JP2011181672A - 低誘電率層間絶縁膜および低誘電率層間絶縁膜の成膜方法 - Google Patents
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Abstract
【課題】低誘電率化と、絶縁膜破壊、エレクトロマイグレーションやストレスマイグレーションの抑制という性能を備える低誘電率層間絶縁膜および低誘電率層間絶縁膜の成膜方法を提供する。
【解決手段】プラズマCVD法によって形成された低誘電率層間絶縁膜であって、珪素に対する炭素の比率が2.5以上であり、かつ比誘電率が3.8以下であることを特徴とする低誘電率層間絶縁膜を採用する。また、プラズマCVD法によって、珪素に対する炭素の比率が2.5以上であり、かつ比誘電率が3.8以下である低誘電率層間絶縁膜の成膜方法であって、前記プラズマCVD法によって成膜する際に、絶縁膜材料として炭化水素を用いないことを特徴とする低誘電率層間絶縁膜の成膜方法を採用する。
【選択図】なし
【解決手段】プラズマCVD法によって形成された低誘電率層間絶縁膜であって、珪素に対する炭素の比率が2.5以上であり、かつ比誘電率が3.8以下であることを特徴とする低誘電率層間絶縁膜を採用する。また、プラズマCVD法によって、珪素に対する炭素の比率が2.5以上であり、かつ比誘電率が3.8以下である低誘電率層間絶縁膜の成膜方法であって、前記プラズマCVD法によって成膜する際に、絶縁膜材料として炭化水素を用いないことを特徴とする低誘電率層間絶縁膜の成膜方法を採用する。
【選択図】なし
Description
本発明は、低誘電率層間絶縁膜および低誘電率層間絶縁膜の成膜方法に関するものである。
近年、半導体装置の高集積化に伴い、配線層が微細化されてきているが、微細な配線層を用いると、配線層における信号遅延の影響が大きくなり、信号伝送速度の高速化を妨げるという問題が指摘されている。この信号遅延は、配線層の抵抗と配線層間容量に比例することから、高速化を実現するためには、配線層の低抵抗化と、配線層間容量の低減が求められてきている。
そのため、最近では配線層を構成する材料として、従来のアルミニウムから抵抗率の低い銅が用いられてきており、加えて配線層間容量を減らすために、比誘電率の低い層間絶縁膜が用いられてきている。
例えば、SiO2膜は4.1、SiOF膜は3.7の比誘電率を有するが、さらに比誘電率の低いSiOCH膜や有機膜を用いるようになってきている。
例えば、SiO2膜は4.1、SiOF膜は3.7の比誘電率を有するが、さらに比誘電率の低いSiOCH膜や有機膜を用いるようになってきている。
しかしながら、SiOCH膜や有機膜には多くの空孔や空隙が形成されているため、配線の銅が絶縁膜内を拡散しやすく、この銅の拡散は、絶縁破壊の要因となり、配線の信頼性低下につながっている。
そこで、銅の拡散を防ぐために、銅配線の周辺には拡散バリア性を持つ空孔や空隙の少ない絶縁膜(以下、バリア膜という。)が成膜されることが多い。このバリア膜についても、空孔や空隙を増やすことなく、拡散バリア性を保ったまま低誘電率化することが求められている(特許文献1、特許文献2参照)。
また、多層配線構造を形成する過程においては、SiOCH膜や有機膜、バリア膜などの絶縁膜に対して、エッチング工程、洗浄工程、研磨工程といった処理が施される。したがって、これらの処理に対して、絶縁膜同士及び金属絶縁膜間が剥離しないような密着性が求められる。そして、密着性は主に絶縁膜の機械的強度に起因していることが広く知られている(非特許文献1、非特許文献2参照)。また、絶縁膜が損傷することを防ぐためには、密着性も含めて機械的強度が高いことが求められている(特許文献3参照)。しかしながら、絶縁膜中に空孔や空隙が形成された絶縁膜は、機械強度が低いという問題点が指摘されている。
Proceedings of ADMETA2008、2008年、pp34−35
Conference Proceedings AMC XXIV 2009 Material Reserch Society、pp381−386
ところで、SiOCH膜などの低誘電率層間絶縁膜は、空孔や空隙を多く設けることによって低誘電率化を達成している。しかしながら、従来の低誘電率層間絶縁膜は、空孔や空隙が多いことからガス及び金属のバリア性が劣っているという問題点があった。また、従来の低誘電率層間絶縁膜は凝集エネルギーが弱く、別組成の膜との密着性が劣っているという問題点があった。
