JP2011174942A - 表面検査装置 - Google Patents
表面検査装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2011174942A JP2011174942A JP2011100905A JP2011100905A JP2011174942A JP 2011174942 A JP2011174942 A JP 2011174942A JP 2011100905 A JP2011100905 A JP 2011100905A JP 2011100905 A JP2011100905 A JP 2011100905A JP 2011174942 A JP2011174942 A JP 2011174942A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- light
- steel plate
- reflected
- light source
- inspected
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Images
Abstract
【解決手段】鋼板表面に波長が10.6μm以上の光を照射する光源4と、前記鋼板表面の微小凹凸疵の各点から鏡面反射された光の集束によって得られる明点に基づいて凹欠陥を、前記鋼板表面の微小凹凸疵の各点から鏡面反射された光の発散によって得られる暗点に基づいて凸欠陥を検出する検出系6,7とを有する。
【選択図】図1
Description
鋼板表面に波長が10.6μm以上の光を照射する光源と、
前記鋼板表面の微小凹凸疵の各点から鏡面反射された光の集束によって得られる明点に基づいて凹欠陥を、
前記鋼板表面の微小凹凸疵の各点から鏡面反射された光の発散によって得られる暗点に基づいて凸欠陥を検出する検出系とを有することを特徴とする表面検査装置。
g = {2πσ(cosθ1+cosθ2)/λ}2 ・・・(1)
g = {4πσcosθ/λ}2 ・・・(2)
tanφ(x)=dh/dx
よって、以下の(4)式のようになる。
u={cosθ+sinθtan(2φ(x))}x−L・tan(2φ(x)) ・・・(6)
u=x・cosθ−L・tan(2φ(x))
≒x・cosθ−2L・dh/dx=cosθ(x−2L/cosθ・dh/dx) ・・・(7)
u=x−2L・tan2θ・dh/dx ・・・(8)
この場合、投影された像の倍率は入射角θによらず一定であるが、入射角が大きいほど感度が高いのは同様である。
R・sinθ+δ=R・sin(θ+ε) ・・・(9)
∴ δ/R = sin(θ+ε)−sinθ
= 2・sin(ε/2)・cos(θ+ε/2) ・・・(10)
−2・sin(εmax /2)・cos(θ−εmax /2)≦δ/R ≦ 2・ sin(εmax /2)・cos(θ+ε
max /2) ・・・(11)
いま、εが十分小さいとすると、(12)および(13)式と近似することができ、(11)式は、(14)式となる。
sin(εmax /2)= εmax /2 ・・・(12)
cos(θ±εmax /2)=cosθ ・・・(13)
|δ|/R ≦ εmax・cosθ ・・・(14)
2 ロール
3 検出ヘッド
4 光源
5 ミラー
6 スクリーン
7 2次元カメラ
7’ リニアアレイセンサ
8 信号処理装置
9 出力装置
10、10’ シリンドリカルレンズ
11 ラインライトガイド
11a バンドルファイバ
12 リニアガイド
Claims (5)
- 鋼板表面の表面粗さと同等の深さの微小凹凸性疵を検出する表面検査装置において、
鋼板表面に波長が10.6μm以上の光を照射する光源と、
前記鋼板表面の微小凹凸疵の各点から鏡面反射された光の集束によって得られる明点に基づいて凹欠陥を、
前記鋼板表面の微小凹凸疵の各点から鏡面反射された光の発散によって得られる暗点に基づいて凸欠陥を検出する検出系とを有することを特徴とする表面検査装置。 - 前記光源は、前記鋼板がロールに接している部位に光を照射するものであることを特徴とする請求項1に記載の表面検査装置。
- 前記検出系は、前記鋼板表面により反射された光を投影するスクリーンと、当該スクリーン上の光強度分布を測定する受光器とを有してなることを特徴とする請求項1または請求項2のうちいずれか1項に記載の表面検査装置。
- 前記検出系は、撮像素子と前記鋼板表面により反射された光を当該撮像素子上に投影する光学系とを有することを特徴とする請求項1または請求項2のうちいずれか1項に記載の表面検査装置。
- 前記光源は、前記鋼板表面に平行光を照射する光源であることを特徴とする請求項1から請求項4のうちいずれか1項に記載の表面検査装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2011100905A JP2011174942A (ja) | 1999-02-08 | 2011-04-28 | 表面検査装置 |
Applications Claiming Priority (7)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP1999029784 | 1999-02-08 | ||
JP2978499 | 1999-02-08 | ||
JP2978399 | 1999-02-08 | ||
JP1999029785 | 1999-02-08 | ||
JP1999029783 | 1999-02-08 | ||
JP2978599 | 1999-02-08 | ||
JP2011100905A JP2011174942A (ja) | 1999-02-08 | 2011-04-28 | 表面検査装置 |
Related Parent Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2010001194A Division JP4775492B2 (ja) | 1999-02-08 | 2010-01-06 | 表面検査装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2011174942A true JP2011174942A (ja) | 2011-09-08 |
Family
ID=42345353
Family Applications (2)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2010001194A Expired - Fee Related JP4775492B2 (ja) | 1999-02-08 | 2010-01-06 | 表面検査装置 |
JP2011100905A Pending JP2011174942A (ja) | 1999-02-08 | 2011-04-28 | 表面検査装置 |
Family Applications Before (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2010001194A Expired - Fee Related JP4775492B2 (ja) | 1999-02-08 | 2010-01-06 | 表面検査装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (2) | JP4775492B2 (ja) |
