刷層には、当該遮光性印刷層を貫通するコンタクトホールが形成され、前記周辺配線は、前記入力位置検出用電極から前記遮光性印刷層の下層側を通って前記コンタクトホールと重なる位置まで延在し、前記実装用導電膜は、前記遮光性印刷層の上層側から前記コンタクトホールに充填された遮光性導電材である構成を採用してもよい。

本発明において、前記カバーガラスは、強化ガラスからなることが好ましい。かかる構成によれば、カバーガラスの薄型化を図ることができるので、タッチパネルの薄型化や軽量化を図ることができる。

本発明の実施の形態１に係るタッチパネルを備えた入力機能付き電気光学装置の説明図である。 本発明の実施の形態１に係るタッチパネルの要部の平面構成を示す説明図である。 本発明の実施の形態１に係るタッチパネルの要部の断面構成等を示す説明図である。 本発明の実施の形態１に係るタッチパネルの製造方法を示す工程断面図である。 本発明の実施の形態２に係るタッチパネルを備えた入力機能付き電気光学装置の説明図である。 本発明の実施の形態２に係るタッチパネルの要部の平面構成を示す説明図である。 本発明の実施の形態２に係るタッチパネルの要部の断面構成等を示す説明図である。 本発明の実施の形態２に係るタッチパネルの製造方法を示す工程断面図である。 本発明の実施の形態３に係るタッチパネルを備えた入力機能付き電気光学装置の説明図である。 本発明の実施の形態３に係るタッチパネルの要部の平面構成を示す説明図である。 本発明の実施の形態３に係るタッチパネルの要部の断面構成等を示す説明図である。 本発明の実施の形態３に係るタッチパネルの製造方法を示す工程断面図である。 本発明を適用した入力機能付き電気光学装置を備えた電子機器の説明図である。

図面を参照して、本発明の実施の形態を説明する。なお、以下の説明で参照する図においては、各層や各部材を図面上で認識可能な程度の大きさとするため、各層や各部材毎に縮尺を異ならしめてある。また、以下の説明で参照する図面において、入力操作面側を上にして表してあるが、カバーガラスに形成された複数の層の互いの位置関係を説明する際、カバーガラスに近い側（前の工程で形成される側）を「下層側」とし、カバーガラスから遠い側（後の工程で形成される側）を「上層側」とする。

［実施の形態１］
（入力機能付き電気光学装置の全体構成）
図１は、本発明の実施の形態１に係るタッチパネルを備えた入力機能付き電気光学装置の説明図であり、図１（ａ）、（ｂ）は、入力機能付き電気光学装置の斜視図、および断面図である。

図１（ａ）、（ｂ）において、本形態の入力機能付き電気光学装置１００は、概ね、液晶装置等からなる画像生成装置５と、この画像生成装置５において表示光を出射する側の面に重ねて配置された静電容量型のタッチパネル１とを有しており、画像生成装置５とタッチパネル１とは、粘着剤層８５等によって接着されている。画像生成装置５は電気光学パネル５ａ（表示パネル）としての液晶パネルを備えている。本形態において、タッチパネル１および電気光学パネル５ａはいずれも矩形の平面形状を備えており、タッチパネル１および入力機能付き電気光学装置１００を平面視したときの中央領域が入力領域２ａである。また、画像生成装置５および入力機能付き電気光学装置１００において入力領域２ａと平面視で重なる領域が画像形成領域である。タッチパネル１において、タッチパネル１に用いたカバーガラス９０の側端面９０ｅ〜９０ｈのうち、側端面９０ｅが位置する側には実装領域２４０が設けられ、かかる実装領域２４０にはフレキシブル配線基板３５の端部が接続されている。また、電気光学パネル５ａにおいてタッチパネル１の側端面９０ｅが位置する側にはフレキシブル配線基板７３の端部が接続されている。

画像生成装置５は、透過型や半透過反射型のアクティブマトリクス型の液晶表示装置であり、電気光学パネル５ａに対してタッチパネル１が配置されている側とは反対側（表示光の出射側とは反対側）にはバックライト装置（図示せず）が配置されている。バックライト装置は、例えば、電気光学パネル５ａに対してタッチパネル１が配置されている側とは反対側に重ねて配置された透光性の導光板と、導光板の側端部に向けて白色光等を出射する発光ダイオード等の光源とを備えており、光源から出射された光は、導光板の側端部から入射した後、導光板内を伝搬しながら電気光学パネル５ａに向けて出射される。導光板と電気光学パネル５ａとの間には、光散乱シートやプリズムシート等のシート状光学部材が配置されることもある。

画像生成装置５において、電気光学パネル５ａに対して表示光の出射側には第１偏光板８１が重ねて配置され、その反対側に第２偏光板８２が重ねて配置されている。電気光学パネル５ａは、表示光の出射側とは反対側に配置された透光性の素子基板５０と、この素子基板５０に対して表示光の出射側で対向配置された透光性の対向基板６０とを備えている。対向基板６０と素子基板５０とは、矩形枠状のシール材７１により貼り合わされており、対向基板６０と素子基板５０との間においてシール材７１で囲まれた領域内に液晶層５５が保持されている。素子基板５０において、対向基板６０と対向する面には複数の画素電極５８がＩＴＯ（Indium Tin Oxide）膜やＩＺＯ（Indium Zinc Oxide）膜等の透光性導電膜により形成され、対向基板６０において、素子基板５０と対向する面には共通電極６８がＩＴＯ膜等の透光性導電膜により形成されている。また、対向基板６０にはカラーフィルターが形成されている。なお、画像生成装置５がＩＰＳ(In Plane Switching)方式や、ＦＦＳ（Fringe Field Switching）方式である場合、共通電極６８は素子基板５０の側に設けられる。また、素子基板５０が対向基板６０に対して表示光の出射側に配置されることもある。素子基板５０において、対向基板６０の縁から張り出した張出領域５９には駆動用ＩＣ７５がＣＯＧ実装されているとともに、張出領域５９にはフレキシブル配線基板７３が接続されている。なお、素子基板５０には、素子基板５０上のスイッチング素子と同時に駆動回路を形成することもある。

（タッチパネル１の概略構成）
タッチパネル１は、入力操作面側にカバーガラス９０を備えており、本形態において、カバーガラス９０は、化学強化ガラスからなる。かかる化学強化ガラスは、温度が４００℃程度のカリウム塩溶融浴に浸漬して化学強化処理を行ったガラスであり、ガラス基板のナトリウムイオンがカリウムイオンにイオン交換されている。ここで、ナトリウムのイオン半径は９５ｎｍであるのに対して、カリウムイオンのイオン半径は１３３ｎｍであり、カリウムイオンの方がナトリウムイオンよりもイオン半径が大きい。このため、ガラス基板は、表面の化学強化層に起因する圧縮応力によって強度が強化された状態にある。従って、本形態のカバーガラス９０は、厚さが０．２ｍｍ程度と極めて薄い。