そして、バリア性や密着性が劣っていると、絶縁膜破壊、エレクトロマイグレーション、ストレスマイグレーション等の原因となり、配線の信頼性を低下させることとなる。
このような背景の下、低誘電率化と、絶縁膜破壊、エレクトロマイグレーションやストレスマイグレーションの抑制という性能を備える層間絶縁膜が要望されていたが、両立は困難であるとして、有効適切なものが提供されていないのが実情であった。
上記課題を解決するため、請求項1に係る発明は、プラズマCVD法によって形成された低誘電率層間絶縁膜であって、珪素に対する炭素の比率が2.5以上であり、かつ比誘電率が3.8以下であることを特徴とする低誘電率層間絶縁膜である。
請求項2に係る発明は、前記低誘電率層間絶縁膜が、珪素に対する炭素の比率が3.0以上であることを特徴とする請求項1に記載の低誘電率層間絶縁膜である。
請求項3に係る発明は、前記低誘電率層間絶縁膜が、比誘電率が3.5以下であることを特徴とする請求項1または請求項2に記載の低誘電率層間絶縁膜である。
請求項4に係る発明は、前記低誘電率層間絶縁膜が、金属、水分、酸素のうち少なくとも1つの物質の拡散を防止することを特徴とする請求項1ないし請求項3のいずれか1項に記載の低誘電率層間絶縁膜である。
請求項5に係る発明は、前記低誘電率層間絶縁膜が、珪素、炭素、水素からなることを特徴とする請求項1ないし請求項4のいずれか1項に記載の低誘電率層間絶縁膜である。
請求項6に係る発明は、プラズマCVD法によって、珪素に対する炭素の比率が2.5以上であり、かつ比誘電率が3.8以下である低誘電率層間絶縁膜の成膜方法であって、前記プラズマCVD法によって成膜する際に、絶縁膜材料として炭化水素を用いないことを特徴とする低誘電率層間絶縁膜の成膜方法である。
請求項7に係る発明は、前記プラズマCVD法によって成膜する際に、絶縁膜材料としてイソブチルトリメチルシラン、ジイソブチルジメチルシラン、または5−シラスピロ[4,4]ノナンを用いることを特徴とする請求項1ないし請求項4のいずれか1項に記載の低誘電率層間絶縁膜の成膜方法である。
本発明により、低誘電率化とバリア性、密着性の向上を同時に満たすことができ、絶縁破壊、エレクトロマイグレーションやストレスマイグレーションを抑制した上で、信頼性を向上させることができる。
以下、本発明を適用した一実施形態である低誘電率層間絶縁膜について詳しく説明する。
本実施形態の低誘電率層間絶縁膜は、プラズマCVD法によって形成されるものであり、基板上に多層配線構造等を形成する際に、金属、水分、酸素のうち少なくとも1つの物質の拡散を防止することを目的として成膜される膜である。例えば、配線層として銅を用いた際の銅拡散バリア膜として用いられるものである。
本実施形態の低誘電率層間絶縁膜は、プラズマCVD法によって形成されるものであり、基板上に多層配線構造等を形成する際に、金属、水分、酸素のうち少なくとも1つの物質の拡散を防止することを目的として成膜される膜である。例えば、配線層として銅を用いた際の銅拡散バリア膜として用いられるものである。
低誘電率層間絶縁膜は、少なくとも炭素と珪素を含んだ膜であり、具体的には、SiCH膜、SiOCH膜、またはSiCN膜などを挙げることができる。また、珪素に対する炭素の比率は2.5以上に形成されており、3.0以上に形成されていることがより好ましい。また、低誘電率層間絶縁膜は、珪素、炭素、酸素、窒素、水素から構成されていることが好ましく、珪素、炭素、水素から構成されていることがより好ましい。
また、比誘電率が3.8以下になるように形成されており、3.5以下になるように形成されているのがより好ましい。
また、比誘電率が3.8以下になるように形成されており、3.5以下になるように形成されているのがより好ましい。
次に、本実施形態の低誘電率層間絶縁膜の成膜方法について説明する。
本実施形態の成膜方法は、絶縁膜材料を用いてプラズマCVD法による成膜方法であり、絶縁膜材料としては、成膜される低誘電率層間絶縁膜が、珪素に対する炭素の比率が2.5以上であり、かつ比誘電率が3.8以下であればどのようなものを用いても構わないが、例えば下記の材料を用いることができる。
本実施形態の成膜方法は、絶縁膜材料を用いてプラズマCVD法による成膜方法であり、絶縁膜材料としては、成膜される低誘電率層間絶縁膜が、珪素に対する炭素の比率が2.5以上であり、かつ比誘電率が3.8以下であればどのようなものを用いても構わないが、例えば下記の材料を用いることができる。