Families Citing this family (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
GB201316121D0 (en) * | 2013-09-10 | 2013-10-23 | Glyndwr University | Inspection apparatus and method |
KR101992042B1 (ko) | 2016-04-12 | 2019-06-21 | 닛폰세이테츠 가부시키가이샤 | 피검사체 촬상 장치, 피검사체 촬상 방법, 표면 검사 장치 및 표면 검사 방법 |
TW202201004A (zh) | 2020-06-18 | 2022-01-01 | 泰商榮龍工程設備服務有限公司 | 一用於偵測一表面之不平整度之感測器模組,一具有該模組之裝置,以及一使用該感測器模組,以偵測一表面其不平整度之方法 |
Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0518907A (ja) * | 1991-07-08 | 1993-01-26 | Kawasaki Steel Corp | 鋼帯表面疵検査方法 |
JPH0694642A (ja) * | 1992-09-16 | 1994-04-08 | Kawasaki Steel Corp | 表面欠陥検査方法および装置 |
JPH09166519A (ja) * | 1995-12-18 | 1997-06-24 | Dainippon Screen Mfg Co Ltd | 表面観察光学系 |
Family Cites Families (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS60228910A (ja) * | 1984-04-27 | 1985-11-14 | Nissan Motor Co Ltd | 表面欠陥検査装置 |
JPS6262205A (ja) * | 1985-09-13 | 1987-03-18 | Toray Ind Inc | 物体の表面凹凸検査方法 |
-
2010
- 2010-01-06 JP JP2010001194A patent/JP4775492B2/ja not_active Expired - Fee Related
-
2011
- 2011-04-28 JP JP2011100905A patent/JP2011174942A/ja active Pending
Patent Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0518907A (ja) * | 1991-07-08 | 1993-01-26 | Kawasaki Steel Corp | 鋼帯表面疵検査方法 |
JPH0694642A (ja) * | 1992-09-16 | 1994-04-08 | Kawasaki Steel Corp | 表面欠陥検査方法および装置 |
JPH09166519A (ja) * | 1995-12-18 | 1997-06-24 | Dainippon Screen Mfg Co Ltd | 表面観察光学系 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP4775492B2 (ja) | 2011-09-21 |
JP2010133967A (ja) | 2010-06-17 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US5125741A (en) | Method and apparatus for inspecting surface conditions | |
JP3824059B2 (ja) | 表面検査装置及び微小凹凸欠陥の無い鋼板の製造方法 | |
JP4511978B2 (ja) | 表面疵検査装置 | |
US9588056B2 (en) | Method for particle detection on flexible substrates | |
JP2000298102A (ja) | 表面検査装置 | |
JP4492275B2 (ja) | 表面検査装置 | |
JP4775492B2 (ja) | 表面検査装置 | |
JP3591160B2 (ja) | 表面検査装置 | |
JP2008157788A (ja) | 表面検査方法及び表面検査装置 | |
JPH0769161B2 (ja) | 凹凸面の検査方法およびその装置 | |
JP2005156420A (ja) | 表面凹凸の検査方法及び検査装置 | |
JP2001242090A (ja) | 表面検査装置 | |
JP2008002891A (ja) | 表面状態検査装置及び表面状態検査方法 | |
JP2000314707A (ja) | 表面検査装置および方法 | |
TW468151B (en) | Method and device for optical detection of local deformations, especially bubbles, in an optical data carrier | |
WO2022183671A1 (zh) | 亚表面缺陷的检测装置 | |
JPH0882602A (ja) | 板ガラスの欠点検査方法及び装置 | |
JP2004163129A (ja) | 欠陥検査方法 | |
JP2021162584A (ja) | 表面欠陥検出装置、表面欠陥検出方法、鋼板の製造方法、鋼板の品質管理方法、及び、鋼板の製造設備 | |
JP2004156932A (ja) | 表面検査装置 | |
JP3469714B2 (ja) | 感光体表面検査方法および感光体表面検査装置 | |
JP2009025269A (ja) | 光透過性シートの欠点検査装置および欠点検査方法 | |
JPH11337502A (ja) | 圧延材の表面欠陥検出方法および装置 | |
JP3214416B2 (ja) | 多心テープ光ファイバの画像処理方法、相対位置検出方法と検出装置、画像取得装置および製造方法 | |
JP4821044B2 (ja) | マーキング付き金属帯の製造方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20120313 |
|
RD03 | Notification of appointment of power of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7423 Effective date: 20120321 |
|
RD04 | Notification of resignation of power of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7424 Effective date: 20120327 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20120511 |
|
A02 | Decision of refusal |
Effective date: 20120710 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 |