図１（ｂ）に示すように、カバーガラス９０において入力操作面側の第１面９０ａの側には、詳しくは後述するが、下層側から上層側に向かって、第１透光性導電膜４ａ、層間絶縁膜２３、第２透光性導電膜４ｂおよびトップコート層９６がこの順に形成されている。また、カバーガラス９０において第１面９０ａと反対側の第２面９０ｂには、遮光性印刷層９４が形成されており、遮光性印刷層９４で囲まれた領域が入力領域２ａである。本形態において、遮光性印刷層９４は、遮光性を有していれば色に制限はないが、本形態で用いた遮光性印刷層９４は黒色の印刷層である。

このように構成したタッチパネル１において、第１透光性導電膜４ａおよび第２透光性導電膜４ｂのうち、第１透光性導電膜４ａによって、入力領域２ａの入力位置検出用電極２１、および周辺領域２ｂにおいて入力領域２ａからカバーガラス９０の側端面９０ｅに向けて延在する周辺配線２７が形成されている。また、カバーガラス９０の側端面９０ｅ、９０ｆ、９０ｇ、９０ｈのうち、側端面９０ｅでは、第２面９０ｂの側にフレキシブル配線基板３５が接続されており、フレキシブル配線基板３５は、後述するように、周辺配線２７に対して電気的に接続されている。

タッチパネル１と電気光学パネル５ａとの間には、透光性フィルム上にＩＴＯ膜等の透光性導電膜が形成されたシールド用の導電フィルムが配置される場合があり、かかる導電フィルムは、画像生成装置５側での電位変化がノイズとして入力位置検出用電極２１に影響を及ぼすことを防止する機能を担っている。なお、画像生成装置５と入力位置検出用電極２１との間に十分な距離が確保できる場合、導電フィルムは省略されることもある。

（タッチパネル１の平面構成）
図２は、本発明の実施の形態１に係るタッチパネル１の要部の平面構成を示す説明図であり、図２（ａ）、（ｂ）は、カバーガラス９０に形成した遮光性印刷層９４等の平面構成を示す説明図、およびカバーガラスに形成した位置検出用電極２１等の平面構成を示す説明図である。なお、図２（ｂ）において、入力領域２ａについては、その角部分の位置を英文字の「Ｌ」状のマークで示してある。

図２（ａ）、（ｂ）に示すように、本形態のタッチパネル１において、カバーガラス９０の第１面９０ａの側には、入力領域２ａでＸ方向（第１方向）に延在する入力位置検出用の複数の第１電極２１１と、入力領域２ａでＸ方向に交差するＹ方向（第２方向）に延在する入力位置検出用の複数の第２電極２１２とが設けられており、これらの第１電極２１１および第２電極２１２によって入力位置検出用電極２１が形成されている。また、カバーガラス９０の第１面９０ａにおいて、周辺領域２ｂには、第１電極２１１の一方側端部から延在する周辺配線２７、および第２電極２１２の一方側端部から延在する周辺配線２７が形成されており、かかる周辺配線２７はいずれも、側端面９０ｅに向けて延在している。

（タッチパネル１の断面構成）
図３は、本発明の実施の形態１に係るタッチパネル１の要部の断面構成等を示す説明図であり、図３（ａ）、（ｂ）、（ｃ）は、タッチパネル１を図２（ｂ）のＣ１−Ｃ１′線に沿って切断した断面図、タッチパネル１を図２（ｂ）のＤ１−Ｄ１′線に沿って切断した断面図、およびカバーガラス９０の側端面９０ｅの構成を示す側面図である。

図２（ａ）、（ｂ）および図３（ａ）、（ｂ）に示すように、本形態のタッチパネル１において、カバーガラス９０の第１面９０ａの側には、下層側から上層側に向かって、第１透光性導電膜４ａ、透光性の層間絶縁膜２３、第２透光性導電膜４ｂ、および透光性の感光性樹脂等からなるトップコート層９６がこの順に形成されている。

第１透光性導電膜４ａは多結晶のＩＴＯ膜からなり、第１透光性導電膜４ａの上層側には、感光性樹脂膜やシリコン酸化膜等の透光性絶縁膜からなる層間絶縁膜２３が形成されている。本形態において、第２透光性導電膜４ｂも、第１透光性導電膜４ａと同様、多結晶のＩＴＯ膜からなる。

第１透光性導電膜４ａは、まず、入力領域２ａに複数の菱形領域として形成され、かかる菱形領域は、入力位置検出用電極２１（第１電極２１１および第２電極２１２）のパッド部２１１ａ、２１２ａ（大面積部分）を構成する。これらのパッド部２１１ａ、２１２ａは、Ｘ方向およびＹ方向において交互に配列されている。複数のパッド部２１１ａにおいてＸ方向（第１方向）で隣り合うパッド部２１１ａ同士は連結部分２１１ｃを介して繋がっており、パッド部２１１ａおよび連結部分２１１ｃは、Ｘ方向で延在する第１電極２１１を構成している。これに対して、複数のパッド部２１２ａは、Ｙ方向（第２方向）で延在する第２電極２１２を構成するが、Ｙ方向で隣り合うパッド部２１２ａの間、すなわち、連結部分２１１ｃと重なる部分は途切れ部分２１８ａになっている。

層間絶縁膜２３は入力領域２ａ全体にわたって形成されている。層間絶縁膜２３には、コンタクトホール２３ａが形成されており、かかるコンタクトホール２３ａは、パッド部２１２ａにおいて途切れ部分２１８ａを介して対峙する端部と重なる位置に形成されている。層間絶縁膜２３の上層側において、第２透光性導電膜４ｂは、コンタクトホール２３ａと重なる領域に中継電極２１５として形成されている。

このように構成したタッチパネル１において、第１電極２１１および第２電極２１２は、同一の導電膜（第１透光性導電膜４ａ）によって形成され、かつ、互いに交差する方向に延在しているため、カバーガラス９０上には、第１電極２１１と第２電極２１２とが交差する交差部２１８が存在する。ここで、第１電極２１１および第２電極２１２のうち、第１電極２１１は、交差部２１８でも第２透光性導電膜４ｂからなる連結部分２１１ｃによってＸ方向で繋がって延在している。これに対して、第２電極２１２には交差部２１８に途切れ部分２１８ａが構成されている。但し、交差部２１８では、層間絶縁膜２３の上層に中継電極２１５が形成されており、かかる中継電極２１５は、層間絶縁膜２３のコンタクトホール２３ａを介して、途切れ部分２１８ａを介して隣り合うパッド２１２ａ同士を電気的に接続している。このため、第２電極２１２はＹ方向で電気的に接続した状態でＹ方向に延在している。なお、中継電極２１５は、層間絶縁膜２３を介して連結部分２１１ｃに重なっているため、短絡するおそれはない。

本形態において、カバーガラス９０の第１面９０ｂの側には、第１透光性導電膜４ａによって周辺配線２７が形成されており、入力位置検出用電極２１（第１電極２１１および第２電極２１２）と周辺配線２７とは１対１の関係をもって電気的に接続している。ここで、周辺配線２７は、入力位置検出用電極２１と同様、第１透光性導電膜４ａからなる。このため、入力操作面側（第１面９０ａ側）からは周辺配線２７が見えないようになっている。

本形態において、カバーガラス９０の第１面９０ａの側には、第２透光性導電膜４ｂの上層側に感光性樹脂等からなるトップコート層９６が形成されており、かかるトップコート層９６は、入力領域２ａの全体に形成されている。

（遮光性印刷層９４およびフレキシブル配線基板３５の実装構造）
本形態において、カバーガラス９０の第２面９０ｂの側には、周辺領域２ｂに遮光性印刷層９４が形成されており、かかる遮光性印刷層９４の厚さは、例えば、３０μｍ〜５０μｍである。本形態において、遮光性印刷層９４の上には、フレキシブル配線基板３５の実装領域２４０が設けられている。このため、フレキシブル配線基板３５は、カバーガラス９０の第２面９０ｂに接続されている。但し、本形態では、以下の構成が採用されているため、カバーガラス９０の第１面９０ａに形成されている周辺配線２７とフレキシブル配線基板３５とは電気的に接続されている。

まず、図３（ｂ）、（ｃ）に示すように、本形態のタッチパネル１において、カバーガラス９０の側端面９０ｅには、多結晶のＩＴＯ膜等からなる複数本の側端面配線２８が形成されており、かかる側端面配線２８は、周辺配線２７と１対１で電気的に接続されている。

また、カバーガラス９０の第２面９０ｂの側には、遮光性印刷層９４上に複数の実装用導電膜２４が形成されている。実装用導電膜２４は、遮光性印刷層９４上から側端面９０ｅにかけて延在しており、側端面配線２８の端部の上に重なっている。このため、実装用導電膜２４は、側端面配線２８と１対１で電気的に接続され、その結果、周辺配線２７と１対１で電気的に接続されている。このようにして、本形態では、第２面９０ｂ側において、実装用導電膜２４によって遮光性印刷層９４上に実装領域２４０が形成され、かかる実装領域２４０にフキレシブル配線基板３５が接続されている。ここで、フレキシブル配線基板３５は、絶縁性の基材フィルム３５０に導電層３５１が形成された構造を有しており、導電層３５１と実装用導電膜２４とが電気的に接続されている。このため、フレキシブル配線基板３５は、実装用導電膜２４および側端面配線２８を介してカバーガラス９０の第１面９０ａに形成されている周辺配線２７に電気的に接続されている。本形態において、実装用導電膜２４は、多結晶あるいはアモルファスのＩＴＯ膜２４ａからなる。

ここで、カバーガラス９０は、側端面９０ｅと第１面９０ａとが連接する角部分、および側端面９０ｅと第２面９０ｂとが連接する角部分がＣ面取りされており、側端面９０ｅは、第１面９０ａ側の斜面９０ｓ、第１面９０ａに直交する直交面９０ｕ、および第２面９０ｂ側の斜面９０ｔからなる。本形態において、周辺配線２７は、第１面９０ａおよび斜面９０ｓに形成され、側端面配線２８は、側端面９０ｅ全体（斜面９０ｓ、直交面９０ｕおよび斜面９０ｔ）に形成されている。また、実装用導電膜２４は、遮光性印刷層９４上および斜面９０ｔに形成されている。

（入力位置検出方法）
このように構成したタッチパネル１において、入力位置検出用電極２１に矩形パルス状の位置検出信号を出力すると、入力位置検出用電極２１に容量が寄生していない場合、入力位置検出用電極２１に印加した位置検出信号と同一波形の信号が検出される。これに対して、入力位置検出用電極２１に容量が寄生していると、容量に起因する波形の歪みが発生するので、入力位置検出用電極２１に容量が寄生しているか否かを検出することができる。従って、カバーガラス９０の第１面９０ａの側（入力操作面の側）において、複数の入力位置検出用電極２１のうちのいずれかに指が接近すると、指が接近した入力位置検出用電極２１では、指との間に生じた静電容量分だけ、静電容量が増大するので、指が近接した電極を特定することができる。

（タッチパネル１の製造方法）
図４は、本発明の実施の形態１に係るタッチパネル１の製造方法を示す工程断面図である。なお、図４は、図３（ｂ）に断面で表した位置の断面に対応する。

本形態のタッチパネル１を製造するにあたっては、図４（ａ）に示すように、化学強化ガラスからなるカバーガラス９０を準備する。本形態において、カバーガラス９０は、大型ガラス基板をカバーガラス９０のサイズに切断した後、側端面９０ｅに面取り加工を行ない、その後、化学強化処理を行なった化学強化ガラスである。

次に、カバーガラス９０の第１面９０側に対して成膜工程およびパターニング工程等を繰り返し行なって、第１透光性導電膜４ａ、層間絶縁膜２３および第２透光性導電膜４ｂを形成する。

より具体的には、第１透光性導電膜形成工程において、カバーガラス９０の第１面９０ａ側に対して、ＩＴＯ膜の成膜工程およびパターニング工程を行い、入力位置検出用電極２１および周辺配線２７を構成する第１透光性導電膜４ａを形成する。次に、図４（ｂ）に示すように、カバーガラス９０の姿勢を変えて、側端面９０ｅに対して、ＩＴＯ膜の成膜工程およびパターニング工程を行い、側端面配線２８を形成する。かかる側端面配線２８の形成にはリフトオフ法を用いてもよい。また、カバーガラス９０の第１面９０ａおよび側端面９０ｅに連続してＩＴＯ膜の成膜工程を行なった後、第１面９０ａおよび側端面９０ｅに形成したＩＴＯ膜に対して同時にパターニング工程を行なってもよい。

次に、図４（ｃ）に示すように、図３を参照して説明したコンタクトホール２３ａを備えた層間絶縁膜２３を形成する。ここで、層間絶縁膜２３をシリコン酸化膜により形成する場合には、シリコン酸化膜の成膜工程およびパターニング工程を行い、層間絶縁膜２３を感光性樹脂により形成する場合には、感光性樹脂の塗布工程、露光・現像工程を行う。なお、層間絶縁膜２３は、入力領域２ａの略全体に形成し、周辺領域２ｂには形成しない。次に、第２透光性導電膜形成工程において、ＩＴＯ膜の成膜工程およびパターニング工程を行い、図３を参照して説明した中継電極２１５を構成する第２透光性導電膜４ｂを形成する。次に、トップコート層形成工程において、カバーガラス９０の第２面９０ｂ側に対して樹脂塗布工程および固化工程を行い、トップコート層９６を形成する。