1−1−ジビニル−1−シラシクロペンタン、1−1−ジアリル−1−シラシクロペンタン、1−1−ジエチニル−1−シラシクロブタン、1−1−ジビニル−1−シラシクロブタン、1−1−ジ−1−プロピニル−1−シラシクロブタン、1−1−ジ−2−プロピニル−1−シラシクロブタン、1−1−ジプロペニル−1−シラシクロブタン、1−1−ジアリル−1−シラシクロブタン、1−1−ジプロピル−1−シラシクロブタン、1−1−ジイソプロピル−1−シラシクロブタン、1−1−ジ−1−ブチニル−1−シラシクロブタン、1−1−ジ−2−ブチニル−1−シラシクロブタン、1−1−ジ−3−ブチニル−1−シラシクロブタン、1−1−ジ−1−ブテニル−1−シラシクロブタン、1−1−ジ−2−ブテニル−1−シラシクロブタン、1−1−ジ−3−ブテニル−1−シラシクロブタン、1−1−ジシクロブチル−1−シラシクロブタン、1−1−ジブチル−1−シラシクロブタン、1−1−ジ−s−ブチル−1−シラシクロブタン、1−1−ジ−t−ブチル−1−シラシクロブタン、1−1−ジ−1−ペンチニル−1−シラシクロブタン、1−1−ジ−2−ペンチニル−1−シラシクロブタン、1−1−ジ−3−ペンチニル−1−シラシクロブタン、1−1−ジ−1−ペンテニル−1−シラシクロブタン、1−1−ジ−2−ペンテニル−1−シラシクロブタン、1−1−ジ−3−ペンテニル−1−シラシクロブタン、1−1−ジ−4−ペンテニル−1−シラシクロブタン、1−1−ジシクロペンチル−1−シラシクロブタン、1−1−ジペンチル−1−シラシクロブタン、1−1−ジ−t−ペンチル−1−シラシクロブタン、1−1−ジエチニル−1−シラシクロペンタン、1−1−ジビニル−1−シラシクロペンタン、1−1−ジ−1−プロピニル−1−シラシクロペンタン、1−1−ジ−2−プロピニル−1−シラシクロペンタン、1−1−ジプロペニル−1−シラシクロペンタン、1−1−ジアリル−1−シラシクロペンタン、1−1−ジプロピル−1−シラシクロペンタン、1−1−ジイソプロピル−1−シラシクロペンタン、1−1−ジ−1−ブチニル−1−シラシクロペンタン、1−1−ジ−2−ブチニル−1−シラシクロペンタン、1−1−ジ−3−ブチニル−1−シラシクロペンタン、1−1−ジ−1−ブテニル−1−シラシクロペンタン、1−1−ジ−2−ブテニル−1−シラシクロペンタン、1−1−ジ−3−ブテニル−1−シラシクロペンタン、1−1−ジシクロブチル−1−シラシクロペンタン、1−1−ジブチル−1−シラシクロペンタン、1−1−ジ−s−ブチル−1−シラシクロペンタン、1−1−ジ−t−ブチル−1−シラシクロペンタン、1−1−ジ−1−ペンチニル−1−シラシクロペンタン、1−1−ジ−2−ペンチニル−1−シラシクロペンタン、1−1−ジ−3−ペンチニル−1−シラシクロペンタン、1−1−ジ−1−ペンテニル−1−シラシクロペンタン、1−1−ジ−2−ペンテニル−1−シラシクロペンタン、1−1−ジ−3−ペンテニル−1−シラシクロペンタン、1−1−ジ−4−ペンテニル−1−シラシクロペンタン、1−1−ジシクロペンチル−1−シラシクロペンタン、1−1−ジペンチル−1−シラシクロペンタン、1−1−ジ−t−ペンチル−1−シラシクロペンタン、1−1−ジエチニル−1−シラシクロヘキサン、1−1−ジビニル−1−シラシクロヘキサン、1−1−ジ−1−プロピニル−1−シラシクロヘキサン、1−1−ジ−2−プロピニル−1−シラシクロヘキサン、1−1−ジプロペニル−1−シラシクロヘキサン、1−1−ジアリル−1−シラシクロヘキサン、1−1−ジプロピル−1−シラシクロヘキサン、1−1−ジイソプロピル−1−シラシクロヘキサン、1−1−ジ−1−ブチニル−1−シラシクロヘキサン、1−1−ジ−2−ブチニル−1−シラシクロヘキサン、1−1−ジ−3−ブチニル−1−シラシクロヘキサン、1−1−ジ−1−ブテニル−1−シラシクロヘキサン、1−1−ジ−2−ブテニル−1−シラシクロヘキサン、1−1−ジ−3−ブテニル−1−シラシクロヘキサン、1−1−ジシクロブチル−1−シラシクロヘキサン、1−1−ジブチル−1−シラシクロヘキサン、1−1−ジ−s−ブチル−1−シラシクロヘキサン、1−1−ジ−t−ブチル−1−シラシクロヘキサン、1−1−ジ−1−ペンチニル−1−シラシクロヘキサン、1−1−ジ−2−ペンチニル−1−シラシクロヘキサン、1−1−ジ−3−ペンチニル−1−シラシクロヘキサン、1−1−ジ−1−ペンテニル−1−シラシクロヘキサン、1−1−ジ−2−ペンテニル−1−シラシクロヘキサン、1−1−ジ−3−ペンテニル−1−シラシクロヘキサン、1−1−ジ−4−ペンテニル−1−シラシクロヘキサン、1−1−ジシクロペンチル−1−シラシクロヘキサン、1−1−ジペンチル−1−シラシクロヘキサン、1−1−ジ−t−ペンチル−1−シラシクロヘキサン、1−1−ジエチニル−1−シラシクロヘプタン、1−1−ジビニル−1−シラシクロヘプタン、1−1−ジ−1−プロピニル−1−シラシクロヘプタン、1−1−ジ−2−プロピニル−1−シラシクロヘプタン、1−1−ジプロペニル−1−シラシクロヘプタン、1−1−ジアリル−1−シラシクロヘプタン、1−1−ジプロピル−1−シラシクロヘプタン、1−1−ジイソプロピル−1−シラシクロヘプタン、1−1−ジ−1−ブチニル−1−シラシクロヘプタン、1−1−ジ−2−ブチニル−1−シラシクロヘプタン、1−1−ジ−3−ブチニル−1−シラシクロヘプタン、1−1−ジ−1−ブテニル−1−シラシクロヘプタン、1−1−ジ−2−ブテニル−1−シラシクロヘプタン、1−1−ジ−3−ブテニル−1−シラシクロヘプタン、1−1−ジシクロブチル−1−シラシクロヘプタン、1−1−ジブチル−1−シラシクロヘプタン、1−1−ジ−s−ブチル−1−シラシクロヘプタン、1−1−ジ−t−ブチル−1−シラシクロヘプタン、1−1−ジ−1−ペンチニル−1−シラシクロヘプタン、1−1−ジ−2−ペンチニル−1−シラシクロヘプタン、1−1−ジ−3−ペンチニル−1−シラシクロヘプタン、1−1−ジ−1−ペンテニル−1−シラシクロヘプタン、1−1−ジ−2−ペンテニル−1−シラシクロヘプタン、1−1−ジ−3−ペンテニル−1−シラシクロヘプタン、1−1−ジ−4−ペンテニル−1−シラシクロヘプタン、1−1−ジシクロペンチル−1−シラシクロヘプタン、1−1−ジペンチル−1−シラシクロヘプタン、1−1−ジ−t−ペンチル−1−シラシクロヘプタン、イソブチルトリメチルシラン、ジイソブチルジメチルシラン、トリイソブチルメチルシラン、トリイソブチルシラン、5−シラスピロ[4,4]ノナン、5−シラスピロ[4,3]オクタン、6−シラスピロ[5,4]デカンなどである。
上記絶縁膜材料の中では、特にイソブチルトリメチルシラン、ジイソブチルジメチルシラン、または5−シラスピロ[4,4]ノナンを用いることが好ましい。
また、絶縁膜材料としては、炭化水素を用いないことが好ましい。
また、絶縁膜材料としては、炭化水素を用いないことが好ましい。
上記絶縁膜材料は、1種類のみを単独で用いても構わず、また2種類以上を用いても構わない。2種類以上の絶縁膜材料を混合して使用する場合の混合比率は、特に限定されず、得られる低誘電率層間絶縁膜が、珪素に対する炭素の比率が2.5以上であり、かつ比誘電率が3.8以下であればどのように組み合わせても構わない。
また、成膜の際に、上記絶縁膜材料にキャリアガスを添加して成膜することもできる。この場合は、成膜装置のチャンバー内に送り込まれ、成膜に供されるガスが、絶縁膜材料からなるガスの他に、キャリアガスが混合された混合ガスとなることがある。もっとも、金属、水分、または酸素の拡散防止性を向上させるためには、キャリアガスを用いないことが望ましい。
なお、キャリアガスには、酸素を含まないガス、例えばヘリウム、アルゴン、クリプトン、キセノン等の希ガスの他に、窒素、水素などが挙げられるが、これらに特に限定されるものではない。キャリアガスには、1種類のみを単独で用いても構わず、また2種類以上を用いても構わず、絶縁膜材料を含めてその混合割合に特に限定はない。
絶縁膜材料およびキャリアガスが常温で気体状であればそのまま用いることができ、液体状のものであればヘリウムなどの不活性ガスを用いたバブリングによる気化、気化器による気化、または加熱による気化によってガス化して用いる。
プラズマCVD法自体は周知のものを用いることができ、例えば図1に示すような平行平板型の成膜装置1などを使用して成膜することができる。
図1に示したプラズマ成膜装置1は、減圧可能なチャンバー2を備え、このチャンバー2は、排気管3、開閉弁4を介して排気ポンプ5に接続されている。また、チャンバー2には、図示しない圧力計が備えられ、チャンバー2内の圧力が測定できるようになっている。チャンバー2内には、相対向する一対の平板状の上部電極6と下部電極7とが設けられている。上部電極6は、高周波電源8に接続され、上部電極6に高周波電流が印加されるようになっている。
図1に示したプラズマ成膜装置1は、減圧可能なチャンバー2を備え、このチャンバー2は、排気管3、開閉弁4を介して排気ポンプ5に接続されている。また、チャンバー2には、図示しない圧力計が備えられ、チャンバー2内の圧力が測定できるようになっている。チャンバー2内には、相対向する一対の平板状の上部電極6と下部電極7とが設けられている。上部電極6は、高周波電源8に接続され、上部電極6に高周波電流が印加されるようになっている。
下部電極7は、基板9を載置する載置台を兼ねており、その内部にはヒーター10が内蔵され、基板を加熱できるようになっている。
また、上部電極6には、ガス供給配管11が接続されている。このガス供給配管11には、図示しない成膜用ガス供給源が接続され、この成膜用ガス供給装置からの成膜用のガスが供給され、このガスは上部電極6内に形成された複数の貫通孔を通って、下部電極7に向けて拡散しつつ流れ出るようになっている。
また、上部電極6には、ガス供給配管11が接続されている。このガス供給配管11には、図示しない成膜用ガス供給源が接続され、この成膜用ガス供給装置からの成膜用のガスが供給され、このガスは上部電極6内に形成された複数の貫通孔を通って、下部電極7に向けて拡散しつつ流れ出るようになっている。
また、上記成膜用ガス供給源には、上述の絶縁膜材料を気化する気化装置と、その流量を調整する流量調整弁を備えるとともに、キャリアガスを供給する供給装置が設けられており、これらのガスもガス供給配管11を流れて、上部電極6からチャンバー2内に流れ出るようになっている。
プラズマ成膜装置のチャンバー2内の下部電極7上に基板9を置き、成膜用ガス供給源から上記成膜用ガスをチャンバー2内に送り込む。高周波電源8から高周波電流を上部電極6に印加して、チャンバー2内にプラズマを発生させる。これにより、基板9上に上記成膜用ガスから気相化学反応により生成した絶縁膜が形成される。
基板9には、主にシリコンウェーハからなるものが用いられるが、このシリコンウェーハ上にはあらかじめ形成された他の絶縁膜、導電膜、配線構造などが存在していてもよい。
プラズマ成膜装置のチャンバー2内の下部電極7上に基板9を置き、成膜用ガス供給源から上記成膜用ガスをチャンバー2内に送り込む。高周波電源8から高周波電流を上部電極6に印加して、チャンバー2内にプラズマを発生させる。これにより、基板9上に上記成膜用ガスから気相化学反応により生成した絶縁膜が形成される。
基板9には、主にシリコンウェーハからなるものが用いられるが、このシリコンウェーハ上にはあらかじめ形成された他の絶縁膜、導電膜、配線構造などが存在していてもよい。
プラズマCVD法としては、平行平板型の他に、ICPプラズマ、ECRプラズマ、マグネトロンプラズマ、高周波プラズマ、マイクロ波プラズマ、容量結合プラズマ、誘導結合プラズマなどを用いることが可能であり、平行平板型装置の下部電極にも高周波を導入する2周波励起プラズマを使用することもできる。
このプラズマ成膜装置における成膜条件は、用いる絶縁膜材料によって異なるため、以下の範囲が好適ではあるが、この限りではない。
絶縁膜材料流量 :20〜100cc/分 (2種以上の場合は合計量である)
キャリアガス流量 :0〜50cc/分
圧力 :1Pa〜1330Pa
RFパワー :50〜500W、好ましくは50〜250W
基板温度 :400℃以下
反応時間 :1秒〜1800秒
成膜厚さ :100nm〜200nm
絶縁膜材料流量 :20〜100cc/分 (2種以上の場合は合計量である)
キャリアガス流量 :0〜50cc/分
圧力 :1Pa〜1330Pa
RFパワー :50〜500W、好ましくは50〜250W
基板温度 :400℃以下
反応時間 :1秒〜1800秒
成膜厚さ :100nm〜200nm
本実施形態の低誘電率層間絶縁膜は、珪素に対する炭素の比率が2.5以上であり、かつ比誘電率が3.8以下に形成されている。これにより、比誘電率を3.8以下に設計しながらも、珪素に対する炭素の比率が2.5以上に形成されているので、バリア性、密着性を向上させることができる。すなわち、従来の空孔や空隙が発生していた低誘電率層間絶縁膜とは異なり、本実施形態の低誘電率層間絶縁膜では空隙や空孔が生じず、代わりに多くの炭化水素が膜中に取り込まれることとなり、バリア性、密着性を向上させることができる。その結果、絶縁破壊、エレクトロマイグレーションやストレスマイグレーションを抑制し、信頼性を向上させることができる。