次に、図４（ｄ）に示す遮光性印刷工程において、カバーガラス９０の第２面９０ｂ側の周辺領域２ｂに対して遮光性印刷層９４を形成する。

次に、図４（ｅ）に示す実装用導電膜形成工程において、カバーガラス９０の第２面９０ｂ側において、遮光性印刷層９４上にＩＴＯ膜２４ａ等の導電膜からなる複数の実装用導電膜２４を形成する。その際、実装用導電膜２４は、遮光性印刷層９４上から側端面９０ｅにかけて延在させ、側端面配線２８の端部の上に重ねる。このようにして、遮光性印刷層９４上に実装領域２４０を形成する。

しかる後には、図３（ｂ）に示すように、遮光性印刷層９４上の実装領域２４０に対してフレキシブル配線基板３５をハンダ、異方性導電膜、導電ペースト等を介して電気的に接続する（フレキシブル配線基板接続工程）。

（本形態の主な効果）
以上説明したように、本形態のタッチパネル１およびその製造方法では、カバーガラス９０自身に入力位置検出用電極２１および周辺配線２７が形成されており、カバーガラス９０と別体のガラス基板に入力位置検出用電極２１および周辺配線２７が形成された構造になっていない。このため、ガラス基板を省略した分、部品点数の削減を図ることができるとともに、タッチパネル１の薄型化や軽量化を図ることができる。

また、遮光性印刷層９４は、カバーガラス９０の第２面９０ｂ側に形成されているため、入力操作面側からみたとき、遮光性印刷層９４は平滑面として見え、見栄えがよい。

また、カバーガラス９０において第２面９０ｂ側にはフレキシブル配線基板３５が接続されているが、フレキシブル配線基板３５は、遮光性印刷層９４上に実装されている。このため、フレキシブル配線基板３５に対して入力操作面側に遮光性印刷層９４が存在するので、カバーガラス９０の入力操作面側（第１面側）からはフレキシブル配線基板３５が見えない。さらに、遮光性印刷層９４上には、カバーガラス９０の第１面９０ａ側に形成された周辺配線２７に電気的に接続する実装用導電膜２４が形成されているため、遮光性印刷層９４上にフレキシブル配線基板３５を実装した場合でも、フレキシブル配線基板３５と周辺配線２７とを電気的に接続することができる。

さらにまた、周辺配線２７と実装用導電膜２４とは別体であり、周辺配線２７を形成した後、遮光性印刷層９４を形成し、その後、実装用導電膜２４を形成する構造になっている。このため、カバーガラス９０上に遮光性印刷層９４を形成する前に第１透光性導電膜４ａを成膜することができるので、第１透光性導電膜４ａは、遮光性印刷層９４から発生するアウトガスの影響を受けない。従って、透過率が９２％以上の透明性の高い第１透光性導電膜４ａを形成することができるので、入力位置検出用電極２１の存在が目立たないとともに、タッチパネル１を透過させて画像を表示する際、品位の高い画像を表示することができる。また、周辺配線２７は、遮光性印刷層９４より入力操作面側に位置するが、周辺配線２７は、入力位置検出用電極２１と同様、透明性の高い第１透光性導電膜４ａにより構成することができるので、周辺配線２７の存在も目立たない。

また、カバーガラス９０は、第１面９０ａと側端面９０ｅとが連接する角部分、および第２面９０ｂと側端面９０ｅとが連接する角部分が面取りされている。このため、カバーガラス９０の側端面９０ｅでの周辺配線２７、側端面配線２８および実装用導電膜２４の断線を防止することができる。また、側端面９０ｅにおいて面取りにより側方に突き出た部分を実装用導電膜２４の形成領域として利用することができ、側端面配線２８と実装用導電膜２４との接続面積を広くすることができる。なお、本形態では、カバーガラス９０は、第１面９０ａと側端面９０ｅとが連接する角部分、および第２面９０ｂと側端面９０ｅとが連接する角部分をＣ面取りしたが、Ｒ面取りしてもよい。

また、本形態において、カバーガラス９０は、強化ガラスであるため、カバーガラス９０を０．２ｍ程度まで薄型化することができる。それ故、タッチパネル１の薄型化や軽量化を図ることができる。

［実施の形態２］
（タッチパネル１の全体構成）
図５は、本発明の実施の形態２に係るタッチパネルを備えた入力機能付き電気光学装置の説明図であり、図５（ａ）、（ｂ）は、入力機能付き電気光学装置の斜視図、および断面図である。図６は、本発明の実施の形態２に係るタッチパネル１の要部の平面構成を示す説明図であり、図６（ａ）、（ｂ）は、カバーガラス９０に形成した遮光性印刷層９４等の平面構成を示す説明図、およびカバーガラスに形成した位置検出用電極２１等の平面構成を示す説明図である。なお、図６（ｂ）において、入力領域２ａについては、その角部分の位置を英文字の「Ｌ」状のマークで示してある。図７は、本発明の実施の形態２に係るタッチパネル１の要部の断面構成等を示す説明図であり、図７（ａ）、（ｂ）、（ｃ）は、タッチパネル１を図６（ｂ）のＣ２−Ｃ２′線に沿って切断した断面図、タッチパネル１を図６（ｂ）のＤ２−Ｄ２′線に沿って切断した断面図、およびカバーガラス９０の側端面９０ｅの構成を示す側面図である。なお、本形態の基本的な構成は、実施の形態１と同様であるため、共通する部分には同一の符号を付してそれらの説明を省略する。

図５（ａ）、（ｂ）に示すように、本形態の入力機能付き電気光学装置１００も、実施の形態１と同様、概ね、液晶装置等からなる画像生成装置５と、この画像生成装置５において表示光を出射する側の面に重ねて配置された静電容量型のタッチパネル１とを有している。タッチパネル１において、タッチパネル１に用いたカバーガラス９０の側端面９０ｅが位置する側には実装領域２４０が設けられ、かかる実装領域２４０にはフレキシブル配線基板３５の端部が接続されている。タッチパネル１において、カバーガラス９０は、厚さが０．２ｍｍ程度の化学強化ガラスからなる。

図５（ｂ）に示すように、本形態では、実施の形態１とは違って、入力操作面側の第１面９０ａとは反対側の第２面９０ｂの側に、下層側から上層側に向かって、第１透光性導電膜４ａ、層間絶縁膜２３、第２透光性導電膜４ｂおよびトップコート層９６がこの順に形成されている。また、カバーガラス９０において第２面９０ｂには、遮光性印刷層９４が形成されており、遮光性印刷層９４で囲まれた領域が入力領域２ａである。本形態において、遮光性印刷層９４は、遮光性を有していれば色に制限はないが、本形態で用いた遮光性印刷層９４は黒色の印刷層である。