また、本実施形態の低誘電率層間絶縁膜の成膜方法は、絶縁膜材料として炭化水素を用いない成膜方法である。すなわち、成膜された低誘電率層間絶縁膜に混入される炭素は、全て珪素を含有する絶縁膜材料に起因したものとなる。これにより、成膜された低誘電率層間絶縁膜に均一に炭素が混入されることになり、よりバリア性、密着性を向上させることができる。加えて、炭化水素を用いないことにより、装置ごとの成膜条件の最適化が容易となるという利点や、揮発性の炭化水素を管理するための検知器が必要ないという利点などもある。
以下、本発明を実施例および比較例により、さらに詳細に説明する。ただし、本発明は以下の実施例によって何ら限定されるものではない。
以下の実施例および比較例においては、全てプラズマCVD法を用いて、低誘電率層間絶縁膜としてSiCH膜を成膜した。SiCH膜の特性である拡散バリア性の評価方法については、従来バリア膜として用いられてきた比誘電率4.8のSiCN膜に比較して、優れている場合を◎、同等の場合を○、わずかに劣る場合を△、バリア性のない場合を×とした。また、密着性は、テープテストによって評価し、1mm角の格子を100個作成し、剥がれなかった升目の数で密着性の大小を比較した。
なお、本発明の低誘電率層間絶縁膜は、SiCH膜に限定されるものではなく、SiOCH膜やSiCN膜についても当てはめることができる。
なお、本発明の低誘電率層間絶縁膜は、SiCH膜に限定されるものではなく、SiOCH膜やSiCN膜についても当てはめることができる。
<実施例1>
実施例1は、絶縁膜材料としてイソブチルトリメチルシラン(iBTMS)を用い、流量20sccm、圧力3Torr、プラズマ出力550Wの条件でSiCH膜を成膜したところ、比誘電率3.5のSiCH膜が得られた。珪素に対する炭素の比率(C/Si比)、空隙率、バリア性、密着性を評価した結果を表1に示す。
この結果から、実施例1の低誘電率層間絶縁膜は、C/Si比が大きいため、空隙率が小さく、バリア性が既存ものと同等であることが分かった。
実施例1は、絶縁膜材料としてイソブチルトリメチルシラン(iBTMS)を用い、流量20sccm、圧力3Torr、プラズマ出力550Wの条件でSiCH膜を成膜したところ、比誘電率3.5のSiCH膜が得られた。珪素に対する炭素の比率(C/Si比)、空隙率、バリア性、密着性を評価した結果を表1に示す。
この結果から、実施例1の低誘電率層間絶縁膜は、C/Si比が大きいため、空隙率が小さく、バリア性が既存ものと同等であることが分かった。
<実施例2>
実施例2は、絶縁膜材料としてジイソブチルジメチルシラン(DiBDMS)を用い、流量20sccm、圧力3Torr、プラズマ出力650Wの条件でSiCH膜を成膜したところ、比誘電率3.5のSiCH膜が得られた。珪素に対する炭素の比率(C/Si比)、空隙率、バリア性、密着性を評価した結果を表1に示す。
この結果から、実施例2の低誘電率層間絶縁膜は、C/Si比が大きいため、空隙率が小さく、バリア性は既存ものと同等、密着性は既存のものより優れていることが分かった。
実施例2は、絶縁膜材料としてジイソブチルジメチルシラン(DiBDMS)を用い、流量20sccm、圧力3Torr、プラズマ出力650Wの条件でSiCH膜を成膜したところ、比誘電率3.5のSiCH膜が得られた。珪素に対する炭素の比率(C/Si比)、空隙率、バリア性、密着性を評価した結果を表1に示す。
この結果から、実施例2の低誘電率層間絶縁膜は、C/Si比が大きいため、空隙率が小さく、バリア性は既存ものと同等、密着性は既存のものより優れていることが分かった。
<実施例3>
実施例3は、絶縁膜材料としてジイソブチルジメチルシラン(DiBDMS)を用い、流量20sccm、圧力3Torr、プラズマ出力450Wの条件でSiCH膜を成膜したところ、比誘電率3.0のSiCH膜が得られた。珪素に対する炭素の比率(C/Si比)、空隙率、バリア性、密着性を評価した結果を表1に示す。
この結果から、実施例3の低誘電率層間絶縁膜は、C/Si比が大きいため、空隙率が小さく、バリア性は既存のものよりもわずかに劣るものの、密着性は優れていることが分かった。
実施例3は、絶縁膜材料としてジイソブチルジメチルシラン(DiBDMS)を用い、流量20sccm、圧力3Torr、プラズマ出力450Wの条件でSiCH膜を成膜したところ、比誘電率3.0のSiCH膜が得られた。珪素に対する炭素の比率(C/Si比)、空隙率、バリア性、密着性を評価した結果を表1に示す。
この結果から、実施例3の低誘電率層間絶縁膜は、C/Si比が大きいため、空隙率が小さく、バリア性は既存のものよりもわずかに劣るものの、密着性は優れていることが分かった。
<実施例4>
実施例4は、絶縁膜材料としてジイソブチルジメチルシラン(DiBDMS)を用い、流量20sccm、圧力3Torr、プラズマ出力850Wの条件でSiCH膜を成膜したところ、比誘電率3.8のSiCH膜が得られた。珪素に対する炭素の比率(C/Si比)、空隙率、バリア性、密着性を評価した結果を表1に示す。
この結果から、実施例4の低誘電率層間絶縁膜は、C/Si比が大きいため、空隙率が小さく、バリア性、密着性ともに既存のものより優れていることが分かった。
実施例4は、絶縁膜材料としてジイソブチルジメチルシラン(DiBDMS)を用い、流量20sccm、圧力3Torr、プラズマ出力850Wの条件でSiCH膜を成膜したところ、比誘電率3.8のSiCH膜が得られた。珪素に対する炭素の比率(C/Si比)、空隙率、バリア性、密着性を評価した結果を表1に示す。
この結果から、実施例4の低誘電率層間絶縁膜は、C/Si比が大きいため、空隙率が小さく、バリア性、密着性ともに既存のものより優れていることが分かった。
<実施例5>
実施例5は、絶縁膜材料として5−シラスピロ[4,4]ノナン(SSN)を用い、流量20sccm、圧力1Torr、プラズマ出力100Wの条件でSiCH膜を成膜したところ、比誘電率3.0のSiCH膜が得られた。珪素に対する炭素の比率(C/Si比)、空隙率、バリア性、密着性を評価した結果を表1に示す。
この結果から、実施例5の低誘電率層間絶縁膜は、C/Si比が大きいため、空隙率が小さく、バリア性は既存のものと同等、密着性は既存のものより優れていることが分かった。
実施例5は、絶縁膜材料として5−シラスピロ[4,4]ノナン(SSN)を用い、流量20sccm、圧力1Torr、プラズマ出力100Wの条件でSiCH膜を成膜したところ、比誘電率3.0のSiCH膜が得られた。珪素に対する炭素の比率(C/Si比)、空隙率、バリア性、密着性を評価した結果を表1に示す。
この結果から、実施例5の低誘電率層間絶縁膜は、C/Si比が大きいため、空隙率が小さく、バリア性は既存のものと同等、密着性は既存のものより優れていることが分かった。
<実施例6>
実施例6は、絶縁膜材料として5−シラスピロ[4,4]ノナン(SSN)を用い、流量20sccm、圧力1Torr、プラズマ出力250Wの条件でSiCH膜を成膜したところ、比誘電率3.5のSiCH膜が得られた。珪素に対する炭素の比率(C/Si比)、空隙率、バリア性、密着性を評価した結果を表1に示す。
この結果から、実施例6の低誘電率層間絶縁膜は、C/Si比が大きいため、空隙率が小さく、バリア性、密着性ともに既存のものより優れていることが分かった。
実施例6は、絶縁膜材料として5−シラスピロ[4,4]ノナン(SSN)を用い、流量20sccm、圧力1Torr、プラズマ出力250Wの条件でSiCH膜を成膜したところ、比誘電率3.5のSiCH膜が得られた。珪素に対する炭素の比率(C/Si比)、空隙率、バリア性、密着性を評価した結果を表1に示す。
この結果から、実施例6の低誘電率層間絶縁膜は、C/Si比が大きいため、空隙率が小さく、バリア性、密着性ともに既存のものより優れていることが分かった。
<比較例1>
比較例1は、絶縁膜材料としてテトラメチルシラン(4MS)を用い、流量20sccm、圧力3Torr、プラズマ出力650Wの条件でSiCH膜を成膜したところ、比誘電率3.5のSiCH膜が得られた。珪素に対する炭素の比率(C/Si比)、空隙率、バリア性、密着性を評価した結果を表1に示す。
この結果から、比較例1の低誘電率層間絶縁膜は、C/Si比が小さく、空隙率が大きく、バリア性、密着性ともに既存のものより劣っていることが分かった。
比較例1は、絶縁膜材料としてテトラメチルシラン(4MS)を用い、流量20sccm、圧力3Torr、プラズマ出力650Wの条件でSiCH膜を成膜したところ、比誘電率3.5のSiCH膜が得られた。珪素に対する炭素の比率(C/Si比)、空隙率、バリア性、密着性を評価した結果を表1に示す。