図６（ａ）、（ｂ）および図７（ａ）に示すように、本形態のタッチパネル１においては、カバーガラス９０の第２面９０ｂの側に、第１透光性導電膜４ａによって入力位置検出用電極２１が形成されている。また、カバーガラス９０の第２面９０ｂにおいて、周辺領域２ｂには、第１電極２１１の一方側端部から延在する周辺配線２７、および第２電極２１２の一方側端部から延在する周辺配線２７が形成されており、かかる周辺配線２７はいずれも、側端面９０ｅに向けて延在している。ここで、周辺配線２７は、入力位置検出用電極２１と同様、第１透光性導電膜４ａからなる。このため、入力操作面側（第１面９０ａ側）からは周辺配線２７が見えないようになっている。

（遮光性印刷層９４およびフレキシブル配線基板３５の実装構造）
本形態においては、実施の形態１と同様、カバーガラス９０の第２面９０ｂの側には、周辺領域２ｂに遮光性印刷層９４が形成されており、かかる遮光性印刷層９４の厚さは、例えば、３０μｍ〜５０μｍである。ここで、遮光性印刷層９４は、周辺配線２７の上層側に形成され、遮光性印刷層９４の上には、フレキシブル配線基板３５の実装領域２４０が設けられている。このため、フレキシブル配線基板３５は、カバーガラス９０の第２面９０ｂに接続されている。但し、本形態では、以下の構成が採用されているため、カバーガラス９０の第２面９０ｂにおいて、遮光性印刷層９４の下層側に形成されている周辺配線２７と、遮光性印刷層９４の上層側に形成されているフレキシブル配線基板３５とは電気的に接続されている。

まず、図７（ｂ）に示すように、本形態のタッチパネル１において、遮光性印刷層９４は、カバーガラス９０の側端面９０ｅよりやや内側に形成されているのに対して、周辺配線２７は、遮光性印刷層９４の下層側を通ってカバーガラス９０の側端面９０ｅまで届いている。このため、周辺配線２７の端部は、遮光性印刷層９４よりもカバーガラス９０の側端面９０ｅの側に突出している。

また、図７（ｂ）、（ｃ）に示すように、カバーガラス９０の第２面９０ｂの側には、遮光性印刷層９４上に複数の実装用導電膜２４が形成されている。実装用導電膜２４は、遮光性印刷層９４上から側端面９０ｅにかけて延在しており、周辺配線２７の端部の上に重なっている。このため、実装用導電膜２４は、周辺配線２７と１対１で電気的に接続されている。このようにして、本形態では、第２面９０ｂ側において、実装用導電膜２４によって遮光性印刷層９４上に実装領域２４０が形成され、かかる実装領域２４０にフキレシブル配線基板３５が接続されている。このため、フレキシブル配線基板３５は、実装用導電膜２４を介して遮光性印刷層９４の下層側に形成された周辺配線２７に電気的に接続されている。本形態において、実装用導電膜２４は、多結晶あるいはアモルファスのＩＴＯ膜２４ａからなる。

ここで、カバーガラス９０は、側端面９０ｅと第１面９０ａとが連接する角部分、および側端面９０ｅと第２面９０ｂとが連接する角部分がＣ面取りされており、側端面９０ｅは、第１面９０ａ側の斜面９０ｓ、第１面９０ａに直交する直交面９０ｕ、および第２面９０ｂ側の斜面９０ｔからなる。本形態において、周辺配線２７は、第２面９０ｂから斜面９０ｔまで形成され、実装用導電膜２４は、遮光性印刷層９４上および斜面９０ｔに形成されている。

（タッチパネル１の製造方法）
図８は、本発明の実施の形態２に係るタッチパネル１の製造方法を示す工程断面図である。なお、図８は、図７（ｂ）に断面で表した位置の断面に対応する。

本形態のタッチパネル１を製造するにあたっては、図８（ａ）に示すように、化学強化ガラスからなるカバーガラス９０を準備する。本形態において、カバーガラス９０は、大型ガラス基板をカバーガラス９０のサイズに切断した後、側端面９０ｅに面取り加工を行ない、その後、化学強化処理を行なった化学強化ガラスである。

次に、カバーガラス９０の第２面９０ｂ側に対して成膜工程およびパターニング工程等を繰り返し行なって、第１透光性導電膜４ａ、層間絶縁膜２３および第２透光性導電膜４ｂを形成する。

より具体的には、第１透光性導電膜形成工程において、カバーガラス９０の第２面９０ｂ側に対して、ＩＴＯ膜の成膜工程およびパターニング工程を行い、入力位置検出用電極２１および周辺配線２７を構成する第１透光性導電膜４ａを形成する。

次に、図８（ｂ）に示すように、図７（ａ）に示すコンタクトホール２３ａを備えた層間絶縁膜２３を形成する。ここで、層間絶縁膜２３をシリコン酸化膜により形成する場合には、シリコン酸化膜の成膜工程およびパターニング工程を行い、層間絶縁膜２３を感光性樹脂により形成する場合には、感光性樹脂の塗布工程、露光・現像工程を行う。なお、層間絶縁膜２３は、入力領域２ａの略全体に形成し、周辺領域２ｂには形成しない。次に、第２透光性導電膜形成工程において、ＩＴＯ膜の成膜工程およびパターニング工程を行い、図７（ａ）に示す中継電極２１５を構成する第２透光性導電膜４ｂを形成する。次に、トップコート層形成工程において、カバーガラス９０の第２面９０ｂ側に対して樹脂塗布工程および固化工程を行い、トップコート層９６を形成する。

次に、図８（ｃ）に示す遮光性印刷工程において、カバーガラス９０の第２面９０ｂ側の周辺領域２ｂに対して遮光性印刷層９４を形成する。

次に、図８（ｄ）に示す実装用導電膜形成工程において、カバーガラス９０の第２面９０ｂ側において、遮光性印刷層９４上にＩＴＯ膜２４ａ等の導電膜からなる複数の実装用導電膜２４を形成する。その際、実装用導電膜２４は、遮光性印刷層９４上から側端面９０ｅにかけて延在させ、周辺配線２７の端部の上に重ねる。このようにして、遮光性印刷層９４上に実装領域２４０を形成する。

しかる後には、図７（ｂ）に示すように、遮光性印刷層９４上の実装領域２４０に対してフレキシブル配線基板３５をハンダ、異方性導電膜、導電ペースト等を介して電気的に接続する（フレキシブル配線基板接続工程）。