この結果から、比較例1の低誘電率層間絶縁膜は、C/Si比が小さく、空隙率が大きく、バリア性、密着性ともに既存のものより劣っていることが分かった。
<比較例2>
比較例2は、絶縁膜材料としてテトラメチルシラン(4MS)を用い、流量20sccm、圧力5Torr、プラズマ出力650Wの条件でSiCH膜を成膜したところ、比誘電率3.5のSiCH膜が得られた。珪素に対する炭素の比率(C/Si比)、空隙率、バリア性、密着性を評価した結果を表1に示す。
この結果から、比較例2の低誘電率層間絶縁膜は、C/Si比が小さく、空隙率が大きく、バリア性、密着性ともに既存のものより劣っていることが分かった。
比較例2は、絶縁膜材料としてテトラメチルシラン(4MS)を用い、流量20sccm、圧力5Torr、プラズマ出力650Wの条件でSiCH膜を成膜したところ、比誘電率3.5のSiCH膜が得られた。珪素に対する炭素の比率(C/Si比)、空隙率、バリア性、密着性を評価した結果を表1に示す。
この結果から、比較例2の低誘電率層間絶縁膜は、C/Si比が小さく、空隙率が大きく、バリア性、密着性ともに既存のものより劣っていることが分かった。
<比較例3>
比較例3は、絶縁膜材料としてトリメチルシラン(3MS)とエチレンを流量比1:1で混合したものを用い、流量60sccm、圧力8.4Torr、プラズマ出力550Wの条件でSiCH膜を成膜したところ、比誘電率4.1のSiCH膜が得られた。珪素に対する炭素の比率(C/Si比)、空隙率、バリア性、密着性を評価した結果を表1に示す。
この結果から、比較例3の低誘電率層間絶縁膜は、比誘電率が4.1と大きく、C/Si比は小さいものの、バリア性は既存のものと同等であった。
比較例3は、絶縁膜材料としてトリメチルシラン(3MS)とエチレンを流量比1:1で混合したものを用い、流量60sccm、圧力8.4Torr、プラズマ出力550Wの条件でSiCH膜を成膜したところ、比誘電率4.1のSiCH膜が得られた。珪素に対する炭素の比率(C/Si比)、空隙率、バリア性、密着性を評価した結果を表1に示す。
この結果から、比較例3の低誘電率層間絶縁膜は、比誘電率が4.1と大きく、C/Si比は小さいものの、バリア性は既存のものと同等であった。
上記実施例および比較例をもとに、比誘電率と、珪素に対する炭素の比率(C/Si比)と、バリア性の関係を図2に示す。
図2より、C/Si比>−2.2358×比誘電率+10.714を満たすとき、バリア性が従来よりも優れているないし同等であることが分かった。
図2より、C/Si比>−2.2358×比誘電率+10.714を満たすとき、バリア性が従来よりも優れているないし同等であることが分かった。
1・・・成膜装置、2・・・チャンバー、3・・・排気管、4・・・開閉弁、5・・・排気ポンプ、6・・・上部電極、7・・・下部電極、8・・・高周波電源、9・・・基板、10・・・ヒーター、11・・・ガス供給配管
Claims (7)
- プラズマCVD法によって形成された低誘電率層間絶縁膜であって、
珪素に対する炭素の比率が2.5以上であり、かつ比誘電率が3.8以下であることを特徴とする低誘電率層間絶縁膜。 - 前記低誘電率層間絶縁膜が、珪素に対する炭素の比率が3.0以上であることを特徴とする請求項1に記載の低誘電率層間絶縁膜。
- 前記低誘電率層間絶縁膜が、比誘電率が3.5以下であることを特徴とする請求項1または請求項2に記載の低誘電率層間絶縁膜。
- 前記低誘電率層間絶縁膜が、金属、水分、酸素のうち少なくとも1つの物質の拡散を防止することを特徴とする請求項1ないし請求項3のいずれか1項に記載の低誘電率層間絶縁膜。
- 前記低誘電率層間絶縁膜が、珪素、炭素、水素からなることを特徴とする請求項1ないし請求項4のいずれか1項に記載の低誘電率層間絶縁膜。
- プラズマCVD法によって、珪素に対する炭素の比率が2.5以上であり、かつ比誘電率が3.8以下である低誘電率層間絶縁膜の成膜方法であって、
前記プラズマCVD法によって成膜する際に、絶縁膜材料として炭化水素を用いないことを特徴とする低誘電率層間絶縁膜の成膜方法。 - 前記プラズマCVD法によって成膜する際に、絶縁膜材料としてイソブチルトリメチルシラン、ジイソブチルジメチルシラン、または5−シラスピロ[4,4]ノナンを用いることを特徴とする請求項1ないし請求項4のいずれか1項に記載の低誘電率層間絶縁膜の成膜方法。
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