（本形態の主な効果）
以上説明したように、本形態のタッチパネル１およびその製造方法でも、実施の形態１と同様、カバーガラス９０自身に入力位置検出用電極２１および周辺配線２７が形成されており、カバーガラス９０と別体のガラス基板に入力位置検出用電極２１および周辺配線２７が形成された構造になっていない。このため、ガラス基板を省略した分、部品点数の削減を図ることができるとともに、タッチパネル１の薄型化や軽量化を図ることができる。また、遮光性印刷層９４は、カバーガラス９０の第２面９０ｂ側に形成されているため、入力操作面側からみたとき、遮光性印刷層９４は平滑面として見え、見栄えがよい。

また、カバーガラス９０において第２面９０ｂ側にはフレキシブル配線基板３５が接続されているが、フレキシブル配線基板３５は、遮光性印刷層９４上に実装されている。このため、フレキシブル配線基板３５に対して入力操作面側に遮光性印刷層９４が存在するので、カバーガラス９０の入力操作面側（第１面側）からはフレキシブル配線基板３５が見えない。さらに、遮光性印刷層９４上には、遮光性印刷層９４の下層側に形成された周辺配線２７に電気的に接続する実装用導電膜２４が形成されているため、遮光性印刷層９４上にフレキシブル配線基板３５を実装した場合でも、フレキシブル配線基板３５と周辺配線２７とを電気的に接続することができる。

さらにまた、周辺配線２７と実装用導電膜２４とは別体であり、周辺配線２７を形成した後、遮光性印刷層９４を形成し、その後、実装用導電膜２４を形成する構造になっている。このため、カバーガラス９０上に遮光性印刷層９４を形成する前に第１透光性導電膜４ａを成膜することができるので、第１透光性導電膜４ａは、遮光性印刷層９４から発生するアウトガスの影響を受けない。従って、透明性の高い第１透光性導電膜４ａを形成することができるので、入力位置検出用電極２１の存在が目立たないとともに、タッチパネル１を透過させて画像を表示する際、品位の高い画像を表示することができる。また、周辺配線２７は、遮光性印刷層９４より入力操作面側に位置するが、周辺配線２７は、入力位置検出用電極２１と同様、透明性の高い第１透光性導電膜４ａにより構成することができるので、周辺配線２７の存在も目立たない。

また、カバーガラス９０は、第１面９０ａと側端面９０ｅとが連接する角部分、および第２面９０ｂと側端面９０ｅとが連接する角部分が面取りされているため、側端面９０ｅにおいて面取りにより側方に突き出た部分を実装用導電膜２４の形成領域として利用することができ、周辺配線２７と実装用導電膜２４との接続面積を広くすることができる。なお、本形態では、カバーガラス９０は、第１面９０ａと側端面９０ｅとが連接する角部分、および第２面９０ｂと側端面９０ｅとが連接する角部分をＣ面取りしたが、Ｒ面取りしてもよい。

また、本形態において、カバーガラス９０は、強化ガラスであるため、カバーガラス９０を０．２ｍ程度まで薄型化することができる。それ故、タッチパネル１の薄型化や軽量化を図ることができる。

［実施の形態３］
（タッチパネル１の全体構成）
図９は、本発明の実施の形態３に係るタッチパネルを備えた入力機能付き電気光学装置の説明図であり、図９（ａ）、（ｂ）は、入力機能付き電気光学装置の斜視図、および断面図である。図１０は、本発明の実施の形態３に係るタッチパネル１の要部の平面構成を示す説明図であり、図１０（ａ）、（ｂ）は、カバーガラス９０に形成した遮光性印刷層９４等の平面構成を示す説明図、およびカバーガラスに形成した位置検出用電極２１等の平面構成を示す説明図である。なお、図１０（ｂ）において、入力領域２ａについては、その角部分の位置を英文字の「Ｌ」状のマークで示してある。図１１は、本発明の実施の形態３に係るタッチパネル１の要部の断面構成等を示す説明図であり、図１１（ａ）、（ｂ）、（ｃ）は、タッチパネル１を図１０（ｂ）のＣ３−Ｃ３′線に沿って切断した断面図、タッチパネル１を図１０（ｂ）のＤ３−Ｄ３′線に沿って切断した断面図、およびカバーガラス９０を実装用導電膜を通る位置で切断した様子を示す説明図である。なお、本形態の基本的な構成は、実施の形態１、２と同様であるため、共通する部分には同一の符号を付してそれらの説明を省略する。

図９（ａ）、（ｂ）に示すように、本形態の入力機能付き電気光学装置１００も、実施の形態１、２と同様、概ね、液晶装置等からなる画像生成装置５と、この画像生成装置５において表示光を出射する側の面に重ねて配置された静電容量型のタッチパネル１とを有している。タッチパネル１において、タッチパネル１に用いたカバーガラス９０の側端面９０ｅが位置する側には実装領域２４０が設けられ、かかる実装領域２４０にはフレキシブル配線基板３５の端部が接続されている。タッチパネル１において、カバーガラス９０は、厚さが０．２ｍｍ程度の化学強化ガラスからなる。

図９（ｂ）に示すように、本形態では、実施の形態１、２と同様、入力操作面側の第１面９０ａとは反対側の第２面９０ｂの側に、下層側から上層側に向かって、第１透光性導電膜４ａ、層間絶縁膜２３、第２透光性導電膜４ｂおよびトップコート層９６がこの順に形成されている。また、カバーガラス９０において第２面９０ｂには、遮光性印刷層９４が形成されており、遮光性印刷層９４で囲まれた領域が入力領域２ａである。本形態において、遮光性印刷層９４は、遮光性を有していれば色に制限はないが、本形態で用いた遮光性印刷層９４は黒色の印刷層である。

図１０（ａ）、（ｂ）および図１１（ａ）に示すように、本形態のタッチパネル１においては、カバーガラス９０の第２面９０ｂの側に、第１透光性導電膜４ａによって入力位置検出用電極２１が形成されている。また、カバーガラス９０の第２面９０ｂにおいて、周辺領域２ｂには、第１電極２１１の一方側端部から延在する周辺配線２７、および第２電極２１２の一方側端部から延在する周辺配線２７が形成されており、かかる周辺配線２７はいずれも、側端面９０ｅに向けて延在している。ここで、周辺配線２７は、入力位置検出用電極２１と同様、第１透光性導電膜４ａからなる。このため、入力操作面側（第１面９０ａ側）からは周辺配線２７が見えないようになっている。

（遮光性印刷層９４およびフレキシブル配線基板３５の実装構造）
本形態においては、実施の形態２と同様、カバーガラス９０の第２面９０ｂの側には、周辺領域２ｂに遮光性印刷層９４が形成されており、かかる遮光性印刷層９４の厚さは、例えば、３０μｍ〜５０μｍである。ここで、遮光性印刷層９４は、周辺配線２７の上層側に形成され、遮光性印刷層９４の上には、フレキシブル配線基板３５の実装領域２４０が設けられている。このため、フレキシブル配線基板３５は、カバーガラス９０の第２面９０ｂに接続されている。但し、本形態では、以下の構成が採用されているため、カバーガラス９０の第２面９０ｂにおいて、遮光性印刷層９４の下層側に形成されている周辺配線２７と、遮光性印刷層９４の上層側に形成されているフレキシブル配線基板３５とは電気的に接続されている。

まず、図１１（ｂ）、（ｃ）に示すように、遮光性印刷層９４において、カバーガラス９０の側端面９０ｅの近傍には、遮光性印刷層９４を貫通して周辺配線２７の上面まで到るコンタクトホール９４ａが形成されている。また、カバーガラス９０の第２面９０ｂの側には、遮光性印刷層９４上に複数の実装用導電膜２４が形成されており、かかる実装用導電膜２４は、一部がコンタクトホール９４ａに充填されている。このため、実装用導電膜２４は、周辺配線２７と１対１で電気的に接続されている。このようにして、本形態では、第２面９０ｂ側において、実装用導電膜２４によって遮光性印刷層９４上に実装領域２４０が形成され、かかる実装領域２４０にフキレシブル配線基板３５が接続されている。このため、フレキシブル配線基板３５は、実装用導電膜２４を介して遮光性印刷層９４の下層側に形成された周辺配線２７に電気的に接続されている。本形態において、実装用導電膜２４は、黒色の異方性導電膜や黒色のカーボンペースト等の遮光性導電材２４ｂからなる。

（タッチパネル１の製造方法）
図１２は、本発明の実施の形態３に係るタッチパネル１の製造方法を示す工程断面図である。なお、図１２には、図１１（ｂ）に断面で表した位置の断面に対応する。

本形態のタッチパネル１を製造するにあたっては、図１２（ａ）に示すように、化学強化ガラスからなるカバーガラス９０を準備する。本形態において、カバーガラス９０は、大型ガラス基板をカバーガラス９０のサイズに切断した後、化学強化処理を行なった化学強化ガラスである。

次に、カバーガラス９０の第２面９０ｂ側に対して成膜工程およびパターニング工程等を繰り返し行なって、第１透光性導電膜４ａ、層間絶縁膜２３および第２透光性導電膜４ｂを形成する。

より具体的には、第１透光性導電膜形成工程において、カバーガラス９０の第２面９０ｂ側に対して、ＩＴＯ膜の成膜工程およびパターニング工程を行い、入力位置検出用電極２１および周辺配線２７を構成する第１透光性導電膜４ａを形成する。

次に、図１２（ｂ）に示すように、図１１（ａ）に示すコンタクトホール２３ａを備えた層間絶縁膜２３を形成する。ここで、層間絶縁膜２３をシリコン酸化膜により形成する場合には、シリコン酸化膜の成膜工程およびパターニング工程を行い、層間絶縁膜２３を感光性樹脂により形成する場合には、感光性樹脂の塗布工程、露光・現像工程を行う。なお、層間絶縁膜２３は、入力領域２ａの略全体に形成し、周辺領域２ｂには形成しない。次に、第２透光性導電膜形成工程において、ＩＴＯ膜の成膜工程およびパターニング工程を行い、図１１（ａ）に示す中継電極２１５を構成する第２透光性導電膜４ｂを形成する。次に、トップコート層形成工程において、カバーガラス９０の第２面９０ｂ側に対して樹脂塗布工程および固化工程を行い、トップコート層９６を形成する。

次に、図１２（ｃ）に示す遮光性印刷工程において、カバーガラス９０の第２面９０ｂ側の周辺領域２ｂに対して遮光性印刷層９４を形成する。その際、遮光性印刷層９４には、遮光性印刷層９４を貫通して周辺配線２７の上面まで到るコンタクトホール９４ａを形成する。

次に、図１２（ｄ）に示す実装用導電膜形成工程において、カバーガラス９０の第２面９０ｂ側において、遮光性印刷層９４上に黒色の異方性導電膜や黒色のカーボンペースト等の遮光性導電材２４ｂからなる複数の実装用導電膜２４を印刷等により形成し、遮光性印刷層９４上に実装領域２４０を形成する。

しかる後には、図１１（ｂ）に示すように、遮光性印刷層９４上の実装領域２４０に対してフレキシブル配線基板３５を重ね、実装用導電膜２４を介してフレキシブル配線基板３５と周辺配線とを電気的に接続する（フレキシブル配線基板接続工程）。

（本形態の主な効果）
以上説明したように、本形態のタッチパネル１およびその製造方法でも、実施の形態１、２と同様、カバーガラス９０自身に入力位置検出用電極２１および周辺配線２７が形成されており、カバーガラス９０と別体のガラス基板に入力位置検出用電極２１および周辺配線２７が形成された構造になっていない。このため、ガラス基板を省略した分、部品点数の削減を図ることができるとともに、タッチパネル１の薄型化や軽量化を図ることができる。また、遮光性印刷層９４は、カバーガラス９０の第２面９０ｂ側に形成されているため、入力操作面側からみたとき、遮光性印刷層９４は平滑面として見え、見栄えがよい。

また、カバーガラス９０において第２面９０ｂ側にはフレキシブル配線基板３５が接続されているが、フレキシブル配線基板３５は、遮光性印刷層９４上に実装されている。このため、フレキシブル配線基板３５に対して入力操作面側に遮光性印刷層９４が存在するので、カバーガラス９０の入力操作面側（第１面側）からはフレキシブル配線基板３５が見えない。さらに、遮光性印刷層９４上には、遮光性印刷層９４の下層側に形成された周辺配線２７に電気的に接続する実装用導電膜２４が形成されているため、遮光性印刷層９４上にフレキシブル配線基板３５を実装した場合でも、フレキシブル配線基板３５と周辺配線２７とを電気的に接続することができる。

さらにまた、周辺配線２７と実装用導電膜２４とは別体であり、周辺配線２７を形成した後、遮光性印刷層９４を形成し、その後、実装用導電膜２４を形成する構造になっている。このため、カバーガラス９０上に遮光性印刷層９４を形成する前に第１透光性導電膜４ａを成膜することができるので、第１透光性導電膜４ａは、遮光性印刷層９４から発生するアウトガスの影響を受けない。従って、透明性の高い第１透光性導電膜４ａを形成することができるので、入力位置検出用電極２１の存在が目立たないとともに、タッチパネル１を透過させて画像を表示する際、品位の高い画像を表示することができる。また、周辺配線２７は、遮光性印刷層９４より入力操作面側に位置するが、周辺配線２７は、入力位置検出用電極２１と同様、透明性の高い第１透光性導電膜４ａにより構成することができるので、周辺配線２７の存在も目立たない。

また、本形態において、カバーガラス９０は、強化ガラスであるため、カバーガラス９０を０．２ｍ程度まで薄型化することができる。それ故、タッチパネル１の薄型化や軽量化を図ることができる。

［他の実施の形態］
上記実施の形態では、入力位置検出用電極２１および周辺配線２７を共通の透光性導電膜（第１透光性導電膜４ａ／ＩＴＯ）で構成したが、入力位置検出用電極２１については、第１透光性導電膜４ａ（ＩＴＯ）で構成し、周辺配線２７については別の透光性導電膜、例えば、ＩＺＯを用いてもよい。また、入力位置検出用電極２１については、第１透光性導電膜４ａ（ＩＴＯ）で構成し、周辺配線２７については、ＩＺＯ／Ａｕ（金）／ＩＺＯの多層膜からなる透光性導電膜や、ＩＴＯ／Ａｕ（金）／ＩＴＯの多層膜からなる透光性導電膜を用いてもよい。かかる多層膜によれば、周辺配線２７の配線抵抗を低減することができる。

上記実施の形態では、第１透光性導電膜４ａによって入力位置検出用電極２１が形成され、第２透光性導電膜４ｂによって中継電極２１５が形成されている構成であったが、第１透光性導電膜４ａによって中継電極２１５が形成され、第２透光性導電膜４ｂによって入力位置検出用電極２１形成されているタッチパネルに本発明を適用してもよい。

上記実施の形態では、画像生成装置５として液晶装置を用いたが、画像生成装置５としては有機エレクトロルミネッセンス装置を用いてもよい。

［電子機器への搭載例］
上述した実施形態に係る入力機能付き電気光学装置１００を適用した電子機器について説明する。図１３は、本発明を適用した入力機能付き電気光学装置１００を備えた電子機器の説明図である。図１３（ａ）に、入力機能付き電気光学装置１００を備えたモバイル型のパーソナルコンピューターの構成を示す。パーソナルコンピューター２０００は、表示ユニットとしての入力機能付き電気光学装置１００と本体部２０１０を備える。本体部２０１０には、電源スイッチ２００１およびキーボード２００２が設けられている。図１３（ｂ）に、入力機能付き電気光学装置１００を備えた携帯電話機の構成を示す。携帯電話機３０００は、複数の操作ボタン３００１、スクロールボタン３００２、および表示ユニットとしての入力機能付き電気光学装置１００を備える。スクロールボタン３００２を操作することによって、入力機能付き電気光学装置１００に表示される画面がスクロールされる。図１３（ｃ）に、入力機能付き電気光学装置１００を適用した情報携帯端末（ＰＤＡ：Personal Digital Assistants）の構成を示す。情報携帯端末４０００は、複数の操作ボタン４００１、電源スイッチ４００２、および表示ユニットとしての入力機能付き電気光学装置１００を備える。電源スイッチ４００２を操作すると、住所録やスケジュール帳といった各種の情報が入力機能付き電気光学装置１００に表示される。

なお、入力機能付き電気光学装置１００が適用される電子機器としては、図１３に示すものの他、デジタルスチールカメラ、液晶テレビ、ビューファインダー型、モニター直視型のビデオテープレコーダー、カーナビゲーション装置、ページャー、電子手帳、電卓、ワードプロセッサー、ワークステーション、テレビ電話、ＰＯＳ端末、銀行端末等の電子機器等が挙げられる。そして、これらの各種電子機器の表示部として、前述した入力機能付き電気光学装置１００が適用可能である。

１・・タッチパネル、２ａ・・入力領域、２ｂ・・周辺領域、２１・・入力位置検出用電極、２３・・層間絶縁膜、２４・・実装用導電膜、２７・・周辺配線、３５・・フレキシブル配線基板、９０・・カバーガラス、９０ａ・・カバーガラスの第１面、９０ｂ・・カバーガラスの第２面、９４・・遮光性印刷層、９６・・トップコート層、１００・・入力機能付き電気光学装置、２４０・・実装領域

Claims (9)

1. カバーガラスと、
   該カバーガラスの入力操作面側の第１面側、および該第１面とは反対側の第２面側のうちのいずれか一方において、入力領域内の透光性の入力位置検出用電極、および前記入力領域より外側の周辺領域で延在する透光性の周辺配線を構成する透光性導電膜と、
   前記カバーガラスの前記第２面側において前記周辺領域に形成された遮光性印刷層と、
   前記遮光性印刷層上に形成され、前記周辺配線に電気的に接続する実装用導電膜と、
   前記カバーガラスの前記第２面側で前記実装用導電膜に電気的に接続されたフレキシブル配線基板と、
   を有していることを特徴とするタッチパネル。
2. 前記入力位置検出用電極および前記周辺配線は、前記カバーガラスの前記第１面側に形成され、
   前記実装用導電膜と前記配線とは、前記カバーガラスの側端面を経由して電気的に接続されていることを特徴とする請求項１に記載のタッチパネル。
3. 前記カバーガラスは、前記第１面と前記側端面とが連接する角部分、および前記第２面と前記側端面とが連接する角部分が面取りされていることを特徴とする請求項２に記載のタッチパネル。
4. 前記入力位置検出用電極および前記周辺配線は、前記カバーガラスの前記第２面側に形成されていることを特徴とする請求項１に記載のタッチパネル。
5. 前記周辺配線は、前記遮光性印刷層の下層側を通って前記カバーガラスの側端面側まで延在し、前記実装用導電膜は、前記遮光性印刷層より前記側端面側で前記周辺配線に電気的に接続していることを特徴とする請求項４に記載のタッチパネル。
6. 前記カバーガラスは、前記第２面と前記側端面とが連接する角部分が面取りされていることを特徴とする請求項５に記載のタッチパネル。
7. 前記遮光性印刷層には、当該遮光性印刷層を貫通するコンタクトホールが形成され、
   前記周辺配線は、前記入力位置検出用電極から前記遮光性印刷層の下層側を通って前記コンタクトホールと重なる位置まで延在し、
   前記実装用導電膜は、前記遮光性印刷層の上層側から前記コンタクトホールに充填された遮光性導電材であることを特徴とする請求項１に記載のタッチパネル。
8. 前記カバーガラスは、強化ガラスからなることを特徴とする請求項１乃至７の何れか一項に記載のタッチパネル。
9. カバーガラスの入力操作面側の第１面側、および該第１面とは反対側の第２面側のうちのいずれか一方に、入力領域内の透光性の入力位置検出用電極、および前記入力領域より外側の周辺領域で延在する透光性の周辺配線を構成する透光性導電膜を形成する透光性導電膜形成工程と、
   前記カバーガラスの前記第２面側において前記周辺領域に遮光性印刷層を形成する遮光性印刷工程と、
   前記遮光性印刷層上に前記周辺配線に電気的に接続する実装用導電膜を形成する実装用導電膜形成工程と、
   前記遮光性印刷層上で前記実装用導電膜にフレキシブル配線基板を電気的に接続するフレキシブル配線基板接続工程と、
   を有していることを特徴とするタッチパネルの製造方法。

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